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【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性が高い位置決めステージ！
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を小さくできます。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-514との組み合わせ
【真空対応】リニアエンコーダ内蔵で10nm分解能のZ軸用位置決めステージ
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。 10nm分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を用意。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 テーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。
【真空対応】最小分解能0.00001°で±4°動作できるエンコーダ内蔵の微小回転ステージ
光学式リニアエンコーダを搭載した高分解能微小回転ステージです。 0.00001°分解能でストロークは±4° アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 回転方向の調整用に適しています。
HG-VCR方式に主材質にアルミ合金を採用し剛性と軽量化を両立した手動ステージ
独自開発の案内方式「HG-VCR方式」に主材質アルミ合金を採用することで剛性だけでなく軽量化も両立した精密位置決めステージです。 カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用できます。
超薄型・高耐荷重・低価格！マグネットの吸着力を利用した新しい製品。
超薄型VBステージはRoHS適合品です。従来の製品から発想を大きく変え、スマートフォン並の薄さでありながら、高耐荷重・低価格を実現。六角レンチなしでも使用可能な手動ハンドルも特別仕様で準備予定。本製品にはマグネットを使用しております。加工はフライス仕上げです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○OLYMPUS製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能！
オープン制御でありながら、他社リニアスケール付電動ステージと同等の位置再現性を実現。 速度・送りモード切替えの操作性をさらに向上したジョイスティックに加え、微細な移動を可能にするボタン式キーパッドも付属。 【特徴】 ○ステージ移動速度や単位表示を任意に変更可能 ○K規格ホルダ標準対応（各社インキュベータおよびサーモプレート対応） →「LCI製ChamlideLC、TCシリーズ」、 「東海ヒット製Stage Top Incubator、Thermo Plateシリーズ」等 ○LEICA製倒立顕微鏡に搭載可能 ○イメージングソフトに対応 →「MDJ製Metaシリーズソフトウェア（MetaMorph等）対応」、 「三谷商事製バイオイメージングソフトウェア LuminaVision対応」 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
なんと指サイズ！！マイクロスリム精密自動ステージ
下記紹介でご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。
天然石を使用したステージです。お客様からのご要望にて製作いたします。
平面度や各種振動が気になるなどの各種製造装置や検査装置に使いたかったXYステージ。 精密石材を使用した製品を製作することが可能となりました。 今までの精度では満足できなくなった方々や、精密石材を使うことが始めての方々でも親切に対応させていただきます。
使用最大荷重は500N！サンプルや下部治具の位置合わせの作業性を向上！
『XST-500N』は、最大荷重500Nまで対応のX軸スライドステージです。 サンプルや下部治具の水平方向（X軸）移動を容易にし、測定の位置合わせの 作業性を向上させます。 センター合わせができないようなサンプルも左右にずらした位置で 固定できます。 【特長】 ■計測スタンド側に取り付け、下部治具の水平方向（X 軸）移動を 容易にする ■サンプルや下部治具の位置合わせの作業性を向上 ■左右にずらした位置でサンプルや下部治具を固定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
5°と90°で切り換えて使用！はんだ接合強度試験の基板固定用ステージのご紹介
『SJS-100N-L/S』は、最大荷重100Nまで対応のはんだ接合強度試験用 ステージです。 QFPリードやチップ部品などのはんだ接合強度測定に好適。 X方向・Y方向にサンプル位置の微調整が可能です。 アタッチメントの向きを調整し、45度と90度のはんだ接合強度試験が できます。 【特長】 ■はんだ接合強度試験の基板固定用ステージ ■基板取り付け角度を45°と90°で切り換えて使用可能 ■ピッチの小さなリード、微小なチップ部品でもXYテーブルで 微妙な位置の調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現
『SA…DE』は、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、 回転案内部にクロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。 ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより 高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に 構築することができます。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
IKOクロスローラベアリングを採用！一から回転ステージの設計をする手間を削減
『SK…W』は、回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、 テーブル上面の振れ量5μm以下を実現した製品です。 クロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現。 テーブルには、装置のテーブルや検査対象物などを直接 取り付けることが可能です。 【特長】 ■高精度 ■低断面・高剛性 ■設計工数削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
短納期・高速・高精度！ボールねじでは達成できない加速度と連続速度を実現
『SSA単軸リニアモーターステージ』は、 高速・高精度・短納期で優れたコストパフォーマンスを実現する、 単軸リニアモーターステージです。 モジュール設計により短納期に対応しており、使用が簡単なことが特長です。 さらに、ボールねじでは達成できない加速度と連続速度を実現しました。 【特長】 ■短納期対応 ■優れたコストパフォーマンス ■ベストセラーのドライバーと組合せが可能 ■長いストローク対応可能 ■複数可動士対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、2軸リニアモーター位置決めステージ
【SSA XYシリーズ リニアモーターステージ】は、 高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、 2軸リニアモーター位置決めステージです。 E1・E2ドライバーとの併用で、優れた速度リップル性能を実現。 ・最大速度 1500mm/s ・高分解能 0.1μm ・優れた再現性 ±0.5μm 【特長】 ■短納期 ■簡単な取付け ■優れたコストパフォーマンス ■モジュール化した設計により、組立て時間の短縮を実現 ■マルチフィールドバス通信インターフェース ■パルス列/電圧入力インターフェース ■3.2 kHzの速度応答 ■高精度位置制御 ■高精度位置トリガー出力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せ下さい。
