真空機器 | イプロスものづくり

工場用マットスイッチ　工場の危険エリアの立ち入り防止に！

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１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。

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直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

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株式会社エナテック東京本社

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直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！

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真空洗浄装置『Sakigake（サキガケ）』

株式会社日本テクノ

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脱有機溶剤洗浄の決めて！油・油の溶解力を利用した真空洗浄システム！

その他洗浄機
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振子式コントロールバルブ　SERIES 65.5

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過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適

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均等排気バルブ　SERIES 67.0

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均等なガスフローで高度なプロセスに最適

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低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

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（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用

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ミニUHVゲートバルブ　SERIES 01.0

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UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ

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バタフライバルブ　SERIES 21.0

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コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。

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オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

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開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応

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UHVゲートバルブ　SERIES 10.8

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開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。

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Lゲートバルブ　SERIES 92.0

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半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ

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均等排気バルブ　SERIES 67.0

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SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。

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高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

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0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ

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真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

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VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ

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高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

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フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ

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UHVアングルバルブ　Series 28.4

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腐食性ガスにも対応！

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コントロールゲートバルブ　Series 64.2

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極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい

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真空機器の製品一覧

工場用マットスイッチ　工場の危険エリアの立ち入り防止に！

直径３０ｍｍ程度～8インチまで対応可能　高抵抗FZウエハ

真空洗浄装置『Sakigake（サキガケ）』

振子式コントロールバルブ　SERIES 65.5

均等排気バルブ　SERIES 67.0

低価格オールメタルアングルバルブ　SERIES 54.1

ミニUHVゲートバルブ　SERIES 01.0

バタフライバルブ　SERIES 21.0

オールメタルゲートバルブ　SERIES 48.1/48.2

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均等排気バルブ　SERIES 67.0

高真空ゲートバルブ　SERIES 09.1

真空ゲートバルブ　SERIES 12.1

高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2

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