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短納期・高速・高精度！実験の効率化を加速
研究機関における実験では、精密な位置決めと高速な動作が求められます。特に、微細な調整が必要な実験や、短時間で多くのデータを取得する必要がある場合、ステージの性能が実験の成否を左右します。ボールねじ方式のステージでは、加速度や速度に限界があり、実験の効率を妨げることがあります。SSA単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な動作を実現し、実験の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・精密測定 ・自動化された実験装置 ・高速撮像 【導入の効果】 ・実験時間の短縮 ・データ取得量の増加 ・実験精度の向上
短納期・高速・高精度！電子部品実装の生産性向上に貢献
電子部品業界における実装工程では、高い精度と速度が求められます。特に、小型化が進む電子部品の実装においては、位置決め精度の高さが不良率を左右する重要な要素となります。また、実装時間の短縮は、生産性の向上に直結します。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題に対し、高速・高精度な動作と短納期対応で貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品の実装工程 ・基板への部品搭載 ・検査工程 【導入の効果】 ・実装時間の短縮 ・位置決め精度の向上 ・不良率の低減 ・生産性の向上
半導体製造における位置決めを最適化するHIWINの単軸リニアモーターステージ
半導体製造業界では、高精度な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、ウェーハの搬送や検査工程においては、ミクロン単位の正確な位置決めが求められます。位置決めの精度が低いと、製造不良や検査エラーが発生し、コスト増につながる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決めを実現し、半導体製造におけるこれらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・検査装置 ・組み立て工程 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・生産性の向上 ・コスト削減
医療機器検査の精度と効率を向上させる、HIWINの単軸リニアモーターステージ。
医療機器検査の分野では、正確な位置決めとスムーズな動作が求められます。特に、精密な画像診断装置や分析装置においては、微細な動きの制御が検査結果の信頼性を左右します。位置決めの誤差や振動は、誤った診断や分析結果につながる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決めを実現し、検査の効率化と精度の向上に貢献します。 【活用シーン】 ・医療機器 ・検査装置 ・分析装置 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・装置の信頼性向上 ・メンテナンス性の向上
加工工程の効率化に貢献する単軸リニアモーターステージ
工作機械業界では、加工精度と生産性の向上が常に求められています。特に、金属や樹脂などの材料を精密に加工する際には、位置決めの正確さが製品の品質を左右します。位置決め精度が低いと、不良品の発生や加工時間の増加につながり、コスト増に繋がる可能性があります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決めを実現し、加工工程の効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・工作機械のテーブル移動 ・精密部品の加工 ・自動化された加工ライン 【導入の効果】 ・加工時間の短縮 ・不良品の削減 ・生産性の向上
ロボットの移動を最適化するHIWIN単軸リニアモーターステージ
ロボット工学の分野では、ロボットの正確な位置決めとスムーズな移動が、作業効率と精度の向上に不可欠です。特に、狭いスペースでの精密な動作や、高速かつ高精度な位置決めが求められる場面では、高性能なリニアモーターステージが不可欠です。HIWINの単軸リニアモーターステージは、これらのニーズに応えるべく開発されました。 【活用シーン】 ・ロボットアームの移動 ・AGV（無人搬送車）の走行 ・部品搬送 【導入の効果】 ・高速・高精度な位置決めによる作業効率の向上 ・長寿命と高い信頼性によるメンテナンスコストの削減 ・多様なオプションによる幅広いニーズへの対応
ミクロン単位の位置精度で、検査・計測を確実に。
計測・検査・センシング分野では、測定精度と検査の再現性が品質の信頼性を左右します。特に、検査ヘッドやセンサを正確に位置決めする動作が必要な工程では、位置ズレや揺れが誤差を生み、検査結果のばらつきや誤判定につながる可能性があります。高い精度と安定した繰返し動作が求められる環境では、安定した直線駆動が装置性能の鍵となります。 HIWIN 単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能と滑らかな直線動作を実現し、検査・計測装置の信頼性と効率を向上させます。半導体製造や電子部品の検査など、厳しい精度要求の現場に対応し、安定した測定環境を提供します。 【活用シーン】 ・微小部品・半導体ウェーハ検査装置の位置決め ・自動寸法計測ステージの駆動部 ・センサ移動・追従ステージ ・画像・光学計測機構への組込み ・表面形状評価・幾何公差検査装置 【導入の効果】 ・ミクロン単位で安定した位置制御が可能 ・繰返し誤差を抑制し、検査ばらつきを低減 ・高速動作による測定サイクルの短縮 ・装置停止・再調整を減らし稼働率を最大化
造形精度と再現性を支える、HIWINの高精度直線ステージ
