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小型ダイナミックヘキサポッドステージ HEGOA
HEGOAはサイズが小さく (42 cm)、耐荷重50kg、重量が軽いため、他のヘキサポッドと比較して、設置と使用が最も容易です。さらに、大型ヘキサポッドよりも手頃な価格です。 海軍分野、航空宇宙、自動車分野 (自動運転車用センサー、AdBlue タンク テスト)、または安定化テストなど、産業分野での動的アプリケーションに最適です。また、研究室や医療用途 (神経学、運動学) にも使用できます。
500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
SURES は、非常に高精度で剛性の高い位置決めシステムです。 最大 500 kg の搭載物を高分解能 で調整およびセットアップできます。宇宙、天文学、望遠鏡の分野に特に適しています。 たとえば、地上の望遠鏡のミラーを正しく再調整して、重力の変化や夜間の温度変化による構造の変形を補正することができます。地上望遠鏡のほとんどは標高の高い山の頂上に設置されているため、SURES の機構と電子部品は寒冷環境でも動作するように設計されています。
ダイナミックヘキサポッドステージ MISTRAL
MISTRALは、重要な直線移動および角度移動範囲 (直線移動で最大 ±460 mm、角度移動で ±40°) で最大 1 トンの荷重のモーション生成を可能にします。ボートの船体をテストするためにヒーブモーションを実現するために最初に設計されました。陸上、海軍、または航空の乗り物の軌道を再現することもできるため、その後搭載されるセンサー、電気光学システムなどの実験室テストが可能になります。
小型ダイナミックヘキサポッドステージ SIROCCO
SIROCCOは最大2トンの荷重での動作の再現が可能です。 このヘキサポッドは、液体の動きを研究したり、運動モデルに設定したり、車両をシミュレートしたりするために使用できます。 このソリューションは、運動発生器から独立した 6 自由度の測定システムを統合することができ、可動テーブルの位置をリアルタイムで制御することが可能になります。
パワフルヘキサポッドステージ AQUILON
AQUILON は、ラインナップの中で最も耐荷重の大きいヘキサポッドです。 6トンの重さを動かせます。 必要に応じて、より高いペイロード容量を備えたバージョンを実現できます。 AQUILON は主にうねりシミュレーション、スロッシング、防御 (砲塔テスト) アプリケーションに使用されます。
300mmサイズのワークのプロセスに最適！
リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触 防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用 高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
高精度リニヤステージ 透過型ステージ
ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成 ○裏面のスペースも十分確保 ○高剛性ながら、安価 ○軽量化が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です！
◆超精密位置決めに最適なステージ！ ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。 ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。
顕微鏡での使用を前提に設計された高精度・高分解能でさらに低振動の薄型の電動ステージです。
精密クロスローラベアリング、高度な組み立て技術、そして独自の無給油システムにより、高い精度を長期間にわたり安定して維持します。
高速応答性を重視したピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作します。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
XY軸の薄型ピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
