幅広い実績を誇ります。
本装置は、最大4元のスパッタガンを設置可能な成膜装置です。
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基本情報
【特徴】 〇ソース源には低価格の1”スパッタガンや2”～4”スパッタガンの成膜レシピ（ＰＣ制御）システムを有する装置まで幅広い実績を誇ります。 〇多数のオプションも備えております。 〇基板ホルダー（オプション各種・回転、ＸＹ、加熱、冷却、シャッター機構の追加等） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格情報
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納期
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企業情報
真空機器のオーダーメイド対応 『お客様仕様に合わせた一貫対応で、最適なソリューションを提供』 ● 真空装置・部品をお客様の用途・要望に応じてフルカスタム設計 ● 商談～設計～製造～納品までワンストップ対応 ● コスト・納期・性能・品質すべてを考慮した最適提案 真空コンポーネントの多品種ラインナップ 『約40種類のコンポーネントを取り揃え、柔軟な構成に対応可能』 ● 真空計、マニピュレータ、導入機、各種ステージ、電流導入端子などを幅広くご用意 メンテナンスサポート 『長期的な運用を見据えたアフターサービスを提供』 ● 装置や部品の定期的なアフターサービスの実施 ● 故障・トラブル予防、部品交換、機器改造などニーズに応じたメンテナンス 製品ラインナップ ・半導体（熱CVD装置、真空アニール装置、スパッタ装置、PLD装置など）・光電子分光（ARPES、XPS、PEEM、HiPP など）・宇宙（スペースチャンバーなど）・コンポーネント（マニュピュレータ、直線導入機/回転導入機、XYステージ、XYZステージ、トランスファロッドなど約40種類）・測定機器（水晶式隔膜真空計など）
