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低コストで高性能！画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現！
『DOF-5』は、光学イメージングアプリケーション向けに最適化された 低コストで高性能なナノポジショニングステージです。 移動量（5mm）と帯域幅（225Hz以上）が大きく、画像の安定性を維持しながら 高速なステップと整定を実現。 また、ボリュームディスカウントが利用可能です。 【特長】 ■高価な顕微鏡用ピエゾステージの代替品として登場 ■ボリュームディスカウントが利用可能 ■光学イメージングアプリケーション向けに最適化 ■低コストで高性能 ■画像の安定性を維持しながら高速なステップと整定を実現 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
手動で制御する精密位置決めステージ
ピエゾアシストステージとは20nmという最小分解能でかつ粗動(mmオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。 主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途（ナノインデンテーション）でも容易に実現できる手動精密ステージです。 大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単です。 低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。（*1nm=10億分の1m)
各種測量器の自動水平設定維持や、各種センサーや測定器の自動精密水平設定に適しています
『AS-21S』は、整凖完了をLED表示できる自動精密整準台オート ステージです。 SW ONで高精度自動整凖。整凖完了後は固定できます。 AC/DC 2電源方式。傾斜±4°以内は自動整凖です。 各種機器への取付用各種アダプターを装備。各種測量器の自動水平設定維持や、 各種センサーや測定器の自動精密水平設定に適しています。 【特長】 ■SW ONで高精度自動整凖 ■整凖完了をLED表示 ■整凖完了後は固定可 ■AC/DC 2電源方式 ■傾斜±4°以内は自動整凖 ■各種機器への取付用各種アダプターを装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
1μradまでのさまざまな速度、力、位置決め要件に対応
FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。
高精度位置決め、高速移動と微動をひとつで実現するNanomotionの超音波モータ。装置に合わせカスタムメイドにも対応します。
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブ。 大気中だけでなく高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■ライトシート顕微鏡用ステージ 正確で10nmの精度を実現し、優れた速度均一性を備えています。 XYZとTip-Toltの5軸。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
半導体の製造／検査向け、顕微鏡向けの位置決めステージシステムを展示します
工苑が取り扱っているNanomotion社の超音波モータは、位置決めステージの高速移動と精密位置決めを両立できます。 この超音波モータを使ったステージは、電子ビーム／イオンビーム用ステージや、ライトシート顕微鏡などでの実績があります。 これらの位置決めステージは、ユーザ様の仕様からNanomotion社で設計提案を行い、またユニットとして製造供給も行っています。 このたび東京ビッグサイトで開催される「 SEMICON Japan 2023」で、この超音波モータを使ったステージシステムを出展します。 【出展製品】 ■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモ有) ■半導体産業向け4軸ステージ ■ライトシート顕微鏡用5軸ステージ 皆様のご来場を心よりお待ちしております。
微小角度の繰り返し駆動時のバックラッシを低減！自動回転ステージ
ボールねじを使用した回転ステージ 微小角度を繰返し駆動させる用途に最適！ 【特徴】 ○高耐久性仕様 微小角度で繰返し駆動を続けると、ウォームギヤタイプでは磨耗による バックラッシが懸念されていたが、移動機構をウォームギヤ（摺動）から ボールねじ（転がり）にすることで、「高耐久性」を実現 ○加減速性能の向上 ウォームギヤに比べて摩擦（摺動抵抗）が小さいため、 スムーズな立ち上がり・加速が可能 ○バックラッシ減速 機構要素に予圧部品を用いることで、「バックラッシほぼゼロ」を実現 ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
X軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XY軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XZ軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです
XYZ軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
必要な機能に特化し、驚きの低価格を実現！X軸リニアボールガイド