3Dプリンティング・立体造形分野では、造形精度と再現性が製品品質を大きく左右します。特に、積層ヘッドやレーザー、インクジェットノズルなどを正確に制御する工程では、位置ズレや微小な振動が積層ムラや寸法誤差の原因となります。高速化が進む近年の造形装置では、動作の安定性と繰り返し精度の両立が重要な課題です。 HIWIN 単軸リニアモーターステージは、高速・高精度な位置決め性能と滑らかな直線動作を実現し、積層造形プロセスの安定化に貢献します。微細な位置制御が求められる造形工程において、再現性の高い動作を提供し、試作から量産まで幅広い3Dプリンティング用途を支えます。 【活用シーン】 ・インクジェット方式3Dプリンタのヘッド位置決め ・光造形方式における造形ステージ駆動 ・粉末積層方式でのレーザー・スキャナ移動軸 ・多軸3Dプリンタの直線駆動ユニット 【導入の効果】 ・積層位置ズレの低減による造形精度の安定 ・造形条件の再現性向上による品質ばらつき抑制 ・高速動作時の振動抑制による積層不良の削減 ・試作・造形条件出しの効率化 ・装置全体の信頼性向上による再造形・手戻り削減
微細工程の精度を支える、半導体・センサ実装向け高精度単軸ステージ
半導体・センサ・パッケージング工程では、微細化・高集積化の進展により、位置決め精度と動作の安定性が製品品質を大きく左右します。特に、チップ実装やワイヤボンディング、検査・アライメント工程においては、わずかな位置ズレや振動が不良や歩留まり低下の原因となります。当社のナノ精度位置決めステージは、高剛性構造と安定した直線動作により、微細工程に求められる高精度な位置決めを実現します。コンパクト設計で装置への組み込み性にも優れ、繰り返し精度が求められる半導体・センサ製造工程において、安定した生産と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体チップの位置決め・アライメント工程 ・センサ実装・パッケージング工程 ・ワイヤボンディング・ダイボンディング装置 ・微小部品の搬送・供給ステージ ・半導体・電子部品の検査・調整工程 【導入の効果】 ・微細実装・検査工程における位置ズレの低減 ・繰り返し動作の安定化による歩留まり向上 ・装置調整時間の短縮による生産効率向上 ・コンパクト化による装置設計自由度の向上 ・長時間稼働でも安定した品質再現性の確保
実装精度と生産安定性を支える、高剛性・高精度リニアステージ
エレクトロニクス製造・実装工程では、部品の微細化・高密度化が進む中で、位置決め精度と動作の安定性が製品品質を大きく左右します。特に、チップマウントや実装工程においては、わずかな位置ズレや振動が、実装不良や接合不良、歩留まり低下の原因となります。また、高速化が進む生産ラインでは、精度を維持したまま安定した繰返し動作が求められます。N2ステージは、高剛性構造と高精度な直線動作により、実装工程における安定した位置決めを実現します。高い繰返し精度と滑らかな動作特性により、部品搭載や位置合わせを確実に行い、実装品質の安定化と生産効率の向上に貢献します。電子部品実装装置や組立工程において、信頼性の高い駆動ステージとして活用できます。 【活用シーン】 ・チップマウンタ・実装装置の位置決め軸 ・電子部品の組立・搭載工程 ・半導体デバイス実装・アライメント工程 ・実装前後の検査・位置補正工程 【導入の効果】 ・実装位置ズレの抑制による不良率低減 ・繰返し精度向上による品質の安定化 ・高速動作と安定性の両立による生産性向上 ・装置停止や再調整の削減による稼働率向上
検査精度を、装置の“直線性能”から引き上げる単軸リニアモーターステージ。
エレクトロニクス検査・試験工程では、製品の微細化・高密度化に伴い、これまで以上に高精度かつ安定した検査動作が求められています。特に、外観検査や電気的検査においては、検査ヘッドやプローブの位置決め精度が、そのまま検査結果の信頼性に直結します。位置ズレや繰返し誤差が発生すると、誤判定や検査漏れを招き、品質低下や再検査による工数増加につながります。HIWINの単軸リニアモーターステージは、高剛性構造と安定した直線動作により、検査・試験装置に求められる高精度な位置決めと再現性を実現します。 【活用シーン】 ・AOI（自動光学検査）装置の検査ヘッド位置決め ・電子基板・実装基板の外観検査工程 ・電気的検査・機能試験用プローブの直線駆動 ・半導体・電子部品の外観／電気特性検査 【導入の効果】 ・検査ヘッド・プローブの位置ズレを抑制し、検査精度を安定化 ・繰返し精度の高い直線動作により、誤判定・検査ばらつきを低減 ・安定した剛性により、高速検査時でも精度を維持 ・検査工程の自動化・省人化を進め、検査タクト短縮に貢献
微細工程の精度を支える、半導体向け高安定リニアステージ
半導体・センサ・パッケージング分野では、微細化・高集積化の進展により、装置に求められる位置決め精度と動作の安定性は年々厳しさを増しています。特に、ダイボンディングやワイヤーボンディング、検査・測定工程においては、わずかな位置ズレや振動が、接合不良や検査誤判定の原因となり、歩留まり低下につながります。こうした工程では、高精度で再現性の高い直線動作を安定して行える駆動機構が不可欠です。HIWINの単軸リニアモーターステージは、滑らかな直線動作と高い位置決め再現性を兼ね備え、半導体・センサ製造工程における装置性能の安定化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ダイボンディング工程でのチップ位置決め ・ワイヤーボンディング前後の高精度アライメント ・センサ素子・MEMSデバイスの位置決め・検査 ・パッケージ外観検査・寸法測定装置 【導入の効果】 ・微細工程での位置ズレ・ばらつき低減 ・繰返し精度の安定による歩留まり向上 ・高速かつ安定した動作によるタクトタイム短縮 ・装置の安定稼働による再調整・手直し工数の削減
細胞培養における高精度な位置決めを実現する2軸リニアモーターステージ
