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光学測定・半導体検査向け。高剛性Z軸制御で高倍率観察時の焦点ズレを低減
V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。
真直度±50nmと500mm/s高速搬送により、X線CTや半導体検査の位置誤差を低減
PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。
真直度±0.05µmと390mm/s高速動作により、半導体・光学検査工程の位置誤差を低減
A-143 PIglideは、25 mmの移動範囲を持つ小型リニアエアベアリングステージで、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現。 最小インクリメント0.025 µm、位置精度±0.2 µm、真直度±0.05 µmとナノメートルレベルの精度を誇り、計測・検査・光学機器のステージングに最適。 リニアモーターと32ビットBiSS-Cエンコーダを内蔵し、最大速度390 mm/s、加速度10 m/s²の高性能モーションが可能です。
最大33mmの移動量！超小型で高精度ピエゾ駆動リニアステージ
「B-421 BIX」は、筐体幅25mmで厚さ11mmと小型で、最大33mmの移動量を実現。 ピエゾ慣性ドライブにより、比較的高い保持力、高い分解能と位置再現性を発揮します。多軸に組合せも容易に可能で、装置設計におけるスペース制限を解決しつつ、ナノメートルスケールの動作を可能にします。
200nm以下の偏芯性能により、ウェーハ検査や光学校正工程の測定精度を安定化
PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。
5nm分解能と200mm/s高速応答により、半導体・光学工程の微細補正を安定化
A-142は、10mmの移動範囲で最大200mm/sの速度と10m/s²の加速度を実現する、ボイスコイルモータ駆動の小型リニアステージです。 5nmのセンサ分解能、±0.2µmの位置精度、最小50nmのインクリメンタル動作が可能。 摩耗ゼロのエアベアリング構造により、潤滑剤不要・クリーンルーム対応で、半導体検査や光学調整、計測アプリケーションに最適です。
最大4軸対応、データ記録・波形生成機能も標準搭載
E-727は最大4チャンネル対応のデジタル制御ユニットで、標準仕様に加え高出力電流モデル（最大1500mA）もラインナップ。 アナログ入力／出力端子に加え、デジタルI/O、センサーモニター出力、波形ジェネレーター機能などを搭載し、先進的なピエゾモーションアプリケーションに完全対応。 センサーバンド幅10kHz、サンプリングレート100kHzでの信号処理が可能で、動的計測や同期制御にも優れた性能を発揮します。
保持力800Nと5nm分解能により、半導体検査やナノリソグラフィ工程の位置ズレを抑制
N-216は、最大800Nの保持力と0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の分解能を備えたピエゾステッピングアクチュエータです。 独自のPiezoWalk(R)技術により、フルステップモードとナノステッピングモードを切り替えながら、高速かつナノ精度の位置決めが可能。 非磁性・クリーン・真空環境に対応し、半導体製造、ウェハ検査、ナノリソグラフィなど、微細制御を要求されるアプリケーションに最適です。
250kg対応と±0.2µm再現性により、大型光学系や試験設備の高精度6軸補正を実現
H-850は最大250kgの耐荷重を誇る高剛性ヘキサポッドで、±50mm（XY）/±25mm（Z）、および±30°の広範囲な動作が可能です。 再現性はZ軸±0.2µm、回転軸±7.5µradと高精度。ブラシレスDCギアモータによる滑らかな動作と、アブソリュートエンコーダの即時位置取得により、高速かつ安定した制御が可能です。 構造はパラレルキネマティック方式で、ロボティクス、重量物アライメント、試験設備などに最適です。
±0.05µm再現性と50nm微動制御により、光学組立工程の位置ズレと歩留まり低下を抑制
24時間・365日稼働を前提に設計された、堅牢かつ高精度な産業用途向けのヘキサポッド。 コンパクトな設計でありながら高い耐久性を備え、厳しい環境下でも信頼性の高い位置決めを実現します。
研究室・科学機器向け位置決めソリューションをサポートする製品ラインナップをご紹介
研究では、限られた条件下でも高い再現性と信頼性が求められます。 PIは50年以上にわたり、ナノレベルの高精度と長期安定性を両立した位置決めソリューションを提供。既存の研究設備にもスムーズに統合でき、LabVIEWやMATLAB、Pythonなど主要ソフトウェアとの互換性も備えています。 顕微鏡検査、フォトニクス、量子研究など、厳しい環境下でも精密で安定した動作を実現。短期プロジェクトや緊急対応にも柔軟に対応可能です。 精密研究を支えるPIの最新技術を、ぜひ詳細ページでご覧ください。
