精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに！！サイズなどカスタマイズ可能。温度設定15-45℃まで。
サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ（±1℃、±0.5℃）◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ（平坦度）◎温度設定範囲15-40℃。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
☆カスタマイズ可能！！ ・ステージサイズ：100×100〜300×300（mm） ・ステージ表面処理：アルマイト、Niめっき、テフロン処理 ・真空チャックパターン 2"〜8" ☆取り付けインターフェース、メカニカル形状などもカスタマイズ可能です！ ご相談ください！
価格情報
-
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
精密な温度制御、温度のバラツキが許されない半導体やナノテクプロセスに。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
株式会社MSAファクトリーは、工業用ホットプレート・ホットプレス・真空加熱機器・恒温槽・精密ステージのメーカーです。研究開発から生産現場まで、加熱・温度制御・位置決めの「標準品では合わない」にセミカスタム・フルカスタムでお応えします。ホットプレートは150℃〜1000℃・850mm角の大型まで、真空チャンバー・真空脱泡装置、液体窒素自動供給装置、グローブボックス、XY・回転・傾斜ステージまで自社設計。1台からの特注製作、導入前のレンタル・デモ機にも対応します。
