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１００万回繰り返しても壊れない！確実動作と高耐久性・低価格のマットスイッチ。工作機械のオプションなどにも。納期ご相談ください。
- センサ
直径３０ｍｍ程度から8インチ、高ライフタイム、１万オームを超えるような高抵抗も対応可能！薄化、チップ加工もアレンジいたします！
- その他半導体
- 加工受託
- ウエハー
必要機器をパッケージ化することで、煩わしい現地調査や設計プロセス不要で見える化をはじめられます！
- その他セキュリティ・監視システム
- 電力監視機器
- デマンド監視
「電池情報の見える化」でシステム制御を最適化。CAN通信標準対応リチウム電池パック。
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
【産業用電池】【エンジンに負けない力強さを】建機・農機のEV化を加速させる高出力リチウム電池
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
【小型AGVに】 薄型・コンパクトでも高出力！「急速充電」で稼働を止めない 物流ロボット専用リチウムイオン電池
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
【AGV稼働率を最大化】鉛電池から載せ替えるだけで急速充電対応に。
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
【稼働率改善】1時間の充電でフル稼働。昼休みや休憩時間の「継ぎ足し」に最適
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
【産業用電池】AGV・AMRのために設計された、専用リチウム電池です
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
【1台から特注対応】既製品にないサイズ・電圧・容量をカタチに。「小ロット」で試作から量産までサポートします。
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
施工性に優れ、オプション機能が豊富なDC-48V対応の直流分電盤です。
- 分電盤
「運ぶ」から「使う」まで、世界基準の安心と安全を。国際認証対応バッテリー。
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
デッドスペースに収まる「自由形状」のカスタム電池 薄型・細長など。筐体サイズに合わせてバッテリーをデザインします。
- リチウムイオン電池
- 2次電池・バッテリー
- 電池・バッテリー
【電池パック試作を加速】絶縁・耐熱・導電の必須部材をラインアップ。小ロット対応で開発・設計をトータルサポートします
- 2次電池・バッテリー
- リチウムイオン電池
- 電池・バッテリー
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置
- 蒸着装置
- スパッタリング装置
- アニール炉
【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】総合カタログ
この度、MiniLabシリーズ薄膜実験装置のカタログを一新しました。 【MiniLabシリーズの特徴】 ◉スパッタ、蒸着（抵抗加熱・有機・EB）、アニール、プラズマエッチング等に対応 ◉モジュラー式 フレキシブルにコンポーネントの組合せを構成（ソース複合型、マルチチャンバーも可能） ◉コンパクト、省スペース設計（幅1,200 x 奥行560mm） ◉優れた操作性：直感的インターフェイス、操作が分散せず全てをタッチパネルで一元管理できます。 研究開発の現場で、必ずやお役に立てるものと確信しております。 ぜひご検討ください。
バッテリー状態を『見える化』 点検を『省力化』できる！ UPSバッテリー遠隔監視システム
- UPS・無停電電源装置
- 分電盤
- その他サーバ関連
端子台レスで省スペースかつ、必要最小限の遮断容量を持ったブレーカーを搭載できるデータセンター向け交流分電盤です。
- 分電盤
- その他サーバ関連
- UPS・無停電電源装置
AIで過剰冷却を抑え、空調電力の削減と安定稼働を支援
- 冷却装置
- サーバ監視・ネットワーク管理ツール
- サーバクーラー
遠隔監視の現地調査から機器選定・施工・設定までをメーカーが一括対応し、複数業者との調整負担を軽減
- サーバー
- その他サーバ関連
- UPS・無停電電源装置
2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、蒸着、など）をロードロックでシームレスに連結
- スパッタリング装置
- 蒸着装置
- エッチング装置
【MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉】Max 2000℃__超高温ウエハーアニール専用（6inch〜8inch）真空・大気圧ガス置換（Ar, N2, O2）
◾️Max2000℃ ◾️有効加熱範囲：Φ6〜Φ8inch 枚葉式、又はバッチ式 ◾️ヒーター制御：1ゾーン、又は2ゾーン ◾️ヒーター材質： ・C/Cコンポジット ・SiCコーティンググ ・TaCコーティング ・タングステン ◾️使用雰囲気： ・真空（10-3Pa台@1800℃（*但し空炉、高真空ポンプ仕様の場合）、大気圧ガス置換（Ar, N2, O2）、APCプロセス圧力制御 ◾️PLCセミオート運転 ・真空/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御 ・タッチパネル操作 ◾️ プロセス圧力制御 ・APCコントロール（MFC流量、又は自動開度調整バルブ（PIDループ制御） ・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整 ◆主な応用アプリケーション◆ ・ワイドギャップ半導体 結晶成長およびデバイス作製プロセス中での高温アニール ・窒化物半導体結晶 エピタキシャル成長プロセス中での高温アニール ・SiC、GaN（窒化ガリウム）パワー半導体高温アニール ・薄膜ニオブ酸リチウム ・他各種先端材料基礎開発に応用
内部抵抗・電圧・温度を遠隔監視し、UPSバッテリーの劣化把握と交換時期の判断を支援
- UPS・無停電電源装置
- サーバー
- サーバ監視・ネットワーク管理ツール
AI空調制御で判断差を抑え、設備管理の標準化を支援
- 冷却装置
- サーバ監視・ネットワーク管理ツール
- サーバクーラー
温度データをAIで活用し、熱だまりと冷やしすぎを抑制
- 冷却装置
- サーバ監視・ネットワーク管理ツール
- サーバクーラー
高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ、4元マルチスパッタ（Φ2〜4inchカソード）
- スパッタリング装置
- 蒸着装置
- エッチング装置
◉超高温実験炉 【Mini-BENCH-prism】 セミオート式 Max2000℃ 真空・大気圧ガス置換焼成（Ar, N2, O2）
◉最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオート制御：真空/パージ、ガス置換、ベントの各工程を自動制御 ◉使用雰囲気：真空、大気圧ガス置換焼成（Ar, N2, O2）、APCプロセス圧力制御 ◉ヒーター材質： ・C/Cコンポジット ・SiC/TaCコーティング ・タングステン ◉有効加熱範囲 ・面状ヒーター加熱範囲：Φ2inch〜Φ6inch ・円筒状ヒーター加熱範囲：Φ30〜Φ80 x 深さMax100(H)mm ◉到達真空度：10-3 Pa台（@1800℃ *但し空炉、高真空ポンプ仕様の場合） ◉MFC最大3系統 自動流量制御（又は手動） ◉APC圧力制御（オプション） ◉インターロック：冷却水異常・チャンバー温度異常・過昇温異常 ◉小型・省スペース：幅603 x 奥行603 x 高さ1,160mm（*ロータリーポンプ筐体内設置） ◆主な応用アプリケーション◆ ・新素材開発 ・材料分析 ・その他各種先端材料開発に応用
