含浸の製品一覧
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シリカエアロジェルは現存する個体の中でも特に熱伝導率が低い物質。これによりDRTシリーズは超低熱伝導率を実現しております!
- 遮熱フィルム
研究開発、試作用途として好評な『真空装置』に、加圧用機機構と吸排気調整 電動バルブユニットが付きました!
- コンデンサ
- 脱気装置
- 真空機器
大量生産向け|国産ならではの高性能なタッチパネルタイプ真空包装機 ガス封入機能付<簡単ワンタッチ操作> 長期保存・簡単操作
- 真空包装機
大量生産向け|国産ならではの高性能なタッチパネルタイプ真空包装機<簡単ワンタッチ操作> 袋詰めに最適・長期保存・簡単操作
- 真空包装機
軽量・高強度素材である炭素繊維や熱可塑性プラスチック、ガラス繊維強化プラスチック等の積層材、ガラス等の切断に最適です。
- その他
繊維径6~18μm、繊維長25mm以下のチョップドストランドと呼ばれるガラス繊維を主体として、独自の技術と方法によりペーパー化!
- 紙・パルプ
【技術情報】CMP研磨パッドの溝加工 2
前回、研磨パッド表面の溝加工によってスラリーの拡散が変わることをご説明しました。 溝によるスラリーの拡散効果を可視的に検証した事例をご紹介します。 半導体用などでデファクトスタンダートとなっている研磨パッド「IC1000」に異なる溝加工を6種類サンプルとして準備。 ・Circular Groove(同心円溝) ・Perforated Groove(貫通穴溝) ・Radial Groove(放射溝) ・Spiral Groove(螺旋溝) ・XY Groove(XY溝) ・Acr Groove(円弧溝) 青色に着色した液体を同条件下で滴下すると、溝加工によって液体の拡散が異なることがよく分かります。同心円溝や螺旋溝はスラリーの保持性が高く、放射溝や円弧溝はスラリーの排出性が優れることが確認できます。 このように同じ研磨パッドでも溝加工によってスラリーの拡散が異なり、ウェーハなどワークに介入するスラリーの作用に影響しますので、溝加工の選定は大変重要です。 当社ではお客様でのプロセス条件やターゲットを考慮して、溝加工の選定のお手伝いもさせて頂きますので、ぜひご相談下さい。