『KXTシリーズ』は優れた機能で低価格を実現したX軸方向に移動する 自動ステージです。 ステージ面サイズ□40mmの「KXT04015」と、□60mmの「KXT06015」を ラインアップ。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【特長】 ■必要な機能に特化 ■低価格を実現 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
案内ガイド一体構造で薄型を実現！豊富なバリエーションをご用意
『PGシリーズ』はX軸リニアボールガイド「PG413」や「PG513」など 案内ガイド一体構造で薄型を実現した自動ステージです。 テーブルサイズ、センサオプションなど豊富なバリエーションを ご用意しています。 使用条件に応じて最適な機構の製品、ご使用方法をご案内いたしますので お気軽にご相談ください。 【モータオプション】 ■標準モータ ■高トルク ■高分解能 ■電磁ブレーキ付 ■αステップ ■ACサーボモータ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
回転中心振れが非常に小さく、高精度な自動ゴニオステージ
『自動ゴニオステージ』は、微小角度を繰返し駆動させるのに適した ボールねじタイプと、移動ガイドにクロスローラと機構にウォームギヤを 採用したウォームタイプをご用意しています。 光ピックアップ調整・検査装置で微小角位置決めを繰返すことができます。 組立て、実装工程での、部品の姿勢補正が可能です。 カメラレンズや携帯電話用液晶パネル等の張り合わせ用途など、 生産・検査ラインで幅広くご使用いただけます。 【特長（ボールねじタイプ）】 ■高耐久仕様 ■加減速性能の向上 ■バックラッシ低減 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型で低価格なコントローラなど多数掲載！制御機器を豊富に取り揃えています
駿河精機では「ステッピングモータコントローラ」「ケーブル」 「モータ」など自動ステージ用制御機器を多数ご用意。 5相ステッピングモータ駆動用ドライバを2軸搭載した小型で低価格な ステッピングモータコントローラ「DS102/112シリーズ」をはじめ、 接続が簡単にできるケースタイプのドライバ「KRシリーズ」などを ラインアップしています。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
リニアボールガイドをタイプ別に充実したラインアップで掲載しています！
当カタログでは、手動ステージ『リニアボールガイド BSS/BSBシリーズ』を ご紹介しています。 本体素材はステンレス、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し、 高剛性・高精度を実現。充実したサイズ/表面処理/オプション仕様で ラインアップしています。 【掲載製品】 ■X軸リニアボールガイド(SS)ステージ □25 ■X軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■XY軸SSステージ操作側クランプタイプ □40/□50/□60/□70 ■X・XY軸SSステージ取付姿勢マルチタイプ □40/□60 ■薄型XY軸リニアボールガイド(SS)ステージ □40～□70 ■XY軸リニアボールガイドBYTシリーズ □40/□60 ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最小限に抑えたリニアステージ。直立・倒立でも使用OK！。
当社が取扱う『トゥルー・ナノ・ポジショニング』は、 ナノメーターレベルで位置制御ができる、高精度を追求したリニアステージです。 6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。 独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。 【特長】 ■X-Y-Z-θｘ-θｙ-θz の組み合わせ自由 ■６D Precisionにより、真のナノメーター精度へ ■XY直交度1秒角のオプションあり ■真空オプションあり ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ
ALIO社は2001年に設立以来、一貫して、Nanoにこだわって、 ステージを製造してまいりました。クロスローラーガイド、エア ベアリング、リニアモーター、PZTモーター等、アプリケーション に最適のステージを250種以上のスタンダードステージより組み 合わせて提供します。
クローズドループシステムであっても、インターチェンジャブルに使用できます。
Piezo System Jena社ではピエゾアクチェーター用に低ノイズコントローラーを開発・製造しております。 これらのコントローラーは同社のステージと組み合わさることにより、キャリブレーションフリーのシステムとなります。 【仕様】 [ピエゾ用低ノイズドライバー] ○可動軸 1～6軸 ○電流値 10-800mA ○対応センサー ストレインゲージ（歪み）・キャパシティブ ○電圧ノイズ ＜0.3mV RMS.@500Hz ○キャリブレーションフリーシステム →クローズドループシステムであっても、 インターチェンジャブルに使用できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
調整ノブは滑らかで、高精度な位置調整が可能！超小型ステージ各種をご用意