±250µm＋±26.2mradの6自由度補正で、ファイバーアライメント時の光軸ズレを低減
NanoCube P-616.65S は、X・Y・Z の直線移動に加え、θX・θY・θZ の回転まで含む 6軸ナノポジショニングを実現する多自由度ピエゾステージです。 パラレルキネマティクスとフレクシャガイド構造により、従来ステージでは達成できない 高剛性・低クロストーク・高ダイナミクス動作を提供します。 ±250 µm の移動レンジと ±26.2 mrad の回転レンジを持ち、ナノメートル単位の微細位置決めが可能。フォトニクス、ファイバーアライメントなど、サブミクロン精度が求められる環境で威力を発揮します。
±0.15µm再現性と高安定構造により、光学アライメントやレーザー加工工程に対応
L-511高精度リニアステージは、幅広い業界で使用いただけるよう設計されています。 ・±0.15 µmまでのサブミクロンの再現性を実現できるため、レーザー切断や光学アライメントなどの高い精度が求められるタスクに最適 ・循環ボールベアリングガイドと最大155mmのストロークで、安定性と強度を確保 ・応力緩和アルミニウムベースにより、厳しい環境でも機械的な安定性が確保され、ドリフトが最小限に抑えられる ・モーターとエンコーダの構成は複数用意されており、自動化、研究開発、バイオテクノロジー分野における幅広い用途に対応
100／200µmレンジと高速セトリングで、超解像・3D観察のピントズレを低減
P-736は、顕微鏡用途に最適化された高精度ピエゾZステージです。100µmまたは200µmのトラベルレンジを備え、高速ステップ動作と優れたセットリング性能により、顕微鏡のフォーカス制御や高速Zスキャンに対応します。 薄型設計（高さ約20mm）により顕微鏡システムへの組み込みが容易です。非接触の静電容量センサーによる位置フィードバックを採用し、ナノメートルレベルの分解能と高い繰り返し精度を実現します。 駆動部にはPI独自のPICMA(R)ピエゾアクチュエータを採用。これにより、高い信頼性と長寿命を実現するとともに、高速応答によるダイナミックなZ軸制御が可能です。
ヘキサポッドからステージ、ピエゾまで、真空環境下に対応した製品
真空環境で、こんなお悩みはありませんか？ ・真空環境で位置決め精度が安定しない ・摩耗・ガス放出の影響が気になる ・限られた設置スペースで構成したい などの課題から、真空環境では、通常仕様の製品では性能を十分に発揮できません。 ピーアイの真空対応製品は、高精度・低アウトガス・UHV対応を実現し、半導体・分析装置・研究用途で多数の実績があります。 真空環境対応製品を一覧でWebサイトにてご紹介しています。詳細は、以下の掲載カタログをダウンロードのうえご確認ください。 また、公式サイトの製品ページでは、本カタログに掲載されていない製品もご覧いただけます。ぜひあわせてご確認ください。
レーザー・光学検査向け。微小角度補正により光軸ズレを抑え測定精度を安定化
V-731は、高精度な位置決めと優れた動作安定性を実現するXYリニアモーターステージです。アイアンレス3相リニアモーターを採用し、摩擦やバックラッシュの影響を受けないダイレクトドライブにより、滑らかで高応答な動作を可能にします。 低速域でも安定した走行性能を維持しつつ、高速時でも振動を抑制します。さらに、クロスローラーガイドにより高剛性と高い案内精度を確保。 非接触式のインクリメンタルリニアエンコーダを搭載し、非線形性、機械的バックラッシュ、弾性変形などの影響を受けません。精密な位置決めが求められる多様なアプリケーションに最適な高性能ステージです。
マイクロコンポーネントの配置や光学部品のアライメントに
L-886 は、高精度かつコスト効率に優れたゴニオメーターステージです。 ステッピングモーターとリニア計測システムを組み合わせることで、高い位置決め精度を実現。 高精度なマルチチャネル・フォトニクスアライメント用途において高い柔軟性を発揮します。
オートチューニング機能を搭載！電流制御でペルチェ素子を駆動するドライバ
『TDC-1000Aシリーズ』は好評の1chデジタルペルチェコントローラドライバTDC-1100,1200の後継機です。 新機能を搭載し、新たにラインナップに加わりました。 またTDC-1000Aは温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流駆動部・電源部が一体となっており、さらにパソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○制御用センサーとしてPt100測温抵抗体または サーミスタのどちらでも使用可 ○最大駆動電流を12Aまで拡大 ○温度補正機能を搭載 ○温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流駆動部・電源部を一体化 ○温度制御の制御安定度は±0.03℃と高精度 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
