エッチング装置の製品一覧

  • 分類:エッチング装置

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【重量物の取り扱いによる作業負担を軽減!】お客様の課題を解決した導入事例5選を収録!ワークに応じた無料相談、テストも受付中!

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  • その他搬送機械

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室温から-13°Cの強冷風!ご使用環境によりコンボタイプかセパレートタイプを選択可能!

  • 冷却装置

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2024/4/10(水)~2024/4/12(金)名古屋 ものづくり ワールド 2024出展のご案内

三和式ベンチレーター株式会社は、ポートメッセなごやで開催される 2024ものつくりワールド(名古屋)に出店いたします。 弊社も大型冷風機、涼暖ビエントの展示をおこないます。 日時:2024/4/10~2024/4/12    開場:AM10:00~ 場所:名古屋ポートメッセ(第1展示会場) ※弊社ブース:19-1 お時間が御座いましたら、ご来場頂ければ幸いです。

PLP向けにより高い生産性!より多くのプロセス可能性。アドバンストパッケージング向けに最適

  • スパッタリング装置
  • エッチング装置

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Evatec、CLUSTERLINE 600で日本の次世代パッケージング市場へ本格参入 - AI・HPC向けPanel-Level Packaging時代に向けた事業展開を拡大

Evatec AG(本社:スイス)は、日本市場における大型パネル対応成膜プラットフォーム「CLUSTERLINE 600」の展開を本格化し、急成長するAI(人工知能)および高性能コンピューティング(HPC)向け次世代パッケージング市場へ本格参入いたします。 世界の半導体エコシステムでは、大型インターポーザ、超高密度RDL(Redistribution Layer)、ガラスコア基板、パネルレベルパッケージングなどの新しい製造アーキテクチャへの移行が加速しています。特にAI向けパッケージの大型化に伴い、従来の300mmウェハベースの製造から、600mmクラスのパネルプロセスへの移行が次世代製造技術として注目されています。 Evatecは、この変化を今後10年間の半導体産業における最も重要な成長機会の一つと位置付けています。CLUSTERLINE 600を中核製品として、日本市場における先端パッケージング事業を拡大し、パネルレベルパッケージング、先端IC基板、ガラスコア基板などの分野において、お客様の技術開発および量産化を支援してまいります。

RIEモードとDPモードの切り替えが可能!特殊表面処理によるメタルコンタミ低減

  • エッチング装置

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エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です!

  • エッチング装置
  • アッシング装置

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【デモ機貸し出し可能!】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます

  • エッチング装置

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【デモ機貸し出し可能!】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います

  • エッチング装置

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装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送!

  • エッチング装置

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「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています

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  • エッチング装置

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フォトマスクの新規開発に携わる方必見!コンパクトな設計で、様々なサイズのフォトマスク・ウエハの処理が可能なドライエッチング装置

  • エッチング装置

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R&D用特殊仕様から量産向けまで対応可能!一般的なグリッドと比較して約3倍の長寿命化

  • エッチング装置

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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカスタマイズも可能です。

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  • 半導体検査/試験装置
  • エッチング装置
  • スパッタリング装置

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半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントローラPACEを導入しませんか?

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