世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔率・細孔分布測定装置
■ 前処理が必要がなく、 20分/ポイントと従来型に比べて高速に測定が可能です。
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基本情報
【アプリケーション】 ・Low-k膜の細孔率測定 ・色素増感太陽電池のTiO2細孔率測定 ・細孔サイズ（0.5~65nm)、厚さ（50nm～５um)のサンプル 【特徴】 ・膜厚、屈折率、表面積、浸透率、ヤング率、CTE計測も測定可能 ・従来の方式に比べ、短時間での測定が可能（２０分/point) 【仕様】 ・測定可能細孔サイズ（直径）；0.5~65nm ・スポットサイズ；1.2*0.8mm ・測定サンプル構成：単層／多層ともに測定可 ・サンプルサイズ：2~300ｍｍ(フィルム厚さ：50nm~5μm) ・測定時間；20分／point ・溶媒：IPA（イソプロパノール）、メタノール、トルエン、水
価格情報
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納期
用途／実績例
- Low-K膜の細孔率測定 - 色素増感太陽電池のTiO2 細孔率測定
企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。