AC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御！ペルチェ素子用の１chデ ジタルコントローラ
『TDC-1600シリーズ』は、温度変換部・PID制御部・バイポーラ高効率 定電流駆動部が一体となっており、AC電源を供給するだけでペルチェ素子 の温度制御が実現するコントローラドライバです。 大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現しました。 大容量ペルチェ素子用の１chデジタルコントローラ（300W/600Ｗ/900W タイプ）です。 パソコンとのインターフェイスを標準装備していますので、あらゆるシステムに対応することができます。 【特徴】 ○小型・高精度 ・マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用で高精度 ・ペルチェの駆動電源に当社独自の回路方式を採用し、小型・高効率 で高精度 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル ○高速 ・ペルチェの温度コントロール専用に開発されており制御サイクル が10 回/秒と高速 ○汎用性 ・表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高度制御を実現！ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ
『TDC-2000/4000Rシリーズ』はペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラです。 従来のTD-2000/4000誌リーズを基に、より高精度な1/100℃の制御を実現しました。 さらに、使いやすいインターフェースに加え、オーバーシュート抑制制御機能と温度勾配制御機能を搭載しました。 【特徴】 ○小型・高精度 ・1/1000℃の計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により1/100℃ の高精度温度制御を実現 ○多機能 ・煩わしいＰＩＤ定数設定を省くためのオートチューニング機能を 標準装備、また異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方使用可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
コンパクトなボディーサイズ！最大１5０W までのペルチェ素子を駆動
『TDM-5000A(R/G)シリーズ』は高性能、且つ小型化を目指した基板型の1ch デジタルペルチェコントローラです。 コンパクトなボディーサイズに温度変換部・PID 制御部・パイポーラ定電流駆動部を一体化しました。 DC 電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10A を実現しています。 最大150W までのペルチェ素子を駆動できます。 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ○小型ながら最大駆動電流10A を実現 ○制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ○制御安定度は最高±0.002℃を実現 ○数々の保護機能を搭載 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
NanoRack（ナノラック）サンプルストレッチングステージ
ストレス制御下における、材料の粘着性やクラッキングのナノ測定が可能になりました！ 高歪み、高引張距離の手動引張ステージにより、2軸の引張応力制御が可能です。
-30℃～+120℃の範囲で、気体や液滴を加熱・冷却します
クーラーヒーター（CoolerHeater）は、サンプルの加熱・冷却にペルチェ素子を使用しています。-30˚Cから +120˚Cまでの連続した温度制御が可能です。システムには 0˚C以下の作業用の冷却ポンプが付属しています。
【リアルタイムで根イブ構造の物理的変化を観察可能！】貴重な材料の引張、圧縮、曲げ、加熱、冷却に対する物性情報の観察に好適！
Deben社製『テンサイルステージ』は、従来の引張試験で行われなかった「負荷が加わっているリアルタイムの根イブ構造の物理的変化の観察」を可能にした製品です。 SEM、AFM、光学顕微鏡、XRD、XRM(μXCT)などの試料ステージに搭載し、測定試料に応力（引張、圧縮）を加え、形状の変化が測定できます。 【主な特長】 ■mNから20kNまでのロードセル ■引張・圧縮・曲げ ■加熱及び冷却 ■ソフトウェア制御 オプションでは必要に応じてステージ移動に対応させる3点及び4点のワイヤリングクランプがあります。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご覧ください。
