半導体製造装置の製品一覧

用途はアイデア次第！ 重い物が 楽に 軽く 回せる 小型旋回ベアリング「楽っかる(らっかる)」！

• 金属軸受・ベアリング

JIS・ISO規格の解説資料進呈。豊富な製品シリーズから好適な安全柵をご提案！デモキット無料貸出。

• その他安全・衛生用品

独自の制御システムにより、パターンの再現性を実現出来る

• フォトマスク

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底除去

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置
• その他光学部品

6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ

• その他理化学機器
• 距離関連測定器
• ステッパー

半導体用発熱体

• その他ヒータ
• 電気炉
• 酸化/拡散装置

シリンダータイプヒーター（円筒）　

• その他ヒータ
• 電気炉
• 酸化/拡散装置

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

• その他ヒータ
• CVD装置
• アニール炉

スーパータル　HT （高温用半円筒型、最高炉内温度1675℃）

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

スーパータル　半円筒（ハーフシリンダー）型

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

発熱体最高使用温度：1550℃！モジュールヒーター

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

研究所や電子産業に最適！クリーンプロセスでの高温発熱体

• その他ヒータ
• 電気炉
• アニール炉

CVDコーティング装置向けモジュールヒーター

• 鉄鋼
• CVD装置

研磨業を通じて、お客様の発展に寄与し、地域と共に豊かな未来を想像し続ける。

• 加工受託
• ウエハ加工/研磨装置
• 基板設計・製造

Fujifilm Dimatix社富士フィルムインクジェットヘッド駆動コントローラー基板SG/PQ/QS/QE制御。

• その他プロセス制御
• その他半導体製造装置

インクジェットヘッドコントローラー基板です。業界で唯一、ノズル毎の駆動制御技術と基板開発を供給します。

• その他半導体製造装置

クリーンルーム内や真空チャンバー内で使用できる完全オイルフリー・コンタミフリーなアルミホイルです。

• スパッタリング装置
• アルミニウム
• その他半導体製造装置

配管ヒーター、シリンダー等の熱を逃がさない！電力削減やCO2を削減！用途に合わせて形状・材料を自由にカスタマイズ可能！

• 射出成形機
• 押出成形機
• CVD装置

半導体・製薬・食品業界に最適なフッ素樹脂ボールバルブ！耐熱性・耐薬品性に優れた全８種類をまとめてご紹介！

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置
• バルブ

フッ素樹脂ＰＦＡフレキシブルチューブ

• その他半導体製造装置
• 配管材
• チューブ

フッ素樹脂コイルチューブ

• その他半導体製造装置
• 配管材
• チューブ

フッ素樹脂チェックバルブ

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置
• 配管材

フッ素樹脂ボールバルブ

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置
• バルブ

フッ素樹脂ボールバルブ

• その他理化学機器
• その他半導体製造装置
• バルブ

ＢＳＴヒーター　Ａ型・Ｂ型

• 加熱装置
• その他半導体製造装置
• その他ヒータ

ＢＳＴヒーター　フラット型

• 加熱装置
• その他半導体製造装置
• その他ヒータ

【フッ素樹脂熱伸縮チューブ】耐熱性！耐薬品性！電気絶縁性！高周波特性

• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置
• チューブ

研究・試作用途に最適！各種乾燥方式を選択可能な高精度設計塗工機

• コーター

コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

経済性に優れた高精度ラバーシール

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MFM

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

高精度・信頼性のメタルシールモデル

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

投げ込み型のテフロンヒーターです

• その他半導体製造装置
• プラスチック

バッチ式ウエット(薬液処理、洗浄)プロセスで使用される石英ガラス槽を製作しています。

• その他半導体製造装置
• ガラス器具・容器

１、実験用のDPN仕様インクジェット印刷・塗布装置。 ２、KM256LNB-DPN使用可

• その他半導体製造装置

プリンテッドエレクトロニクス用途のインクジェット印刷に必須の親水領域・撥水領域パターン描画装置です。波長２８５ｎｍ

• その他半導体製造装置

紫外線硬化ユニット

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置

石英ガラス製のジャケットとハロゲンランプ熱源のインラインヒーター（ケミカルヒーター）ユニットです。

• その他半導体製造装置

ウェハ表裏同時露光！セミオート動作で中ロット生産に対応

• その他半導体製造装置

リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデル

• 蒸着装置

明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

• CVD装置
• スパッタリング装置
• エッチング装置

一定の膜厚に塗工するよう設計されたラージサイズ塗工機です

• 2次電池・バッテリー
• コーター

小型サイズの塗工機です。

• 2次電池・バッテリー
• コーター

塗工後に最大100℃で薄膜を乾燥できるヒートカバー付き塗工機です。

• 2次電池・バッテリー
• コーター

インクジェットＤＰＮ吐出制御による１％精度ヘッド制御を実現しました。

• その他半導体製造装置
• その他プロセス制御
• その他半導体

最大1,000lpmまでの流量を確保

• CVD装置
• エッチング装置
• 蒸着装置

油圧シリンダと空油圧変換増圧装置をコンパクトに一体化した高推力エアシリンダ

• 油圧機器
• モールディング装置
• その他機械要素