コーターの週間閲覧数ランキング

独自スリットダイで自由に円形塗布！Spiral Coaterに代わる新しい製品が登場！

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φ2"～φ6"基板対応卓上型マニュアル式！ディスペンサー付

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300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式！

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全塗工工程が完全密閉状態で進む！最新鋭の技術を駆使したCEDコーター

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緩衝材・建材・食品プラ等への塗布を主目的とした汎用性の高い普及型！

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超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能

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～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピンコーターです。回転カップ式チャックにて省材料も実現！

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ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコーターです。

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塗布幅をデジタルで可変できるスリットコーター

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小型ドクターブレード式薄膜作製装置

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SIBORコーティングは1600度まで酸化を防止します。 （プランゼーの開発特許品です。）

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セミコンジャパンカタログ展示コーナー

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小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能！

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電池・高機能フィルム向け！ひとの負担を減らし、省力化を推進します。

• 紙工機械
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ぺロブブスカイト太陽電池インクジェット簡易塗布機

• 電池・バッテリー
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グロス処理、マット処理など一般的な加工が可能！小さい紙寸法にも対応

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優れた薄膜塗工性能！高精度設計による優れた再現性のコーター

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高照度172nmエキシマランプ　管面照度150mW/cm²以上

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操作が簡単！薄膜から厚膜まで、低粘度から高粘度まで1台で塗工可能

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10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス・エイ・ピイ）は高粘度レジスト・薬液に特化したメーカーです

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GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（ノウハウ）が多数あります！

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430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、長方形、不定形など用途に合わせて塗布できます。

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【デモ機貸し出し可能！】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です

• その他半導体製造装置
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省スペースなスピンコーター　排気装置もこの一台に内包　インナーカップ方式

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コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコーター

• 膜厚計
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老朽化対策！リスク低減！既存の生産機器はそのままでPC-98をWindows10 PCに置き換え可能。※デモ無料実施

• 産業用PC
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• 生産管理システム

企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精度な塗布均一性を実現した小型スリットコーター

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あらゆるプロセス開発の為に設計された開発者用高精度スプレーコーター！　　

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レジストをスプレーノズルで塗布する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。

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コンパクトな生産機としても機能！企業の研究・開発を支えるラボ塗工機

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“モノづくり”の原点に忠実！設備の組立、検査から出荷まで、一貫して保証できる体制を構築

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• その他半導体製造装置

実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

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Ni／Cr／Wなどに対応！ ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

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ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

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製造ラインでの異物混入対策に！ 基材表面の異物を確実に除去します！

• ラベル
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• 製袋機・スリッター

ディップ速度、超低速度の1ナノm/sec、3次元制御を実現!！

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• 表面処理受託サービス
• その他加工機械

精密塗布スピンコーター オープン式卓上タイプ 研究開発・R＆D用途 デモ機貸出可能 レンタル対応：15日～1年間以上

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レンタル専用エキシマUV ・長期貸出可能　15日～1年間以上 ・月額分割払いが可能 ・装置の修理費用は発生致しません。

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実験可能サイズ：600×700mm（最大） ランプ照度：50～140mW 受託加工テスト可能 デモ機貸出可能

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塗布の均一性を追求した精密コーティング 粘度：数cp～10,000cp 基板サイズ：G8サイズ ※塗布実験可能

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有機EL等の基板製造装置に最適！

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レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低粘度～高粘度(MAX10000cP)レジスト対応！

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多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っているからです

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低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置も作製可能です！

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• レジスト装置
• その他半導体製造装置

対象ワーク：2"□～5"□基板又はφ２"～φ５"基板に適用！

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• その他半導体製造装置

自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います！

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• その他半導体製造装置

長年の薄膜コーティング技術＆膜形成のノウハウ＆データベースで、お客様のニーズにお応えできる薄膜コーティング装置シリーズをご提案。

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• その他電子部品
• 試作サービス

燃料電池・水分解触媒インクの塗布に、コーティングの周辺技術と豊富なデータベースで早期問題解決や脱炭素化に貢献します。

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研究、試作にも適したダイ、グラビア、ロールコート、ロールtoロールの装置を小型、低価格、短納期で製造！※テスト塗工も受付中！

