酸化/拡散装置の週間閲覧数ランキング

油を使えない真空環境下での仕様に最適

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• イオン注入装置
• その他クリーンルーム用機器・設備

高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！

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• CVD装置
• シール・密封

1000℃の高温にも、長時間連続使用が可能！耐熱ガラス繊維

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• ガラス

Φ３００ｍｍ対応縦型拡散炉

• 酸化/拡散装置

シリンダータイプヒーター（円筒）　

• その他ヒータ
• 電気炉
• 酸化/拡散装置

ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能

• 酸化/拡散装置

筐体に合ったサイズにカスタマイズFFUの提案が可能です。

• その他クリーンルーム用機器・設備
• 半導体検査/試験装置
• 酸化/拡散装置

長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜220℃）での使用にも耐えます。

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• CVD装置
• 真空機器

ヤケが取れにくい、耐食性を高めたい、光沢が欲しいなどの場合に処理が可能です！

• ステンレス
• 酸化/拡散装置
• ウエハ加工/研磨装置

最短半日見積り／A5052材（アルミ）で複合旋盤加工機を用いた多工程切削加工部品の紹介です。

• 酸化/拡散装置

最短半日見積り／鉄／S45C（炭素鋼）／NCフライス加工+ワイヤー加工

• 酸化/拡散装置

難分解性有機物を含む有機物を分解処理する方法をご紹介！

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• その他

難分解性有機物の問題と排水処理事例を図や写真でご紹介！

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・半導体装置用部材、熱処理装置部材に！

• 酸化/拡散装置

メンブレンフィルターの完全性試験を実施します。

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• 圧力計
• その他 圧力計

除害装置前段やCVD排気ラインの副生成物対応にお困りの方必見！ 高温（180℃）バルブで副生成物を抑制した事例を進呈！

• CVD装置
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• その他半導体製造装置

『流路まるごと事例集』バルブ半開によるヒヤリハット事例がある方、狭所での閉止確認にお困りの方必見！ 安全対策の事例を進呈中。

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• その他半導体製造装置

半導体や太陽電池等製造装置用ガス供給装置の設置・製造

• 半導体検査/試験装置
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• CVD装置

パーフロロエラストマー！！耐熱性、耐薬品性に優れたパーフロロエラストマーです。当社はカルレッツの日本の正規代理店です。

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• エッチング装置

固着対策シール

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• 空圧機器

真空蒸着でお困りのことはございますか？蒸着のことならなんでもお気軽にお問い合わせ下さい。

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• マイクロスコープ
• レーザ部品

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、豊富な経験と実績を柔軟なハード対応とサンプルテストで提供

• アニール炉
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• 加熱装置

半導体用発熱体

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• 電気炉
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カンタルは発熱体のトップメーカーでございます。

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高純度SiC　海外生産にて短納期実現！

• 酸化/拡散装置

半導体装置部品の高純度SiC、海外製SiCウエハ、耐火物SiCに加えて、SiC部品と相性が良いレーザー加工まで受託対応します！

• ウエハー
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レーザー光を広範囲に放射させるファイバ型デバイス登場！

• 酸化/拡散装置

ステンレスの焼け取りやチタンがバレル研磨だけでは光沢が出ない時などに効果的！

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半導体製造装置　アルミ部品　マシニング加工【コストダウンはフィリール株式会社にお任せください】

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