広域ウェットエッチング製造向けエッチングシミュレータ
エッチング製造仕上がり計算と自動補正を行う双方向シミュレータ。パネルサイズのエッチング現象を高速計算し、製造歩留まり改善を実現
1.エッチング現象を時間変化(dt)で計算する高速エッチングシミュレータ 2.製造仕上がり形状計算と補正データ生成を行う双方向シミュレータ。補正データの生成/検証をサポート。 他社補正データを使った製造仕上がり計算にも対応 3.16GBのメモリでパネルサイズ(500mmx600mm)の広域計算を実現 4.レジスト分布からエッチング圧を2.5次元的にみて計算するため、レジストギャップが大きく変わる場所の変化、 凹凸部のえぐれや角だし等の変化量を自動計算。変化度合いはパラメータで調整することが可能 5.計算ステップが進行して補正データ間が異常接近するときは補正計算を部分的に自動停止。指定されたDRC値に 違反しない補正データを自動生成 6.DXF、Gerber、ODB++、GDSIIなどのCADデータ入出力入出力。CADデータの相互変換にも対応 7.簡単操作で高品質な計算結果を実現
- 企業:株式会社Oscillated Recall Technology
- 価格:100万円 ~ 500万円