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材料研究、開発、評価、検査工程などに最適！BESTなステージを製作いたします
「SXY-200H」はリニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージです。廉価にて、ステージの構成が可能です。 ※高精度タイプとしては、RXYシリーズを参照願います。 レイアウトに合わせたステージを製作いたします。X軸、Y軸 ストロークカスタム対応で、貴社の機器システムへの組み込みも、装置メーカ様OEM対応いたします。 固定用足のアングルや、治具、機器類取り付け用孔もカスタム対応いたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
材料の研究開発、評価に最適な顕微鏡用ヒート・クールステージです。
顕微鏡用ヒート・クールステージ「PN-121-C型」は、材料の研究開発、評価に最適です。 従来、高価で、導入が難しかった工程にも低額な投資で、顕微鏡高温観察が可能となりました。 専用ソフトウェア（PCS100）との組合せにより、複雑な温度プロファイルが簡便に管理できます。 【特徴】 ○温度範囲 35-150℃ 対応 ○ガラスチャンバー窒素ガス封入式ホットプレート ○セラミックヒータ/ペルチェ素子の搭載により、 温度サイクルをプレート上で実施可能 ○温度サイクルレートは、１℃/sec（温度域により若干ことなります） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能です。
カスタムホット・クールプローバステージ「PN-121-C型」は、ウエハ、ガラス基板、フィルムなどMSAのホットチャック（PHシリーズ）との組合せにより、高温(+400℃）~低温(-40℃）までの温度試験・評価が可能です。 カスタム対応品ですので、プローブカード、マニュピレータなどとの組合せができ、OEMにも対応いたします。 BESTな評価システムを製作いたします。 【特徴】 ○カスタムプローバステージ ○デバイス、オンウエハ 評価システムの構築が可能 ○装置メーカ様OEM対応品 ○マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能 ○PH201-400は、最高温度400℃、6インチウエハ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
圧力を可変させながらのセンサー・電子素子温度特性評価に最適です。
耐圧チャンバー ペルチェステージ 「PG-0810P」は、材料加熱プロセス、評価・開発など圧力を可変させながらのセンサー・電子素子温度特性評価に最適です。 【仕様カスタマイズ】 ○温度制御範囲 -10～80℃ ○ホットプレートサイズ 65×65mm ○温度精度 ±4% ○圧力範囲 -100~+100KPa ○専用ソフトウェア PCS100 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品
「SXY150」は、駆動部にリニアブッシュ、台形ねじを使用いたしました簡易駆動XYステージです。 天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品です。 トッププレート形状、ロック機能などカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 100mm(±50mm) ○ハンドル駆動ピッチ 2mm/1回転 ○プレートサイズ □150 ○ステージ高さ 73mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
レイアウトに合わせたステージを製作いたします。
「SXY300」は、リニアブッシュ、台形ボールねじを採用した精密手動XYステージで、廉価にて、ステージの構成が可能です。 材料研究、開発、評価、検査工程など貴社の機器システムへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 200mm ○プレートサイズ □300mm ○耐荷重 10kgf 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです
「WXY100」は、カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです。 検査、試験装置へのワーク固定用ステージとしてカスタマイズ可能なステージです。 ワーク形状、サイズ、調整軸数など様々なカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○調整ストローク 50～100mm ○ワークサイズ 100～200ｍｍ ○調整軸数 フルカスタム対応 ○対象装置 フルカスタム対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです
「WXY105」は、カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです。 検査、試験装置へのワーク固定用ステージとしてカスタマイズ可能なステージです。 ワーク形状、サイズ、調整軸数など様々なカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○調整ストローク 50～100mm ○ワークサイズ 100～200ｍｍ ○調整軸数 フルカスタム対応 ○対象装置 フルカスタム対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
時間短縮・効率UP！不具合品の混入を未然に防ぐ回転ステージ
『スムース・ピー・ステージ』は、驚異の精度0.002mm以下の 平行度測定用回転ステージです。 インジケータ、又はダイヤルケージだけあれば測定OK。 現場で測定できるので手間いらずです。 また、加工品にキズがつかないことも特長です。 【特長】 ■驚異の精度0.002mm以下 ■インジケータ、又はダイヤルケージだけあれば測定OK ■載せてまわすだけ ■合皮判別などが即座に可能 ■現場での測定がわずか10秒程度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
◆高アイソレーション性能 ◆低挿入損失◆1270-1610nm以外の波長カスタム可能◆短納期・小ロットのご提案◆コンパクトサイズ
