到達真空度/の製品一覧
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小型ダイアフラム『R27A5A24K103』はDCモーター、高性能で多様に対応可能！導入実績も多くコストダウンにも効果的！
- 真空ポンプ
卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
- 加熱装置
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） 【対応基板サイズ】 ◉ Φ1inch〜Φ6inch 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
軽量タイプのシリーズで高周波仕様です。 商用航空機に搭載実績がありリプレイスの対応も可能です。
- その他ポンプ
- 容積型ポンプ
- 特殊ポンプ
最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、タングステンメタル炉） 小型・省スペース実験炉
- 加熱装置
BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
高真空対応 多彩なヒーター材質オプション。 PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、高温真空アニール、高温解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ●設置、メンテナンスが容易（M6スタッドボルト、支柱） 【対応基板サイズ】 ◉ Φ1inch〜Φ6inch 【標準付属品】 ● 熱電対：素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外ヒーター素線（Nb, Mo, Pt/Re, WRe他） ● 基板保持クリップ ● 取付ブラケット ● 基板ホルダー ● ホルダー設置用タップ穴加工 ● トッププレート材質変更（PBN, 石英, カーボン, Inconel, 他） ● 過昇温用追加熱電対 ● ベースフランジ、真空導入端子
【特注事例】セイデンシートグローブボックスのご紹介！
■【特注事例】セイデンシートグローブボックス ■お客様のご依頼内容及び問題点 発塵を抑制し、安価で簡易的なグローブボックスの製作依頼。 クリーンルーム内に設置して作業をしたい。 ■弊社のご提案・製品特長 1.グローブボックスの各面をシートで製作し、シートが破損しても交換可能。 (シート交換は弊社にて承ります。) 2.アルミフレーム枠を採用。 3.ガス置換環境下での作業に使用。 そのほか、ガス置換・真空・クリーン・低露点・防爆・大型など、 用途や環境に応じたグローブボックスをフルオーダーメイドで製作します。 お気軽にお問い合わせくださいませ！ 詳しくはHPよりご覧くださいませ！
高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）
- スパッタリング装置
- 蒸着装置
- エッチング装置
ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応
Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar） [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。 高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により３種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター：Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター：Max1000℃（真空中、不活性ガスのみ） ・SiCコーティングヒーター：Max1000℃（真空、不活性ガス、O2）
【特注事例】セイデンシートグローブボックスのご紹介！
■【特注事例】セイデンシートグローブボックス ■お客様のご依頼内容及び問題点 発塵を抑制し、安価で簡易的なグローブボックスの製作依頼。 クリーンルーム内に設置して作業をしたい。 ■弊社のご提案・製品特長 1.グローブボックスの各面をシートで製作し、シートが破損しても交換可能。 (シート交換は弊社にて承ります。) 2.アルミフレーム枠を採用。 3.ガス置換環境下での作業に使用。 そのほか、ガス置換・真空・クリーン・低露点・防爆・大型など、 用途や環境に応じたグローブボックスをフルオーダーメイドで製作します。 お気軽にお問い合わせくださいませ！ 詳しくはHPよりご覧くださいませ！
