機械要素の製品一覧

  • 分類:機械要素

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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パーツを組み合わせて、2m×4m級の大型パレットも製作可能。破損しても部分交換ができて経済的 ※1枚から提供可能

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最大35 µmストローク、最小0.1 nm分解能のナノポジショニング

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • ソレノイド・アクチュエータ

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最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • ソレノイド・アクチュエータ

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最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • ソレノイド・アクチュエータ

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最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • ソレノイド・アクチュエータ

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最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • ソレノイド・アクチュエータ

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サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 半導体検査装置向け高精度Zフォーカススキャナ

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  • その他機械要素
  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス

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サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ

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  • その他機械要素
  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス

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サブナノ分解能・Z方向最大800 µmストローク対応 フレクシャ機構搭載フォーカススキャナ

  • P-725_2.jpg
  • その他機械要素
  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス

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100 µmストローク、サブナノ分解能、210 g負荷時560 Hzの高応答フォーカススキャナ

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • エンコーダー

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コンパクトながら高精度なリファレンスクラスの6軸位置決めシステム

  • アクチュエーター
  • その他産業用ロボット
  • エンコーダー

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90 µmストローク、µs応答、サブナノ分解能ポジショニング

  • アクチュエーター
  • 圧電デバイス
  • ソレノイド・アクチュエータ

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最小10 nm分解能。レーザー加工ヘッドの高精度Z軸フォーカス制御

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  • アクチュエーター
  • ソレノイド・アクチュエータ

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最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現

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細胞観察・深部イメージングの精度を高める — ナノ精度Z軸フォーカスステージ

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エア浮上×リニアモータで高速・高精度ウェーハ検査を実現

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  • 直交ロボット
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