半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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電池の基本概念から、利用目的・実現方法による分類までを体系化。複雑な電池選定の第一歩を、初心者目線で分かりやすくまとめました
- 電池・バッテリー
- 技術書・参考書
- 技術書・参考書
研磨ではパッドの精度管理が重要ですが、PADの種類を考慮した修正キャリアを使ってますか?カスタムすると精度管理も楽になります。
- ウエハ加工/研磨装置
- ミラー
- フォトマスク
研磨の基本は研磨パッドの精度の維持管理です。次のような症状が見られたら危険です。
- ウエハ加工/研磨装置
セリア・ジルコニア・アルミナ・GCなど粒子同士の物理凝集を抑えることで性能の安定性や、スクラッチ(キズ)の抑制に繋がります。
- その他半導体製造装置
研磨PADの修正に当たり前のように使っているDP付修正キャリアですが、実はおおきなデメリットもあります。それが何かわかりますか?
- ウエハ加工/研磨装置
フチダレ⋯いわゆるワークのフチの部分が垂れている(多く磨かれている)理由を知ると自ずと対策がわかります。
- ウエハ加工/研磨装置
DP付修正キャリアをご採用頂いたお客様に最も喜ばれているのは環境に合わせたカスタマイズ。カスタマイズ事例を紹介します。
- ウエハ加工/研磨装置
大判、高密度の赤外線(IR)サーマルイメージング・デバイス、量子プロセッサー、マイクロLEDディスプレイの製造に関する情報を紹介
- その他半導体製造装置