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最終更新日:2023年01月14日

株式会社ダン科学 入間営業所
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Siナゲット洗浄装置 専用バスケットで自動搬送 化学研磨・酸切・高品位水洗から乾燥まで バスケットの揺動により洗浄効率を向上

本装置は、Siナゲットの洗浄を目的とした装置です。ワーク(Siナゲット)の入ったコンテナは本装置で専用の洗浄バスケットに移し替えられ、洗浄設備内に自動搬送されます。 その後、バスケットは化学研磨・酸切・高品位水洗の処理を通しワークは洗浄されます。このとき、洗浄バスケットを揺動して洗浄効率を向上しています。 洗浄後は乾燥専用バスケットに移され、150℃の温風で予備乾燥されます。

    その他半導体製造装置その他洗浄機
Si_nugget_1.png

Siナゲット洗浄装置

Si_nugget_1.png
Si_nugget_1.png Siナゲット洗浄装置_1.png precision_cleaner_2.png
  • 関連リンク - https://xevios.com/si_nugget_cleaner/
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/xevios/product/

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基本情報

<主な仕様> 1.被洗浄物: Siナゲット 2.処理方法: 水洗⇒薬液洗浄⇒リンス⇒予備乾燥 3.搬送方法: 搬送ロボットによる自動搬送 4.使用薬液: フッ酸、硝酸

価格帯

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用途/実績例

シリコンナゲットの洗浄

企業情報

株式会社ダン科学

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産業用機械

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EXTENSIVE VISION ON SYSTEM (幅広い視野に立ったシステム構築) を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられました。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々の使命だと考えております。

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