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特許取得のロック機構で止めた位置から微動しないステージ。ロングストロークの位置決めが可能。
バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、 ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。 位置調整後にステージをストップする特許取得のセルフロック機構を搭載。 手動ストッパーやクランプ操作による微動・位置ずれの心配がありません。 高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、 位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍します。 【特長】 ■ステージの移動はお手持ちの六角レンチまたは六角ドライバーを使用 ■スリムな形状 ■水平方向以外の設置も可能 ■1軸と2軸タイプをラインアップ ■アリ溝式ステージの新商品も続々登場！ ※シリーズラインアップは下記＜詳細情報＞をご覧ください。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
株式会社トキナーは光学技術を通じ、社会に貢献します。
周辺機器：画像周辺機器・フレーム・スタンド・ステージです。
X軸を標準設定,θ軸のトルクUPを実現！SAシリーズの200サイズをアップデート
『SA200DE』は、直線位置決め用のXテーブルである、SA200DE/Xを 標準設定として新規追加したアライメントステージです。 回転位置決め用であるSA200DE/Sと組み合わせることによって、XYθ軸の 3方向に可動する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築可能。 ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組合せが自由に ■薄形、コンパクト ■省電力、高タクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる！
『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを 簡単に構築することが可能。 また、コアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを 採用し、極めて低い断面高さを実現しています。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ
※2024.12.11～13 SEMICON Japan 3Hall #3121ブースで出展・当製品を出展します！ シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ ♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します
精密鋼球を専用レールに組合せた低摩擦で高精度な有限タイプの直動システム！
ボールガイド VB形は、精密鋼球を短いピッチ間隔で保持したボールケージB形を、専用レールV形に設けられた90°V溝転動面に組合せて使用します。低摩擦で高精度な有限タイプの直動システムです。 詳しくはお問い合わせください。
隙間ゼロの球面軸受『SRJ』、減速比に有利なクサビ機構ステージの採用により高精度な位置決めを実現
角度調整機構付き Ｚ軸ステージは、定盤やアライメントステージなどの水平レベル調整を行うステージです。 ［特 長］ ■小型・高剛性 クサビ形機構により小型ながら高剛性 ■多機能 ３点間の中心間距離の変化を吸収できる独自のフレキシブルなジョイント機構を搭載 ■高精度 高さの微小調整や水平レベルの調整、傾斜機構を利用した焦点深度の浅い顕微鏡装置の光学台や傾斜制御治具としても利用可能 ※ 弊社製球面軸受（SRJ）とリニアガイドの組合せにより、荷重に合わせた設計が可能。 ●詳しくは弊社までお問い合わせ下さい。
電動アクチュエータを平面上に配置した超薄型ステージ
スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。
電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ ～ ダブルスライド構造の採用で高剛性 ～ ※CAD図サンプル有
超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。 スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 【特長】 ○超薄型構造・低重心 ⇒３軸のアクチュエータを同一平面上に配置することで高さを抑制 ○高精度な位置決め ⇒ 非積層方式の為、積み重ねによる組付け誤差無 ○高剛性 ⇒ ダブルスライド構造により荷重を全体で受けおり、スラスト方向に 対し剛性が高い構造です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
超高温基板加熱ステージに、基板昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全てが1台で可能! 'All-In-One'コンポーネント
半導体、電子基板、真空薄膜プロセス装置・研究開発用【超高温基板加熱機構】 対応基板サイズ：Φ2〜6inch 真空（UHV対応可能）・不活性ガス・O2・各種プロセス反応性ガス雰囲気等でご仕様いただけます。（詳細別途協議）
作業台上で溶剤、粉塵、ガス、ニオイ、ヒュームなどが発生する作業の局所換気に！
ステージ上の吸込速度が一様で発生する有害物質をすばやく吸引し、また吸引風量にムダがなく、ステージ上全面が有効に働きます。
作業効率アップ！ 自由に移動・回転する修正作業ステージ
基板実装された不良部品の修正時に活用できる治具のご紹介です。 ーーー 課題 －－－ ・両面実装基板の場合、裏面に部品があり安定して設置することが困難 ・部品の向きによって修正しやすい方向があり移動や向きを変える手間 ・微細部品の修正を拡大鏡で行う場合、高さズレがありピント調整が困難 ーーー 解消 ーーー 基板修正作業ステージが生まれました。 熟練の作業者はこの作業ステージを軽快にあやつり、 作業効率を益々アップしています。 ※詳しくは、関連リンクからお気軽にお問い合わせ下さい。
等分布耐荷重約1500kgのステイダンパー式移動ステージ 1.2×2.4m・コクヨファニチャー製 GF-7012 移動ステージ
等分布耐荷重約1500kgのステイダンパー式移動ステージ GF-7012（台）移動ステージ＜1.2×2.4m・コクヨファニチャー製＞ ・移動ステージ使用時高さ300ミリ ・移動時H1,415×W555ミリ ・折畳式、ステイダンパー式（アジャスター、キャスターベダル操作） ・表面材／寄せ木突板、ポリウレタン塗装クリア仕上げ ・床板24ミリ ・脚／角鋼管、粉体塗装仕上げ ・耐荷重／14,700N（約1,500kgf／等分布荷重時）
微量粉体等の温度湿度変化時の顕微画像観察とRaman、 FTIR等を接続し分光スペクトル変化を測定することができます。
製剤、食品、化学、工業など広い分野で顕微鏡による観察測定は必要不可欠なものです。 顕微鏡ステージに置かれた微量サンプルは温度、湿度など周囲の環境の影響を大きく受けるにもかかわらず相対湿度を一定の条件に制御して観察することはできませんでした。 湿度コントロール顕微鏡ステージはこの問題を解決した新しい顕微鏡ステージです。 微小な顕微鏡サンプルステージ内の湿度環境を設定された条件で再現しサンプル性状変化の連続観察測定を実現しました。 また、FT-IR, Raman分光測定装置などとの接続によって分光測定の新しい分野を開拓します。 温度湿度コントロールRHジェネレーターは窒素ガスと飽和水蒸気の混合により正確な温度湿度コントロールを行います。