バイオテクノロジー分野、特に細胞培養においては、培養容器内の細胞や試薬を正確に位置決めすることが、実験の再現性や効率を左右する重要な要素です。細胞の観察や操作、培地の交換など、精密な位置制御が求められます。不正確な位置決めは、細胞へのダメージや実験結果のばらつきを引き起こす可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた速度制御により、細胞培養におけるこれらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・細胞観察 ・培地交換 ・マイクロ流体デバイスとの連携 ・ハイスループットスクリーニング 【導入の効果】 ・細胞へのダメージを最小限に抑え、生存率を向上 ・実験の再現性を高め、信頼性の高い結果を得る ・作業効率を向上させ、研究開発の時間を短縮
高精度な位置決めを実現し、光学アライメント作業を効率化
光学業界のアライメント作業では、レンズやミラーなどの光学部品を正確に配置することが、システムの性能を左右する重要な要素です。特に、高精度な位置決めが求められ、わずかなズレが測定結果や画像品質に大きな影響を与える可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた再現性により、光学アライメント作業の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学レンズ、ミラー、プリズムなどの位置決め ・光ファイバーのアライメント ・レーザー加工機の位置決め 【導入の効果】 ・高精度なアライメント作業の実現 ・作業時間の短縮 ・製品品質の向上
宇宙開発における試験の精度と効率を向上
宇宙開発分野における試験では、高い精度と信頼性が求められます。特に、過酷な環境下での耐久性試験や、精密な位置決めが要求される実験においては、微細なズレや振動が試験結果に大きな影響を与える可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた速度制御により、宇宙開発における試験の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・宇宙機の部品や材料の耐久性試験 ・宇宙機関連シミュレーション試験 ・精密機器の動作試験 【導入の効果】 ・試験結果の信頼性向上 ・試験時間の短縮 ・コスト削減
ロボットの精密な移動を実現する2軸リニアモーターステージ
ロボティクス業界において、ロボットの正確な位置決めとスムーズな移動は、製品の品質と生産効率を左右する重要な要素です。特に、部品の組み立てや検査工程では、ミリ単位以下の精度が求められることがあります。従来の駆動方式では、バックラッシュや振動により、正確な位置決めが難しいという課題がありました。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと滑らかな動作を実現し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ロボットの精密な位置決め ・搬送システムの高速移動 ・検査装置の正確な位置制御 【導入の効果】 ・作業時間の短縮 ・製品品質の向上 ・生産性の向上
高精度・短納期・コストパフォーマンスを実現する2軸リニアステージ
電子部品実装業界では、製品の品質と生産性の向上が常に求められています。特に、基板への部品実装においては、高い位置決め精度と高速な動作が不可欠です。実装不良は、製品の信頼性を損なうだけでなく、コスト増にもつながります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと高速動作により、実装工程における課題を解決します。 【活用シーン】 ・電子部品の基板実装 ・半導体製造装置 ・検査装置 【導入の効果】 ・実装精度の向上 ・生産性の向上 ・不良率の低減
航空機製造の精度と効率を向上させる2軸リニアモーターステージ
航空機製造業界では、部品の精密な位置決めと高品質な組み立てが求められます。特に、航空機の安全性と性能を確保するためには、ミクロン単位の精度での位置決めが不可欠です。不正確な位置決めは、部品の損傷や組み立て不良を引き起こし、最終的な製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。SSA XYシリーズ リニアモーターステージは、高精度な位置決めと優れた速度リップル性能により、航空機製造におけるこれらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・航空機部品の精密加工 ・組み立て工程での位置決め ・検査工程での高精度測定 【導入の効果】 ・製造工程の精度向上 ・作業時間の短縮 ・コストパフォーマンスの向上
高速フォーカス・高精度検出で、3D造形の品質を向上。
3Dプリンティング業界では、造形物の精度と品質が重要です。特に、積層造形においては、各層の正確な位置決めが、造形物の形状精度に大きく影響します。位置ずれは、造形不良や強度の低下につながる可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度により、3Dプリンターの造形精度を向上させます。 【活用シーン】 ・3Dプリンターの造形プラットフォーム ・レーザー加工機 ・材料供給システム 【導入の効果】 ・高精度な造形が可能 ・焦点誤差を解消 ・造形時間の短縮
高速フォーカス・高精度検出で、位置合わせの課題を解決！
光学業界では、レンズやセンサーなどの精密部品の位置合わせが、製品の性能を左右する重要な要素です。特に、高精度な位置決めが求められる場面では、わずかな誤差が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消し、高精度な位置合わせを実現することが重要です。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を備え、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・レンズやセンサーの位置合わせ ・半導体製造におけるウエハの位置決め ・検査装置における部品の位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置合わせによる製品品質の向上 ・焦点誤差の解消による歩留まりの向上 ・5軸自由度による柔軟な対応力
