半導体製造装置の製品一覧

規格品が多く設置場所や処理量が制限される真空炉もオーダーメイドで製作しています

• 工業炉

“機械設備をいまある現場で最大限に活かす恒温環境"の新提案！

• その他空調機器

真空チャンバー、真空配管、ガス配管、真空装置

• その他加工機械
• その他半導体製造装置
• 製造受託

ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド

• その他産業用ロボット
• その他半導体製造装置
• 空圧機器

業界初、新小型サーボプレス機。ストローク長とラムスピードは３〜６０ｍｍの範囲で任意に設定可能

• その他半導体製造装置
• サーボ
• プレス金型

超薄物材料のプレス・トムソン加工やハーフカット加工に最適

• その他半導体製造装置
• サーボ
• プレス金型

小型・軽量・低騒音で環境に優しく、応用範囲が無限に広がる新プレス機。

• 塑性加工機械(切断・圧延)
• その他半導体製造装置
• プレス金型

小型・軽量・低騒音で環境に優しく、応用範囲が無限にひろがる新プレス機。

• 塑性加工機械(切断・圧延)
• その他半導体製造装置
• プレス金型

小型プラズマクリーナー（簡易型枚葉式プラズマクリーナー）

• エッチング装置
• アッシング装置

EFEM（Equipment Front End Module）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

FOUP/FOSB対応ウエハ移載機（300mmウエハ対応移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

SMIF対応ウエハソーター（SMIF対応ウエハ移載機）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

ウエハ移載機（ウエハソーター）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

ウエハ移載機（ウエハソーター）

• その他クリーンルーム用機器・設備
• その他半導体製造装置

６インチ径PFAカスタム圧力容器

• その他半導体製造装置
• 加工受託

プラズマ処理装置（多目的プラズマエッチャー）

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他加工機械

精密洗浄

• その他半導体製造装置
• 表面処理受託サービス

枚葉式プラズマエッチング処理装置（枚葉式プラズマエッチャー）

• エッチング装置
• アッシング装置
• ウエハ加工/研磨装置

ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

• エッチング装置
• アッシング装置
• 基板加工機

表面改良コンポーネント

• その他半導体製造装置
• 製造受託

基板接合（直接接合・陽極接合・真空封止）

• その他半導体製造装置

ウェハー表面改質・精密接合装置

• ウエハ加工/研磨装置

フィルム連続成膜装置

• その他半導体製造装置

金属（METAL）

• ウエハ加工/研磨装置
• 食品切断装置
• その他

磁性流体シール

• CVD装置
• イオン注入装置
• 蒸着装置

ユニバーサル　プログラマー

• その他塗装機械
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

省力化・合理化機械（一部抜粋05）

• 自動選別機
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

省力化・合理化機械（一部抜粋04）

• 自動選別機
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

省力化・合理化機械（一部抜粋03）

• 自動選別機
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

省力化・合理化機械（一部抜粋01）

• 自動選別機
• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

キャビテーションメーター（超音波強度測定器）

• その他半導体製造装置
• その他計測・記録・測定器
• その他

ステンレスの電解研磨

• イオン注入装置
• 蒸着装置
• 表面処理受託サービス

アルミニウムの電解研磨

• エッチング装置
• 蒸着装置
• アルミニウム

FDD変換ユニット

• その他半導体製造装置
• その他FA機器
• ストレージ

RSコマンダ

• その他半導体製造装置
• その他計測・記録・測定器

仮想プリンタ

• 印刷機械
• その他半導体製造装置
• 拡張ボード

モニタ調整ツール

• その他半導体製造装置
• その他FA機器
• その他画像関連機器

マニュアルプローバー

• 半導体検査/試験装置

シールドシステム

• その他半導体製造装置
• その他環境機器
• 受託測定

キー付きバルブ

• 酸化/拡散装置
• 流量制御
• バルブ

TrueSeal　Fitting

• CVD装置
• その他環境分析機器
• 水処理装置

3Dコイル

• その他加工機械
• その他半導体製造装置
• インダクタ・コイル

超精密コーティングダイ・ノズル・周辺装置

• コーター

中古洗浄装置、メンテナンス、改造

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

大物部品加工事例集　無料プレゼント

• 旋盤
• 射出成形機
• ウエハ加工/研磨装置

超小形比例電磁弁

• 半導体検査/試験装置
• ガス発生装置
• 分析機器・装置