半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！ フォトレジストや機能材料の研究開発向け薄膜コーティング装置
様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパクトなスリットコーター（ダイコーター）。
ラボスケールでの高精度塗布を実現。低粘度から高粘度まで、実験・試作段階での多様な材料に対応
レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低粘度～高粘度(MAX10000cP)レジスト対応！
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベーク搭載自動レジスト塗布装置
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドでも面内均一は±５％以内が標準で±３％以内の実績です。
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製できます（例、2・4インチ、6・8インチなど）
大面積で、薄膜コーティング困難なデバイスへ、超薄膜均一塗布を可能とした微粒子積層法（スプレーコーティング法）をご提案しています。
研究、試作にも適したダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短納期で製造！※テスト塗工も受付中！
超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源でOK！工事不要で手軽に導入可能です。※塗工のデモも承ります
企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精度でコンパクトなスリットコーター（ダイコーター）
実験・開発用卓上ディップコーター(ディップコーティング装置)、ナノインコーター(離型剤塗布装置)、プロト、量産用等多数掲載！
～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピンコーターです。回転カップ式チャックにて省材料も実現！
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス・エイ・ピイ）は高粘度レジスト・薬液に特化したメーカーです
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。
ベルト搬送タイプのトラックシステムスピンコーターです。高スループットでありながら、どんな反りウェハでも搬送可能です！
サイズ、塗布方式、テンション制御、オプション等、ご要望に合わせたコーターを制作します！※過去の製作事例資料を紹介
