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事例1 有機蒸着セル KOD-Cell

最終更新日:2010年10月01日

北野精機株式会社
北野精機株式会社
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改善成功事例 事例1 有機蒸着セル KOD−cell

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型有機蒸着セルを使用していた。しかしながら、 大型ならではのルツボ容量が大きいと言うこともあり、温度安定性と材料効率が 非常に悪く悩んでいた。有機材料においては、1g当たり数万円もコストが掛かる 材料を使用しているケースがある為、材料効率が悪い大型蒸着源を使用すると、 1回の蒸着において10gもの材料充填の必要がある。そこで、弊社の有機蒸着セルを 用いることで、その点を解消したい。

    蒸着装置
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改善成功事例 事例1 有機蒸着セル KOD−cell

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基本情報

◆◇◆対処法◆◇◆ 有機蒸着セル・KOD-Cellを提案した。KOD-Cellは、ルツボ容量は1ccと極めて小さく、 ルツボ材質に熱伝導率の良いシェイパル(マシナブルセラミックス)を 使用することで、温度安定性及び取り扱いに優れている。 ◆◇◆結果◆◇◆ KOD-Cellの先端部へ配向性を高める為に蒸着ノズルを設置することにより、 ルツボ容量1ccとコンパクト性に優れていることから、指向性が非常に良く、 メンテナンスが容易となった。また、極低レート蒸着制御が 膜厚コントローラー及び温調器の組み合わせにより可能となり、 材料効率及びメンテナンス性が良く地球環境に優れた製品である。 また、手軽に蒸着実験をしたい研究者の方々から、高い評価をいただいている。

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北野精機の歴史は研究開発用精密機器の提供を通して、 常に最先端の研究分野に貢献し続けてきた軌跡でもあります。 1958年(昭和33年)11月 精密機器の設計・製造・販売会社として設立されて以来、 大学・官公庁の研究所をはじめ民間企業の基礎研究所に 向けた実験機器の開発・製造を手がけ、その優れた品質 と信頼性には高い評価をいただいています。 特に近年、新素材やナノテクノロジー、フラットパネル ディスプレー、高温超電導、太陽電池、原子力、宇宙開発 など産業分野に必要不可欠な超高真空・極低温技術に ついては、他社に先駆けていち早く取り組み、その実験 環境づくりに豊富な技術・ノウハウを蓄積し、高度な性能・ 機能を凝縮した機器の開発・提供に結び付けています。 北野精機では、つねにユーザーである研究者の方々と 密接に連携し、研究・開発目的を的確にサポートする 機器を設計・開発。 部品づくりから各種処理、組立、検査・テスト、装置立ち 上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質 の製品と良質な研究開発の実験環境を提供しています。

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