高速フォーカス・高精度検出で、精密検査の精度向上に貢献！
医療機器業界における精密検査では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、微細な構造を扱う検査においては、わずかなブレや振動が検査結果に大きな影響を与える可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、5軸の自由度と高いサーボ帯域幅により、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消し、正確な位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・顕微鏡検査 ・画像診断装置 ・細胞観察 ・精密測定 【導入の効果】 ・検査精度の向上 ・検査時間の短縮 ・装置の小型化 ・検査結果の信頼性向上
高速フォーカス・高精度検出で、パネル検査の品質向上に貢献！
ディスプレイ製造業界のパネル検査においては、高精度な位置決めと高速な焦点調整が求められます。特に、パネルの反りや微細な欠陥の検出においては、正確な位置決めが検査精度を左右する重要な要素となります。従来の検査装置では、位置決め精度や調整速度に課題があり、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性がありました。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、5軸の自由度と高速なサーボ帯域幅により、これらの課題を解決し、検査の効率化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・パネルの表面検査 ・異物検出 ・寸法測定 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・不良品の削減 ・検査精度の向上
10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ
FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。
レーザー光軸やレンズの調心に最適！この小ささ、薄さでナノメートルオーダーの超超精密位置決めが可能です！XYZΘの組合せも自在！
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
ピエゾコントローラ クローズドループ制御
静電容量センサー(C)、ひずみゲージセンサー(S)に対応 チャンネル数 1ｃｈ・3ｃｈ 出力電圧-50～150V ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ピエゾステージの選定に！最高1nmの分解能と優れた応答性！応用例も掲載中
最高1nmの分解能をもった超高分解能・高速応答のピエゾステージです。 内蔵変位センサによるフィードバック制御で信頼性の高い位置決めを行うことが出来ます。 【使用例】 ■半導体･液晶検査装置、干渉計機器、分析装置、顕微鏡レンズフォーカス、超精密加工、レーザー関連機器、ナノメータポジショニングなど・・・ 【ここが選ばれる理由】 ■1品からのカスタム対応 ■真空・非磁性対応可 ■組み合わせユニット対応 豊富なラインナップ、応用例を多数掲載中！ 詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
最大30kgの耐荷重と±0.1µm再現性を両立した高精度6軸制御
H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
研究・実験分野では、精密な位置決めと回転制御が、実験の精度と再現性を左右する重要な要素です。従来の回転ステージでは、精度や速度が不足し、実験結果に影響を与える可能性がありました。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。 【活用シーン】 ・光学系の調整 ・半導体製造装置 ・バイオメディカル分野での実験 【導入の効果】 ・実験精度の向上 ・再現性の高い実験結果 ・幅広い分野での活用
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
計測や測定、検査では正確な精度が求められます。誤差を減らしたり、正確な位置決めが不可欠です。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、1µm未満の偏心と平坦度により、正確な校正作業をサポートします。 【活用シーン】 ・光学計測・検査 ・半導体・電子部品の精密検査 ・センサー・計測機器の校正 【導入の効果】 ・測定誤差の低減と再現性の向上 ・高精度かつ安定した角度位置決め ・長期安定運用による測定信頼性の向上
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
半導体製造業界では、高精度な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の摩擦を伴うステージでは、摩耗やバックラッシュによる精度の劣化が課題となっていました。PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体検査装置 ・精密測定装置 ・微細加工 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・非接触構造による長寿命化 ・メンテナンスコストの削減
