CVD装置の製品一覧

フレコンバッグやドラム缶など粉体容器の設置・後処理の負担軽減！異物混入も防ぎ、省人化も実現

• 粉体搬送装置
• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

濾過精度

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

SPCシリーズは超小型（φ21×84mm）、軽量（90g）に設計されております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトな構造・高精度にして低価格

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

ハロゲン系反応性腐蝕性特殊ガスに対し、耐蝕性が非常に高く極めて優れた性能を発揮いたします。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

歩留まりを大幅に向上

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

幅広い濾過精度に対応

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

コンパクトサイズでより高流量のガスを処理

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

全ての材質にハステロイを使用

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

腐蝕によるパーティクルの発生や化学反応を起こしません。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

高清浄度活性炭を内蔵

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

２００℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒーターです。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

ピュアロン製小型ガス精製器を効率良くヒーティングするために専用で開発致しました。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

取付時間の短縮によるコスト低減につながります。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• その他半導体製造装置

小型・軽量でありながら３-３/４桁(３９９９)の表示ができ、上下限２接点の比較出力を標準装備しております。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

視覚性の高い高輝度大型ＬＥＤを装備し、文字高 約２０ｍｍで表示致します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

操作性の柔軟なジョグレバーによる設定が行えます。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 表示器

小型のＤＩＮサイズ［４８ｍｍ(Ｗ)×２４ｍｍ(Ｈ)×６６ｍｍ(Ｄ)］で、デジタルスケーリングが前面で操作可能です。

• CVD装置
• リレー
• 表示器

流量500L/minから3,000L/minまでの一次側バルク・ガスラインでの使用に適しています。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

安定した濾過性能

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• ガスフィルタ

どのような形状の品物に対しても制限なく使用できる、CVDコーティング装置

• CVD装置

各種集積化ガスシステム用圧力センサー

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 丸型コネクタ

様々なニーズに対応

• CVD装置

配管形状を選ばず、粉体の析出を抑制し配管内の閉塞を局所集中により防止してポンプ性能を延命させます。

• CVD装置

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

• 半導体検査/試験装置
• CVD装置
• 蒸着装置

半導体製造装置の技術サービスはお任せ下さい。

• コーター
• CVD装置
• ステッパー

中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサービス、メンテナンス、仕様変更にも格安で対応致します。

• コーター
• CVD装置
• エッチング装置

真空ポンプ用メンテナンス部品

• CVD装置
• 真空ポンプ
• そのほか消耗品

超高温耐熱　O-Ring

• CVD装置
• 蒸着装置
• その他環境分析機器

半導体式マイクロ波電源　5.8GHｚ帯

• プラズマ発生装置
• CVD装置
• 分析機器・装置

半導体用トランスデューサー

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

PLAD-221-Y PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-250E PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-250R PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-271PE PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-150Y PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-161 PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

PLAD-261PG PLDシステム

• 真空成形機
• CVD装置
• 蒸着装置

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

• 真空成形機
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エキシマレーザパルス蒸着システム

• 真空成形機
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磁性流体シール

• CVD装置
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• 蒸着装置

TrueSeal　Fitting

• CVD装置
• その他環境分析機器
• 水処理装置

プラズマ、レーザー用大出力高周波電源

• その他加工機械
• CVD装置
• レアメタル

少量パックのオンライン販売で必要な分を必要なときに！

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