高アイソレーション性能 (シングル：>35dB, デュアル：>50dB) 低挿入損失（シングル：<0.3dB,デュアル：<0.6dB) シングル・デュアルステージ SMT 光アイソレータをご提案します。 標準ラインナップ：1270～1610nmとなっておりますが、その他の波長にもカスタム可能です。 製品は小ロットからご提案可能です。 ［中心波長 (nm)］ ［アイソレーション(dB)］ ［IL(挿入損失) (dB)］ ［クリアアパーチャ］ ●シングルステージ SMT フリースペース光アイソレータ 1270-1610 >35 <0.3 φ0.4-1.0 ●デュアルステージ SMT フリースペース光アイソレータ 1270-1610 >50 <0.6 φ0.4-1.0
超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）
超ロングストローク・ピエゾステージのMT-53-PMは、ケーブルの引き出し方向変更可能です。複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可。真空対応可。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可。クリーンルーム納品仕様可。また、MT84は、高真空対応、クリーンルーム仕様納品ができ非磁性オプションが可能です。さらにMT105は、アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立ができ、取付金具でZ方向も組立可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
中心穴径は最大8ミリまで可で、機械的及び電気的変更可です。
回転ステージのDT65は、中心穴径は最大8ミリまで可能です。分解能の変更可。Z軸組立て対応可。機械的及び電気的変更や高真空対応も可能です。クリーンルーム仕様納品もできます。また、DT105は、アダプターを使用せずにMT105で組立てができ、取付金具でZ軸組立て対応可能です。機械的及び電気的変更や真空・非磁性オプションも可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空対応可で、クリーンルーム仕様納品可の製品になります。
リフティングステージは、真空対応可能です。クリーンルーム仕様納品もできます。ストロークは16mm、位置きめ精度は2μm、垂直力/置換え比は1：3です。また、直進性/平面度は±2μm、最大送り速度は20mm/sです。最大加速度は200mm/sの2乗、最大負荷はＺ：30Ｎ、重量は4.5kgになります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ
『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オミクロン社製サンプルホルダーに対応！コンパクトな傾斜付きステージ
『KSKS-1』は、オミクロン社製サンプルホルダーを加熱するステージです。 取り付けフランジがICF70でコンパクト。 角度付きポートからでもステージが水平となる様な傾斜付きステージのため、 全方位から導入が可能なほか、駆動機構を備えており、任意の位置へ移動調節可能です。 加熱温度450℃のヒーターをステージ内部に設置しており、加熱時の赤熱発光が 漏れる事はありません。 また、真空ベーキング（≦200℃）対応可能な構成となっており、超高真空下での使用が可能です。 【特長】 ■オミクロン社製サンプルホルダーに対応 ■斜めポートより導入可能な、傾斜ステージ ■搬送/退避位置へ移動可能な、駆動機構を装備 ■ICF70より導入可能な、コンパクトな構成 ■加熱時の赤熱発光が漏れる事がない ■超高真空下での使用が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ディスプレイ搬送時の高さ合わせに使用！ステージ高さ120mmに押さえた薄型タイプ
当社が製作した「高さ合わせ用自動大型Z軸ステージ」をご紹介いたします。 過半重量100kg、テーブルサイズ□400mm、ステージ高さ120mmに押さえた 薄型タイプ。ディスプレイ搬送時の高さ合わせに使用される水平面移動型 自動Z軸ユニットとなっております。 また、既成アクチュエータを用いずフレームと一体化させています。 【特長】 ■過半重量100kg、テーブルサイズ□400mm、 ステージ高さ120mmに押さえた薄型タイプ ■ディスプレイ搬送時の高さ合わせに使用される、 水平面移動型自動Z軸ユニット ■既成アクチュエータを用いずフレームと一体化させている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
性能劣化のない状態で長期間の使用が可能。高負荷ピエゾスタックアクチュエータ
PICA(TM) Thruアクチュエータは、積層型ピエゾリニアアクチュエータです。高い変位を特長としています。豊富な設計バリエーションも用意しておりますので、ぜひカタログから用途・特注対応についてご覧ください。 【特徴】 ・高い信頼性 ・多様な形状を用意 ・サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ・真空および非磁性対応バージョンを用意
平坦度5nm・0.3nm分解能で、表面形状解析や半導体位置決めの測定誤差を低減
P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
1kHz級共振と0.1nm分解能により、共焦点顕微鏡の高速Zスキャンを安定化
PIHera P-620.Z／P-621.Z／P-622.Zは、垂直ストローク50・100・250 µmを0.1 nm分解能で駆動するZ軸ピエゾステージです。 静電容量センサが移動プラットフォームを直接計測し、リニア誤差を0.02 %に抑制。 ゼロバックラッシのフレクシャガイドは潤滑不要・発塵レスで、1 kHz級共振周波数とサブミリ秒応答を実現します。 アクチュエータはオールセラミック絶縁PICMA(R)で1000億サイクルの長寿命を実証済み。 干渉計、共焦点顕微鏡、半導体検査などサブナノ安定性と高速性を同時に求める装置のZ制御に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
MEMS・光学部品の位置と角度を一括補正し、検査・校正工程の再現性を向上