• 2次電池・バッテリー
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• その他高分子材料

様々な塗布条件や材料に柔軟に対応、高精度な塗布均一性を実現したコンパクトなスリットコーター（ダイコーター）。

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企業や大学の研究室等での実験用途に！様々な塗布条件や材料に対応し、高精度でコンパクトなスリットコーター（ダイコーター）

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基板を水平搬送するためのクランプハンドが任意の位置で反転可能！

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CMXシリーズは取付スペースの問題でウエブクリーナーをあきらめていた皆様に朗報です。

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• 真空包装機
• 加工受託

ワーク幅 300～1500mmに対応！片面・両面小幅アプリケーション

• コーター
• 製袋機・スリッター
• 加工受託

任意の３D形状に塗布できる3Dスプレーコーター。レーザースキャナーで基板形状を読み込み塗布軌道を自動生成します。

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幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

• 真空機器
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生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！

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• エッチング装置

好適なコストと品質を両立した装置をご提案！生産用コータやマイクログラビアユニットなどを掲載

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マイクログラビア方式により薄膜が簡単に成形可能！多彩なオプションで自由にカスタマイズ

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超小型のロールtoロール コーターで膜厚均一性±2%以下！家庭用電源でOK！工事不要で手軽に導入可能です。※塗工のデモも承ります

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現地確認等、迅速に対応！定期点検で発見された不具合への対応事例をご紹介

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• 校正・修理

Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

• スパッタリング装置
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• ステッパー

平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

• スパッタリング装置
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• ステッパー

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

• スパッタリング装置
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• ステッパー

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続結晶化

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塗工後に最大100℃で薄膜を乾燥できるヒートカバー付き塗工機です。

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小型サイズの塗工機です。

• 2次電池・バッテリー
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一定の膜厚に塗工するよう設計されたラージサイズ塗工機です

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カシメ機不要で組み立て簡単な評価用テストセルです

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ハイスループット用途に！カシメ機不要で組み立て簡単

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コインセルや円筒形セルなどの小型サイズ電池試験用充放電装置です

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弊社運営サイト「バッテリースペース」では、ご要望に合わせた電池および、組電池の開発・設計・製造・販売しております

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卓上サイズのスロットダイコーターです

• 2次電池・バッテリー
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250℃のロール表面温度で±0.5℃以内の温度分布を実現するジャケットロール

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WET10μm以下の薄膜塗工！複雑な任意パターン塗工が可能なコーター

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優れた薄膜塗工性能！容易な操作で熟練オペレーターが不要のコーター

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多段化したスロットル構造！単層～多層の同時塗工を実現するコーター

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薄層塗工可能！低速～高速まで幅広い塗工速度範囲に対応するコーター

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研究・試作用途に最適！各種乾燥方式を選択可能な高精度設計塗工機

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バックアップロールなしのスロットダイコーディング！精度や汚れの影響がないFSDコーター

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高精度塗工が容易に可能！構造がシンプルで扱い易いマイクロバーコーター

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メンテナンス性の向上！カセットチェンジ機構に対応した高精度コーター

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薬液使用量削減の最適ツール

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半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

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• ステッパー

中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサービス、メンテナンス、仕様変更にも格安で対応致します。

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塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行えます！

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【Twin-air】半導体後工程、電子部品組立工程などに！高品質・高信頼性・生産性向上に寄与

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独自のスパイラル構造により飛散を極小化　見切りが鮮明で、マスキングレスコーティングを実現

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Φ300ｍｍウエハー対応可能

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リアルな商品やサービスの魅力をお客様の五感に響かせる加飾印刷 デジタルスポットUVニスコーティング

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独自のスリット技術を駆使した高品質なスリットコーター！

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塗布ダイスの設計がEXCELの表計算で行えます。

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加熱炉によるワークの加熱による温度を予測する方法とEXCELツールの提供

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プロセスD＆Tラボが行う技術アドバイザーのサービスをご紹介いたします

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コンバーティング関係機械などの産業機械製作のことなら当社まで！

• 塑性加工機械(切断・圧延)
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株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか様々なレンタル装置を取り揃えています。

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スパッタ・ＣＶＤ・蒸着の複合機

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無機層と高分子層を積層することで、デバイスやプラスチックフィルムに高いガスバリア性と曲げ、引張に対する耐性を付与します。

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室温・大気圧下で高品質な薄膜を形成！電着による塗布とX-Yロボットで高効率を実現！

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室温かつ大気圧で薄膜形成！安価な膜原料を使用！即納キャンペーン開催中

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