金属製では対応できないシーンに好適なオール樹脂製のスライドユニットです。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 オール樹脂製の「スケルトンステージ(R)」は、従来の金属製アリ溝式ステージでは重かったり、アルマイト処理によるガスの発生やグリスに不純物が混入して摺動不良を引き起こす危険があるなど、金属製では対応できなかった使用用途に好適なスライドユニットです。 【特長】 ○グリスレス ○防錆性 ○非磁性 ○耐候性 ○超軽量 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ハンドル一回転の移動量も選べる、豊富なバリエーションのステージです。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「多機能送りねじ式ステージ」は、ハンドル一回転の移動量をそれぞれ2mm・5mm・10mmから使用用途に合わせて選択できる画期的な送りねじ式ステージです。 特別仕様として、両手ハンドルタイプ・ハンドル延長タイプ・二基並列タイプなどもご提供いたします。 さまざまな特長を有した多機能送りねじ式ステージは、長いストロークを規則的なピッチでなめらかに摺動し、狭い空間でも大変便利にご利用いただけます。 【特長】 ○移動距離により、4機種をラインナップ ○［選べる］ハンドル一回転の移動量 ○視覚的に見やすい中心振り分け式カラー目盛を採用 →目盛とクランプレバーの左右組み換えが自在な構造 →勝手違いタイプも簡単に自作可能 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ハンドルを同一方向に揃え操作性が向上！空中での位置決めを安定かつスムーズに
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 「支柱取付式ステージ」は、支柱締め付けブロック式、シンプルな支柱式、支柱屈折機構式など、用途に合わせた使い分けができます。 ハンドルを同一方向に揃え、操作性が向上しました。 一軸・二軸・三軸の摺動機構と支柱固定部の組み合わせにより、空中での位置決め操作のアレンジが多彩です。 X軸のストッパーはシングルクランプ付きで、Y軸・Z軸のストッパーはダブルクランプ付きです。 【特長】 ○強力固定で安定感 →締め付けハンドルによる強力固定で安定感がある →十字方向にあくφ16穴の両方に支柱の差し込みが可能 ○オプションで機能アップ →別売の専用CCDカメラアダプター（SP-A）を上段X軸に取り付けることで、 CCDカメラ・レンズを垂直方向にセットアップできる ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
ガタが一切なく、極めてなめらかでスムーズな摺動を実現したステージです。
アリ溝式ステージは現場作業から装置組み込み用まで、さまざまな位置決めに利用されるスライドユニットです。 通常のミニチュアステージはガタがあったりバネ式でギシギシ動く欠点がありますが、「フロントロックステージ」はミニチュアサイズでありながらガタが一切なく、極めてなめらかでスムーズな摺動を実現しました。 また、ハンドルの根本部分で固定ができるストッパー機能を標準装備し、操作性も抜群です。 【ラインナップ】 ○FR-X：X軸 ○FR-XY：XY軸 ○FR-Z：Z軸 ※詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。
手動でしっとりなめらかに360°回転するステージです。
回転ステージ固定側に目盛（最小読取り１°）が刻んであるので、おおまかな回転角度の確認が可能です。（ステージ面サイズφ40mmのKTS-40は最小読取り２°） また、使用用途に応じて標準装備のストッパーをご利用下さい。回転ステージ回転部をお好みの位置で固定することができます。 【特徴】 ○手動でしっとりなめらかに３６０°回転するステージ ○耐荷重は 68.6N(7kgf) ○ステージ面 ： φ60mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
３軸( Ｘ、Ｙ、Ｚ )ステージを使用したＬＥＤ発熱検査治具の改善。
サーモグラフィを使用してＬＥＤの発熱を検査しています。マグネットスタンドに装着されたサーモグラフィをワーク（ＬＥＤ基板）の真上に設定しなければなりません。 設定方法は、片手でサーモグラフィを支えて、もう片方の手でつまみを緩めて位置を決めます。 その後、つまみを少しずつゆっくり締めて完了です。 つまみをゆっくり締めるのは、設定位置がずれないようにするためです。 両手で慎重に作業しなければならないのでとても面倒で時間がかかります。 【特徴】 ○熟練の技によるアリ溝の 摺り合わせ技術で高品質・低価格を実現 ○滑らかな摺動と高耐久性 ○クランプレバーの採用により固定保持力もアップし、 レバーの位置方向セットも自在 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