ピーアイ・ジャパン株式会社では、6軸ステージを多数取り扱っています。 高速・高精度の小型ヘキサポッドの「H-811.I2」をはじめ、 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド「H-840」、 高精度ファイバーアライメントシステム「F-712」などをラインアップ。 研究および工業用途、マイクロ製造、医療技術、工具制御に応用されています。 【特長】 〈小型ヘキサポッド「H-811.I2」〉 ■トラベルレンジ：±17mm/±21° ■負荷容量：5kg ■再現性：±0.06μm ■最大速度：20mm/s ■きわめて長寿命 ■真空対応バージョンあり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適なエアベアリングステージ
『PIglide 直動エアベアリングシリーズ』は、磁気的にプリロードされた空気ベアリング および内蔵光学リニアエンコーダーによるリニアサーボモーター駆動です。 これらの非接触部品を組み合わせることにより、最高のパフォーマンス、品質、 製品寿命を持つ無摩擦モーションプラットフォームが実現しました。 エアベアリングステージシリーズには、「XY軸小型エアベアリングステージ」、 「XY軸大型エアベアリングステージ」、「エアベアリングロータリーステージ」などもございます。 【特長】 ■非接触完全プリロード空気ベアリング ■スキャニングまたは高分解能ポジショニングに最適 ■クリーンルームに対応 ■カスタマイズ可能 ■内蔵光学リニアエンコーダー 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ゼロプレイボールネジと高剛性構造により、検査・光学工程の位置ズレを抑制
『L-310』は、ボールネジとクロスローラーガイドにより、 高いガイド精度と剛性を実現する製品です。 高い安定性を可能にする応力緩和アルミニウムベースを使用。 また、真空対応バージョン可能非接触リミットスイッチと基準点スイッチを備え、 基準点スイッチには、トラベルレンジの中央に方位センシングが搭載されています。 【特長】 ■高いガイド精度と剛性を実現 ■応力緩和アルミニウムベース使用 ■スムーズな動作と低摩擦で長寿命を実現 ■インクリメンタルエンコーダーによる高精度の位置測定 ■小インクリメンタルモーションと低速モーション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学検査・顕微鏡観察向け。開口構造により透過光学系でも高精度位置決めを実現
PI Magリニアモータ駆動のV-738は、光学式インクリメンタルエンコーダによりシステム分解能1 nm。XY方向それぞれ102 mmのストロークで、最大速度500 mm/s。コアレスのため速度リップルが小さく、低速域でも滑らかな動作を実現しています。 150 mm四方の開口により、レーザ光学ヘッドや検査カメラを内部に配置でき、装置の省スペース化に貢献 非接触式の光学式リニアエンコーダにより、プラットフォーム上で位置を直接かつ高精度に測定します。非線形性、機械的バックラッシュ、弾性変形の影響を受けません。 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
最大トラベルレンジは813mm！循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可
『L/V-412,L/V-417』は、エンコーダの高解像度により、 性能ごとのトラッキングが向上するPIMag 高耐荷重リニアステージです。 トラッキングエラーが少なくなり、整定時間が短縮。 最大限の柔軟性のために、インクリメンタルエンコーダと アブソリュートエンコーダを選択することができます。 【特長】 ■最大トラベルレンジ：813mm ■定格フォース：87N ■インクリメンタル/アブソリュートエンコーダ選択可能 ■循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可 ■カバーストラップ採用により、パーティクルを防塵可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
偏芯100nmと平坦度50nmにより、XCTや超精密計測の回転誤差を低減
エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
摩擦レス駆動により、高速エリアスキャン時の測定品質を維持
PIglide IS A-311は、ステージ駆動面を空気で浮上させるエアベアリング式XYプラナースキャナーです。 積み重ね型より薄いフラット構造で装置設計をコンパクト化しながら、300 mm×400 mmの広い走査範囲と1 nmセンサー分解能で動作。 摩擦ゼロのリニアモータ駆動は最大2 m/sの高速応答、147 N可搬能力によりレーザー加工や半導体ウェハ検査のタクト短縮に貢献します。 発塵レス構造でクリーンルーム対応、豊富なコントローラ／APIがXY同期やエリアスキャンの統合を容易にします。 詳細は PDF をダウンロード、またはお問い合わせください。
ウェーハ・X線検査向け。高速搬送時も0.1µm動作で測定位置精度を維持
・幅132 mm、高さ94mmのコンパクト筐体 ・動作量：400mm、800mmの2タイプ ・コアレスリニアモータ駆動で、最大速度：5000mm/s ・インクリメンタルとアブソリュートエンコーダータイプ：最小動作量は0.1µm ・耐荷重は1000Nあり、”V-857.TTｘ”モーションプラットフォームを用いて固定 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
24 bit DAC×20 kHzサンプリングレート、アナログ制御も対応1軸ピエゾコントローラ
E-709.1C1L型コントローラは、静電容量式センサーを備えたピエゾベースの1chナノポジショニングシステムです。 ・出力電圧 -30～ 130 V ・ダイナミックアプリケーション向けに最適化されたアンプとセンサ ・デジタルリニアリゼーション ・インターフェース：USB・SPI・RS-232、0～＋10 Vアナログ入力制御 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
AOI・レーザー検査向け。20ms以下の高速応答でビーム位置ズレをリアルタイム補正
※ビームの偏向角度 最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ： ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量： < 1 μrad 再現性： < 2 μrad リファレンス精度： ≤ 50 μrad リニアリティ： < 0.2 % ステップ応答： < 20 ms（荷重等による） ミラー最大直径：1インチ 最大荷重：20g OEM供給用につき、複数台～数百台などカスタマイズもご相談ください。
