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低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です！

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低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

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均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています！

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研究、試作にも適したダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短納期で製造！※テスト塗工も受付中！

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• その他高分子材料

塗布幅をデジタルで可変できるスリットコーター

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全塗工工程が完全密閉状態で進む！最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

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優れた薄膜塗工性能！高精度設計による優れた再現性のコーター

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薄層塗工可能！低速～高速まで幅広い塗工速度範囲に対応するコーター

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独自のスパイラル構造により飛散を極小化！見切りが鮮明で、マスキングレスコーティングを実現

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• プリント基板
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レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能　15日～1年間以上 ・月額分割払いが可能 ・装置の修理費用は発生致しません。

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【デモ機貸し出し可能！】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います

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電池・高機能フィルム向け！ひとの負担を減らし、省力化を推進します。

• 紙工機械
• その他搬送機械
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中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサービス、メンテナンス、仕様変更にも格安で対応致します。

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シンプルデザインのマニュアルスピンコーター

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高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドでも面内均一は±５％以内が標準で±３％以内の実績です。

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ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコーターです。

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430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。

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φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

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2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄！

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半導体・MEMS・センサーデバイスに最適！フォトレジストや機能材料の研究開発向け薄膜コーティング装置

• その他加工機械
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• 試作サービス

様々な塗工条件から、最適なコーティング方式の組合せをご提案します。

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独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新しい製品が登場！

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幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

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任意の３D形状に塗布できる3Dスプレーコーター。レーザースキャナーで基板形状を読み込み塗布軌道を自動生成します。

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コインセルや円筒形セルなどの小型サイズ電池試験用充放電装置です

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Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

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平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

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• ステッパー

優れた薄膜塗工性能！容易な操作で熟練オペレーターが不要のコーター

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コンパクトな生産機としても機能！企業の研究・開発を支えるラボ塗工機

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多段化したスロットル構造！単層～多層の同時塗工を実現するコーター

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独自のスパイラル構造により飛散を極小化　見切りが鮮明で、マスキングレスコーティングを実現

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基板を水平搬送するためのクランプハンドが任意の位置で反転可能！

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SIBORコーティングは1600度まで酸化を防止します。 （プランゼーの開発特許品です。）

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実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

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業界初！レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ　　　 基板：Max250mm□

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自動精密ディップコーティング装置 約20台の実績

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高照度172nmエキシマランプ　管面照度150mW/cm²以上

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装置ラインナップ スリットコーター、スピンコーター、ディップコーター、卓上コーター MaxG8基板サイズまで可能です。

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超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能

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軽量・コンパクトな卓上タイプ

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短納期・小ロットでも対応可能。 経験豊富な技術者による対応。 50mm□シートから700mm幅原反まで対応。

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省液塗工を実現！１回の塗工で最少5ccを実現 軽量化卓上コンパクトタイプ　本体50kg

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ACサーボを採用し常に安定した回転精度のスピンナー(スピンコーター）

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MEMSデバイス及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコー夕ー！

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磨耗に強いダイヤモンドライクカーボンです

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～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピンコーターです。回転カップ式チャックにて省材料も実現！

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10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス・エイ・ピイ）は高粘度レジスト・薬液に特化したメーカーです

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GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（ノウハウ）が多数あります！

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ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！

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【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます

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現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！

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省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方式

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機能薄膜コーティングのソリューションを提案。　　　　　　　　　　　～薄膜コーティングの周辺技術の研究支援とコンサルタント～

• 試作サービス
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• その他加工機械

機能薄膜コーティングの開発・試作を提案。　（コーティング装置を購入せず、小ロットの稀少液剤からでも、薄膜形成の開発・試作が可能）

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紙・フィルム・繊維・皮革・木材・金属等々、手掛ける分野は多岐にわたります。

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ペン型タイプのダインテストペンの替えインクです。 使用頻度の高い方にお勧めの商品です。

