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300mmサイズのワークのプロセスに最適！
リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触 防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用 高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
高精度リニヤステージ 透過型ステージ
ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成 ○裏面のスペースも十分確保 ○高剛性ながら、安価 ○軽量化が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です！
◆超精密位置決めに最適なステージ！ ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。 ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。
顕微鏡での使用を前提に設計された高精度・高分解能でさらに低振動の薄型の電動ステージです。
精密クロスローラベアリング、高度な組み立て技術、そして独自の無給油システムにより、高い精度を長期間にわたり安定して維持します。
高速応答性を重視したピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作します。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
高精度位置分解能を備えたチルトステージです。
光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーを組合せることで極めて高精度な位置決めができます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
チルト機構付ステージ
積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。 高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性。小型な筐体。 ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正。 一体弾性ヒンジによる精密動作。 ミラーなし、ミラー付きを選択可能。
積載荷重2,00kg！コンテナから荷物を引き出す時の仮置きステージ
物流機器 フォークリフト ステージ は、積載荷重2,000kg。フォークリフトでステージをコンテナへセットしコンテナからハンドリフトを使って荷物を引き出し、仮置きします。仮置きした荷物をフォークリフトで受け取る時使用します。主仕様は、全長:4,000m/m、床高さ:1,200～1,350m/m、幅:2,215(2,240)m/m [※( )内は安全柵を含む］ 接続渡板 1,940m/m、積載荷重:2,000kg、自重:840kgとなっております。 詳しくはお問い合わせ下さい。
2/1000℃の高精度温度制御を実現しました。
ペルチェ素子用の２/４ＣＨデジタル温度コントローラです。 従来のＴＤ-２０００/４０００Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのＴＤＣシリーズはペルチェの数（２ＣＨ、４ＣＨ）、電源電圧(８Ｖ、１５Ｖ、２４Ｖ)によって６機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、ＩＣセンサ（オプション）がお使いいただけます。 また、通信機能として、RS232Cを標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1640/1660シリーズ
大容量ペルチェ素子用の 1chデジタルコントローラ（1200Ｗ/1800W タイプ） 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が 一体となっており、AC電源を供給するだけで ペルチェ素子の温度制御が可能 ○大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型で高精度 ○制御サイクルが10 回/秒と高速 ○表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用できる ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築可能 ○最大駆動電圧150V／最大駆動電流20Aで使用できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
1/100℃制御精度 ペルチェコントローラドライバ TDC-2000/4000Rシリーズ
高精度な±1/100℃の制御安定度を実現した ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ 【特徴】 ○小型・高精度 ・1/1000℃の計測分解能と当社独自の 微小電流制御回路により、1/100℃の高精度温度制御を実現 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプルで小型 ・通常のPID 制御の他にオーバーシュートを 0.1℃に抑えられる抑制制御機能、温度変化率を一定に制御する 温度勾配制御機能を搭載しました ○多機能 ・煩わしいPID定数設定を省くためのオートチューニング機能を標準装備 異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方が使用可能 ・パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
長距離顕微鏡や大型円筒形の観測装置の位置決め用ステージとして、角度（上下）・回転（左右方向）・高さの調整が任意で可能です。 お客様のお手持ちの円筒形の観測装置に合わせ、作り込むことが可能ですので、ぜひご相談下さい。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
真空機器内の観察対象物を見るために、ズームレンズの細かい姿勢・位置決め調整するための手動５軸位置決めステージです。 XYZ軸の他、傾斜角度とズームレンズの遠近調整が可能です。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の３軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ（ステージ部分の最大外形：(65)×(65)×(65)mm）です。 ３軸の位置決めステージを□40ベース（□40×7t）の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具（20×10×8mmの部品）を３軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴（キリ穴とザグリの組み合わせ）を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・XY軸の並進移動にて位置決め調整が正確にできます。 ・製品の厚み（高さ）は 25mmです。 ・クロスローラガイドを移動ガイドに採用した高精度で軽量な直動型ステージです。 ・駆動方式に、ファインピッチのマイクロメータヘッド（P=0.25mm）を利用し、微細な調整も可能です。 ・当社製品 小型精密ラボジャッキ RJ-99Mへの搭載接続も可能です。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・中空構造により、ステージ面 φ200mm、耐荷重 20 kgf（196 N）を軽量設計（1.7 kg）にて実現。 ・粗微動切替クランプで粗動（360°回転）を固定した後、マイクロメータヘッドにより±3.5°の微動調整ができます。 ・移動ガイドにクロスローラを使用し、スムーズで精密な位置決めが可能です。 ・材料や検体の測定・分析のために、小型の装置・測定器を固定・位置調整する用途に有用です。 【参考】 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
プリント印刷物/各種フィルム/塗料の光学自動測定システム
本装置は８軸の自由度を持つステージで、鏡面光沢度、鏡面反射率、BRDFなどの測定が 全自動で容易に行うことが出来るように設計された装置です。
回転傾斜角度をつけて自由な方向から観察・撮影に好適なステージを多数ラインアップ！
株式会社高井精器では、『回転傾斜ステージ』を取り扱っております。 コンパクトタイプで顕微鏡に好適な「RIS2-30」をはじめ、角度目盛り付きの 「RIS7-24M」や、水平固定機能付きの「RIS3-100-50S」など、多数 ラインアップをご用意。 また、特注ステージのご相談も承っておりますのでお気軽にご相談ください。 【ラインアップ（抜粋）】 ■RIS2-30 ■RIS2-45 ■RIS7-24M ■RIS7-40 ■RIS3-100 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
テーブル面が傾斜するタイプのステージです。傾斜の向きが異なる２種類がございます。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
特に光学ミラーの”アオリ調整”に適した形状です。１軸アオリ（θx）と２軸アオリ（θx、θy）があります。
ピエゾステージ PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに好適
■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに好適
■弾性ヒンジ機構による回転案内 独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。 摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レーザ光スキャニングに適しています
■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力（数百Nクラス）を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ／ドライバを介して簡単に行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージ
■各メーカの対物レンズが取り付け可能 ・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。 ・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。 ・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。 選べる4つのタイプ 【横型タイプ】 ・本体の厚みを抑えた構造です。 ・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。 【縦型タイプ】 ・剛性が高く応答性を重視したタイプです。 ・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。 【箱型タイプ】 ・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。 ・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。 【鏡筒用】 ・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
