半導体製造装置の製品一覧

  • 分類:半導体製造装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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室温から-13°Cの強冷風!ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能!

  • 冷却装置

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2024/4/10(水)~2024/4/12(金)名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内

三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド(名古屋)に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時:2024/4/10~2024/4/12    開場:AM10:00~ 場所:名古屋ポートメッセ(第1展示会場) ※弊社ブース:19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。

一度の投入でワークの表裏を同時に仕上げる同時両面研磨機構を搭載!

  • ウエハ加工/研磨装置

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ターゲットは3種類同時に装着可能!多層膜を作製することが可能です。

  • コーター

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あらゆる研磨方向に対応可能な万能ダイヤモンド研磨機!単結晶ダイヤモンドのチッピングレス研磨に最適!

  • ダイヤモンドカッター
  • ウエハ加工/研磨装置

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オシュレーション機構搭載!1台2役でバリ取りとヘアライン仕上げに対応

  • ウエハ加工/研磨装置

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キャニスター用金属シール。樹脂製やエラストマー製のシール材質が使えない物質に朗報!メタルシールを採用しヘリウムリークタイトを実現

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  • シール・密封
  • 化学薬品
  • その他半導体製造装置

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UHP/UHV、超高純度、超高真空、極低温向け高度メタルシーリングソリューション

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  • シール・密封
  • CVD装置
  • エッチング装置

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『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』低締付メタルガスケット デルタベータHNRVなら可能です。

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  • シール・密封
  • CVD装置

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『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』なら、ばね入りCリングへ置換!『デルタベータHNRV』

デルタベータHNRVは元々設計締付力(Y)が低いヘリコフレックスデルタシールと内部ばねの特殊加工の組合せで、ゴムO-RINGからの置換と性能向上を実現します。 「真空のゴムO-RINGガス透過やガス放出を無くしたい」「既設フランジのボルト数やサイズ変更が出来ない」等、そんな悩みをお持ちの方に奨めるメタルシールです。 【特長】 ■主に超高真空用 ■従来より更に低い設計締付力 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある 既設のフランジに対して使用出来ることを保証するものではありません。 既設フランジ仕様のご提供が必要です。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。

PVD/CVD/エッチング装置等で、ゴムOリングからメタルへ置換え、超高真空・極高真空を実現します!JIS V溝フランジ用標準化

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  • シール・密封
  • CVD装置
  • エッチング装置

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【JIS V溝フランジ用標準化済み】半導体分野向け低設計締付力Y『超高真空用デルタシール』

デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) には、断面の接触側に2つのデルタ形突起があります。 デルタ形突起は、フランジ溝組込時に外被の圧縮時につぶれて消えるように設計されており、 デルタシールの設計締付力は、ヘリコフレックスシールに比べて低い為、エラストマー製Oリングとの交換が可能になります。 漏れ量:*円形の場合10⁻¹²Pa・m³/sec.(10⁻¹¹atm.cm³/sec.)     *取付側の品質に依存します。 【特長】 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある ■超高真空が実現する ■優れた弾性を有し、高温で使用可能 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

既設のボルトのサイズ・数は変更不要?半導体製造装置で『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』などお困りの方必見!

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  • シール・密封
  • CVD装置
  • 電子ビーム描画装置

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『真空のゴムOリング ガス透過やガス放出を無くしたい』なら、ばね入りCリングへ置換!『デルタベータHNRV』

デルタベータHNRVは元々設計締付力(Y)が低いヘリコフレックスデルタシールと内部ばねの特殊加工の組合せで、ゴムO-RINGからの置換と性能向上を実現します。 「真空のゴムO-RINGガス透過やガス放出を無くしたい」「既設フランジのボルト数やサイズ変更が出来ない」等、そんな悩みをお持ちの方に奨めるメタルシールです。 【特長】 ■主に超高真空用 ■従来より更に低い設計締付力 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある 既設のフランジに対して使用出来ることを保証するものではありません。 既設フランジ仕様のご提供が必要です。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。

切粉・ミスト・クーラント漏れを抑制。工作機械のすきまシールに最適なブラシ

  • 現場の“困った”をブラシで解決!!技術提案事例集 (9)_page-0005.jpg
  • 現場の“困った”をブラシで解決!!技術提案事例集 (9)_page-0006.jpg
  • マシニングセンタ
  • その他工作機械
  • その他半導体製造装置

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連続供給用 超純水製造装置のご提案  24時間の安定運用を実現

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  • その他半導体製造装置
  • ウエハ加工/研磨装置
  • ウエハー

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エラストマーシールから置換!PFASフリー!当社のメタルシールをご紹介

  • 半導体製造装置用高機能メタルシール『ヘリコフレックスシール』2.JPG
  • シール・密封
  • CVD装置
  • 半導体検査/試験装置

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ラバーホースが持つ高い耐久性と、接液部PFAの清浄性と耐薬品性。 両方を併せ持つ多目的ハイブリッドホース。

  • 食品加工装置
  • その他 化粧品工場設備・部品
  • その他半導体製造装置

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