三次元測定器の製品一覧
- 分類：三次元測定器
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１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。
- センサ
自動車部品、鉄鋼、切削工具、燃料電池、電子部品・半導体、医療用高精密部品、印刷、レンズなど ◆『測定事例集』進呈中 ◆
- 三次元測定器
■最新測定事例【タイヤ・アスファルト編】進呈中■ 共焦点顕微鏡『MarSurf CM 』三次元表面形状測定機『MarSurf CP/CL』による測定事例【タイヤ・アスファルト編】をリリース！
■共焦点(コンフォーカル)顕微鏡『MarSurf CM 』■ コンフォ―カルマルチピンホール技術を採用。 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定を行います。 ー『MarSurf CM mobile』 本体重量わずか5kgのモバイル型。大型の測定物、移動が困難なワークに。 ➡サンプルを切り出す事なく、直置きで高精度に表面測定。 車体等の塗装面、金属ローラー、シートメタル…など。 ➡サンプルの準備から測定までにかかる時間と手間を大幅削減。 ・粗さ、輪郭、形状、体積、平面度。 ・ナノメートル単位の高分解能。 ・接触式測定法と99％の相関性 ■三次元表面形状測定機『MarSurf CP/CL』■ 往復移動時の双方向スキャンによって測定スピードを高めた非接触タイプ。 ー『MarSurf CP』 表面に高低差のあるワークに。測定・解析の自動化も可能。 ー『MarSurf CL』 高速ラインセンサ搭載。 0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。
半導体・エレクトロニクス関連での採用多数！光学式 3D 表面粗さ・輪郭形状測機『MarSurf CP/CL・CM mobile』
- 三次元測定器
【New!! 2022年秋版 最新測定事例集をリリース】光学式3D表面粗さ・輪郭形状測定機「エレクトロニクス&半導体編 2022秋」：世界のエレクトロニクス・半導体業界で採用された測定事例をご覧頂けます。
【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 ■評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗 ■掲載測定事例 ウエハー（反り・バンプ・研磨） CMPパッド（受け入れ検査・製造ライン上での検査） ウエハーレベルレンズ・ウエハーレベルオプティクス（寸法・体積） マイクロレンズアレイ（幾何形状） ダイアタッチ（ボンドライン厚・ダイ／エポキシの高さ・輪郭解析） BGAはんだボール（径・高さ・共平面性） マイクロビア ワイヤーボンディング（ボール/パッド/ワイヤの幾何形状） MEMS（粗さ・反り） 表面実装部品（コンタクトの共平面性） フィルム厚み
レンズを高速かつ高精度に解析出来る光学式3D形状粗さ測定機■マイクロレンズアレイ■非球面マイクロレンズなど実績多数
- 三次元測定器
【New!! 2023年春版 最新測定事例集をリリース】光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』：世界の光学産業で採用された測定事例をご覧頂けます。
【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中！】 ＜掲載測定事例／光学部品編 2023春編＞ ■ウエハーレベルレンズ／オプティクス（寸法・体積測定） ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■車載用 LiDAR のマイクロレンズ（面精度（PV、RMS）） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較） 他 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 評価項目例 3D／2D： ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積／摩耗
3Dスキャンデータからモデリング！玩具の試作を効率化
- 三次元測定器
- その他CAD関連ソフト
- 3次元CAD
3Dスキャンデータからリバースエンジニアリングを効率化
- 三次元測定器
- その他CAD関連ソフト
- 3次元CAD
産業用CTデータ解析・可視化ソフトウェア。内部観察を強力にサポート。
- 分析機器・装置
- 三次元測定器
- 画像解析ソフト
自動車部品の品質管理を強力にサポートするCTデータ解析ソフトウェア
- 分析機器・装置
- 三次元測定器
- 画像解析ソフト
様々な2D/3Dデータを高速表示！工作機械のシミュレーションに
- 三次元測定器
- その他CAD関連ソフト
- 3次元CAD
非接触ラインセンサCLS。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定。エッジや斜面に適した高許容角度性。ウエハエッジ測定実績多数
- 三次元測定器
2026年 OPIE出展情報
4月22日～24日にパシフィコ横浜で開催されるOPIE 26'に出展致します。 ブースは、L-37 (光と画像のセンサ＆イメージングEXPO)です。 3DラインセンサCLS2、シングルポイントの厚みセンサ、距離センサ、不透明体の厚み測定ができるEnovasenseを展示予定です。
12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響無しで高速測定。オンライン、オフライン、ウエハ検査用途に。
- 膜厚計
- 三次元測定器
2026年 OPIE出展情報
4月22日～24日にパシフィコ横浜で開催されるOPIE 26'に出展致します。 ブースは、L-37 (光と画像のセンサ＆イメージングEXPO)です。 3DラインセンサCLS2、シングルポイントの厚みセンサ、距離センサ、不透明体の厚み測定ができるEnovasenseを展示予定です。
