スパッタリング装置の製品一覧

フレコンバッグやドラム缶など粉体容器の設置・後処理の負担軽減！異物混入も防ぎ、省人化も実現

• 粉体搬送装置
• その他搬送機械

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

経済性に優れた高精度ラバーシール

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MFM

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

高精度・信頼性のメタルシールモデル

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

コンパクト設計で省スペースを実現！大学や民間の研究室に最適なスパッタリング装置(研究者用価格)

• スパッタリング装置

フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！ 〜サンプル測定実施中！〜

• スパッタリング装置

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 電源

超純水（18MΩ・cm）での精密洗浄により、お客様の製品の品質向上及びコスト削減に貢献致します。

• CVD装置
• スパッタリング装置
• レジスト装置

膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。

• スパッタリング装置

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

Flexible Display用など機能性Film製造用Coating装備

• スパッタリング装置
• コーター
• ステッパー

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

特許的な異質材質溶接技術で溶接しているサファイア真空覗き窓

• その他検査機器・装置
• スパッタリング装置
• 真空機器

実験用の小型成膜装置。ＰＥＴ等のフィルムに成膜します。

• スパッタリング装置

輸送ケース　通箱　保管箱

• スパッタリング装置
• その他計測・記録・測定器
• その他

製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

• 真空機器
• スパッタリング装置
• 蒸着装置

スパッタリング装置

• スパッタリング装置
• 試験機器・装置
• その他実験器具・容器

表面処理装置　スパッタ用イオン銃

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

表面処理装置　走査型イオン銃

• スパッタリング装置
• 電子ビーム描画装置

幅広い実績を誇ります。

• スパッタリング装置

電圧・電流設定の操作、モニタ-を行う事が可能

• スパッタリング装置
• 分析機器・装置
• 信号発生器