『高精度フレクシャーステージ・超小型ステージ』は、オーテックスが取り扱うELLIOT SCIENTIFIC社 の製品です。 高精度を維持するような板バネが使用され、なめらかに安定した動作で定評があります。 また調整ノブは滑らかでかつ高精度な位置調整が可能です。 他に超小型ステージ各種も精密調整用に広く使用されており、真空、 非磁性などの対応製品もご用意しています。 また、お手持ちの顕微鏡に後付け型の光ピンセットもご用意しております。 【特長】 ■高精度を維持するような板バネを使用 ■調整ノブは滑らかで、高精度な位置調整が可能 ■調整ノブのみの販売やOEM供給も可能 ■超小型ステージ各種をご用意 （サイズ12×16mm、ストローク3mm、精度0.5μm以下） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
標準で2nmオプティカルエンコーダーを内蔵、お手軽にナノメートルオーダーの位置決めが可能です
・小型・高推力ピエゾモーター使用 アクチュエータはフリクションベースのピエゾモーターを使用しておりバックラッシュフリーで使用可能です。垂直方向の保持力は500gまでと小型ながら高い保持力を持っています。 ・2nmの最小ステップ 内蔵オプティカルエンコーダで最小2nm刻みでの動作が可能です。セルフロッキングシステムで電源を切ってもポジションを保持します。 ・3軸用コントローラー コンパクトな3軸用クローズドループコントローラーです。USB接続でWindows10から簡単に設定、操作が行えます。 付属の2種類のプログラムはASCIIコマンド制御、ジョイスティックに対応します。
ハイアングル対応、高速ジンバル駆動ステージ
近年、レーザー加工で求められる>45°のレーザー入射角。ALIO Industries社からの提案が5D Laser Ginbalとなります。 高精度ジンバル駆動+高精度モノリシックXY+ Z軸のコンビネーションの一見、複雑な駆動系を多軸補間をコントローラーに埋め込むことにより、 ユーザーはシンプルなGUIで高速・高精度のステージとレーザー(On/off, Power等)の同期制御が可能となります。
小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。
小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
MAUKA は、最大 5 kg の耐荷重をサブマイクロメートルの分解能で位置決めするように設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 直径は 107 mm、中間位置での高さは 198 mm です。直径を最小限に抑えるために、モーターが一列に取り付けられるヘキサグライド形状を使用しました。 MAUKA は、垂直、水平、またはその他の角度のあらゆる方向に動作します。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびにホーミング コマンドを実行する必要がありません。
小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
HEGOAはサイズが小さく (42 cm)、耐荷重50kg、重量が軽いため、他のヘキサポッドと比較して、設置と使用が最も容易です。さらに、大型ヘキサポッドよりも手頃な価格です。 海軍分野、航空宇宙、自動車分野 (自動運転車用センサー、AdBlue タンク テスト)、または安定化テストなど、産業分野での動的アプリケーションに最適です。また、研究室や医療用途 (神経学、運動学) にも使用できます。
500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
SURES は、非常に高精度で剛性の高い位置決めシステムです。 最大 500 kg の搭載物を高分解能 で調整およびセットアップできます。宇宙、天文学、望遠鏡の分野に特に適しています。 たとえば、地上の望遠鏡のミラーを正しく再調整して、重力の変化や夜間の温度変化による構造の変形を補正することができます。地上望遠鏡のほとんどは標高の高い山の頂上に設置されているため、SURES の機構と電子部品は寒冷環境でも動作するように設計されています。
ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
MISTRALは、重要な直線移動および角度移動範囲 (直線移動で最大 ±460 mm、角度移動で ±40°) で最大 1 トンの荷重のモーション生成を可能にします。ボートの船体をテストするためにヒーブモーションを実現するために最初に設計されました。陸上、海軍、または航空の乗り物の軌道を再現することもできるため、その後搭載されるセンサー、電気光学システムなどの実験室テストが可能になります。
小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
SIROCCOは最大2トンの荷重での動作の再現が可能です。 このヘキサポッドは、液体の動きを研究したり、運動モデルに設定したり、車両をシミュレートしたりするために使用できます。 このソリューションは、運動発生器から独立した 6 自由度の測定システムを統合することができ、可動テーブルの位置をリアルタイムで制御することが可能になります。
パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
AQUILON は、ラインナップの中で最も耐荷重の大きいヘキサポッドです。 6トンの重さを動かせます。 必要に応じて、より高いペイロード容量を備えたバージョンを実現できます。 AQUILON は主にうねりシミュレーション、スロッシング、防御 (砲塔テスト) アプリケーションに使用されます。
