ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です！
レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低粘度～高粘度(MAX10000cP)レジスト対応！
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。
レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォトリソ工程装置の総合メーカーだから実現可能な特殊装置です。
半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！ フォトレジストや機能材料の研究開発向け薄膜コーティング装置
超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源でOK！工事不要で手軽に導入可能です。※塗工のデモも承ります
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドでも面内均一は±５％以内が標準で±３％以内の実績です。
様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパクトなスリットコーター（ダイコーター）。
独自のスパイラル構造により飛散を極小化！見切りが鮮明で、マスキングレスコーティングを実現
実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノインコーター(離型剤塗布装置)、プロト、量産用等多数掲載！
～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピンコーターです。回転カップ式チャックにて省材料も実現！
研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同等のレジスト塗布機構を搭載！
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス・エイ・ピイ）は高粘度レジスト・薬液に特化したメーカーです
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製できます（例、2・4インチ、6・8インチなど）
機能薄膜コーティングのソリューションを提案。 ～薄膜コーティングの周辺技術の研究支援とコンサルタント～
大面積で、薄膜コーティング困難なデバイスへ、超薄膜均一塗布を可能とした微粒子積層法（スプレーコーティング法）をご提案しています。
老朽化対策！リスク低減！既存の生産機器はそのままでPC-98をWindows10 PCに置き換え可能。※デモ無料実施
研究、試作にも適したダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短納期で製造！※テスト塗工も受付中！