• 印刷機械
• 紫外線照射装置
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塗工機をはじめ、貼合機・印刷機・特殊装置などを多数ラインアップ！

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• 印刷機械
• 製袋機・スリッター

オプションを豊富にご用意。ニーズに応じた塗布装置をご提供いたします

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企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精度な塗布均一性を実現した小型スリットコーター

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老朽化対策！リスク低減！既存の生産機器はそのままでPC-98をWindows10 PCに置き換え可能。※デモ無料実施

• 産業用PC
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• 生産管理システム

平面だけでなく曲面にも対応したスリットコーター

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省スペース&低コストで導電性薄膜を作製！電子顕微鏡観察時に金属被膜のコーティングを行う際に最適です！

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専用治具でシートでも容易に両面塗工が可能になりました！

• リチウムイオン電池
• 2次電池・バッテリー
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好適なコストと品質を両立した装置をご提案！生産用コータやマイクログラビアユニットなどを掲載

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マイクログラビア方式により薄膜が簡単に成形可能！多彩なオプションで自由にカスタマイズ

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超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源でOK！工事不要で手軽に導入可能です。※塗工のデモも承ります

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現地確認等、迅速に対応！定期点検で発見された不具合への対応事例をご紹介

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• 校正・修理

グロス処理、マット処理など一般的な加工が可能！小さい紙寸法にも対応

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あらゆるプロセス開発の為に設計された開発者用高精度スプレーコーター！　　

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生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

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CMXシリーズは取付スペースの問題でウエブクリーナーをあきらめていた皆様に朗報です。

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• 真空包装機
• 加工受託

ワーク幅 300～1500mmに対応！片面・両面小幅アプリケーション

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• 製袋機・スリッター
• 加工受託

ぺロブブスカイト太陽電池インクジェット簡易塗布機

• 電池・バッテリー
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塗工後に最大100℃で薄膜を乾燥できるヒートカバー付き塗工機です。

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一定の膜厚に塗工するよう設計されたラージサイズ塗工機です

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カシメ機不要で組み立て簡単な評価用テストセルです

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ハイスループット用途に！カシメ機不要で組み立て簡単

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弊社運営サイト「バッテリースペース」では、ご要望に合わせた電池および、組電池の開発・設計・製造・販売しております

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卓上サイズのスロットダイコーターです

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250℃のロール表面温度で±0.5℃以内の温度分布を実現するジャケットロール

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一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

• スパッタリング装置
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• ステッパー

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続結晶化

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WET10μm以下の薄膜塗工！複雑な任意パターン塗工が可能なコーター

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“モノづくり”の原点に忠実！設備の組立、検査から出荷まで、一貫して保証できる体制を構築

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研究・試作用途に最適！各種乾燥方式を選択可能な高精度設計塗工機

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バックアップロールなしのスロットダイコーディング！精度や汚れの影響がないFSDコーター

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高精度塗工が容易に可能！構造がシンプルで扱い易いマイクロバーコーター

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メンテナンス性の向上！カセットチェンジ機構に対応した高精度コーター

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小型ドクターブレード式薄膜作製装置

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薬液使用量削減の最適ツール

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半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

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コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコーター

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IC・MEMSの実験に適した安価で超小型！即稼働の実験装置をご提案！

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• 基板加工機

Φ300ｍｍウエハー対応可能

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リアルな商品やサービスの魅力をお客様の五感に響かせる加飾印刷 デジタルスポットUVニスコーティング

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緩衝材・建材・食品プラ等への塗布を主目的とした汎用性の高い普及型！

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株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか様々なレンタル装置を取り揃えています。

• レンタル/リース
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塗布ダイスの設計がEXCELの表計算で行えます。

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加熱炉によるワークの加熱による温度を予測する方法とEXCELツールの提供

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プロセスD＆Tラボが行う技術アドバイザーのサービスをご紹介いたします

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