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最終更新日:2009年06月09日

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磁性流体シール

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磁性流体シール

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基本情報

磁性流体シールは磁場に流体が反応することにより駆動部から発生するコンタミなどのクリーンエリアへの浸入を阻止します。従来品より同性能にて大幅なコストダウンを可能とします。

価格情報

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用途/実績例

半導体装置や真空装置に使用され塵の発生を防止し歩留まりのを改善することができます。従来品からの変更によりコストダウンを可能とすることができます。

企業情報

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