酸化/拡散装置の週間閲覧数ランキング

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

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油を使えない真空環境下での仕様に最適

• 酸化/拡散装置
• イオン注入装置
• その他クリーンルーム用機器・設備

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、豊富な経験と実績を柔軟なハード対応とサンプルテストで提供

• アニール炉
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• 加熱装置

最短半日見積り／A5052材（アルミ）で複合旋盤加工機を用いた多工程切削加工部品の紹介です。

• 酸化/拡散装置

最短半日見積り／鉄／S45C（炭素鋼）／NCフライス加工+ワイヤー加工

• 酸化/拡散装置

ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能

• 酸化/拡散装置

メンブレンフィルターの完全性試験を実施します。

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• 圧力計
• その他 圧力計

『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

• その他半導体製造装置
• CVD装置
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『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操作対策の事例を進呈中

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• CVD装置
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デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラインの省スペース化設計/施工性向上をお助けします。

• その他半導体製造装置
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・半導体装置用部材、熱処理装置部材に！

• 酸化/拡散装置

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・電流密度により多孔質シリコンウエハーが形成されます。

• 酸化/拡散装置

Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉

• 酸化/拡散装置

1000℃の高温にも、長時間連続使用が可能！耐熱ガラス繊維

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• その他
• ガラス

半導体や太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造

• 半導体検査/試験装置
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• CVD装置

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマーです。当社はカルレッツの日本の正規代理店です。

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• エッチング装置

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜220℃）での使用にも耐えます。

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• 真空機器

固着対策シール

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• 空圧機器

筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

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真空蒸着でお困りのことはございますか？蒸着のことならなんでもお気軽にお問い合わせ下さい。

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• レーザ部品

シリンダータイプヒーター（円筒）　

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半導体用発熱体

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カンタルは発熱体のトップメーカーでございます。

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• 電気炉
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高純度SiC　海外生産にて短納期実現！

• 酸化/拡散装置

半導体装置部品の高純度SiC、海外製SiCウエハ、耐火物SiCに加えて、SiC部品と相性が良いレーザー加工まで受託対応します！

• ウエハー
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レーザー光を広範囲に放射させるファイバ型デバイス登場！

• 酸化/拡散装置

ヤケが取れにくい、耐食性を高めたい、光沢が欲しいなどの場合に処理が可能です！

• ステンレス
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• ウエハ加工/研磨装置

ステンレスの焼け取りやチタンがバレル研磨だけでは光沢が出ない時などに効果的！

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半導体製造装置　アルミ部品　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

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