半導体製造装置の製品一覧
- 分類:半導体製造装置
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開発から量産据え付けまで1チームで手がけるHonda鈴鹿製作所におけるAutoForm活用、3年間の歩みとその成果
- シミュレーター
光学用真空蒸着装置の回転系に滑らかな回転をもたらし、歩留まりの向上と回転系部品の長寿命化を達成します。
- 蒸着装置
- 真空機器
- その他金属材料
リフロー時における熱変形を高精度測定 半導体パッケージ・プリント基板・各種素材など温度変化による熱変形を非接触で精密に測定
- 半導体検査/試験装置
- 温湿度関連測定器
- 絶縁抵抗計
大型ワークをナノオーダー・超深度でダイレクトに観察可能 顕微鏡ヘッド移動領域800mm×800mm×300mm キーエンス社製超
- 半導体検査/試験装置
- 距離関連測定器
超小型ドライバーでDC5V入力の最大250分解マイクロステップ搭載
- 半導体検査/試験装置
- その他FA機器
- コントローラ
ステッピング特有の振動を最大限に抑制し低速から高速まで安定した制御を実現!超低振動3軸一体型マイクロステップドライバー・ステッピ
- 半導体検査/試験装置
- その他FA機器
- コントローラ
石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧
- その他半導体製造装置