半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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微細加工などに好適!従来の工具では困難とされた穴のバリ取りと両面取りをワンパスで実現!

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  • その他工作機械

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【2021年10月20日(水)~23日(土)】メカトロテックジャパン2021に出展します!

当社は、2021年10月20日(水)~23日(土)の4日間、ポートメッセなごやで 開催される「メカトロテックジャパン2021」に出展いたします。 小径0.8mmからの面取りバリ取りが可能な工具『バーオフツール』や 折損を確実に検出する工具折損検出装置『FEM』をご紹介いたします。 皆様のご来場お待ちしております。(コマ番号:2B12​)

高速回転する研削砥石に工作物を押し当てるだけ!全体的に整った製品が出来上がります!

  • ウエハ加工/研磨装置

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見た目の仕上がりが綺麗!表面の凸凹がなくなり、バリ取りに有効な加工をご紹介!

  • ウエハ加工/研磨装置

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ランニングコストの負担軽減に貢献するロール両面同時露光装置!

  • その他半導体製造装置
  • その他工作機械

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ダイシングフレームに付着したテープ糊痕や指紋等を高い洗浄能力を持つ独自のジェットノズルで洗浄除去する装置!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他半導体製造装置
  • 高圧洗浄機

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リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う試作研究用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他半導体製造装置
  • 高圧洗浄機

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リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他半導体製造装置
  • 高圧洗浄機

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ロールを取り外さずに表面研磨可能!ロール表面を好適な状態に保ちます

  • ウエハ加工/研磨装置

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IPA蒸気による洗浄乾燥装置!デバイス・ウエハー・ガラス・部品などのクリーン乾燥を実現!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他半導体製造装置
  • 高圧洗浄機

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クリーン化技術・搬送/制御技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置!

  • ウエハ加工/研磨装置
  • その他半導体製造装置
  • 高圧洗浄機

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1インチUHV対応スパッタカソード2源!ロードロック室は増設することが可能です!

  • スパッタリング装置

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メンテナンス性・作業性が簡便!リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用!

  • 蒸着装置

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グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を交換・補充可能です!

  • 蒸着装置

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酸素や水分を排除したい研究製膜環境!多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応します!

  • スパッタリング装置

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基板寸法は最大3インチで3枚収納可能!加熱機構・逆スパッタ機構を備えています!

  • スパッタリング装置

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基板入射に対応する円弧型レール上に任意位置で固定可能!蒸着ポジションを調整できます

  • 蒸着装置

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