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最終更新日:2022年07月06日

株式会社オータマ
株式会社オータマ
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外乱の変動磁界を検出、それを打ち消す磁界を発生させて磁界変動を制御し、安定させるための磁界発生器

▼アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)の特長▼ ・現地設置がスピーディー ・電子ビーム装置の操作性を損なわない ・ローコスト ・美観が優れている ・自由サイズ可能(打消しコイルを装置のフレームへ実装することも可能) ※製品に関するお問い合わせ、ご相談は当社ホームページのお問い合わせフォームよりお願いいたします。資料もご用意しております。 【お問い合わせ】https://www.ohtama.co.jp/contact.html 【資料ダウンロード】https://www.ohtama.co.jp/download.html

    電子ビーム描画装置
activemagnetic_img02.jpg

アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)

activemagnetic_img02.jpg
activemagnetic_img02.jpg
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基本情報

近年、電子ビーム装置の高性能化は著しく、その反面磁界許容値は厳しくなる一方です。本製品は、外乱の変動磁界を3軸磁界コントローラーで高感度に検出し、それを打ち消す磁界をXYZの3軸で構成されるヘルムホルツコイルにて発生させ、コイル内部の磁界変動を制御し、安定させる為に用いる磁界発生器です。本製品を導入することにより、磁界環境が著しく不安定な場所でも電子ビーム装置の性能を十分に発揮することが可能です。 その他の機能や詳細については、お気軽にお問い合わせください。

価格情報

-

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用途/実績例

【用途・実績例】 ・電子顕微鏡(SEM、TEM) ・半導体計測、検査装置(測長SEM、欠陥レビューSEM) ・フォトマスク装置(リペア装置、測長SEM)その他各種電子ビーム装置(EB装置など) その他の機能や詳細については、お問い合わせください。

詳細情報

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    アクティブ磁気シールド(磁場キャンセラー)イメージ

企業情報

株式会社オータマ

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鉄/非鉄金属

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オータマは、パーマロイによる磁気シールドの専門メーカーです。 測定、設計、製作を一貫して行っております! 2015年に八王子みなみ野工場が完成し、稼働を開始しております。

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