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ガントリ型 4軸ステージ
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
薄型XY軸ステージ（石定盤）
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
レーザー光軸やレンズの調心に最適！この小ささ、薄さでナノメートルオーダーの超超精密位置決めが可能です！XYZΘの組合せも自在！
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
半導体検査装置や半導体製造装置に最適な精密ステージ！ ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現可能です！
◆超精密位置決めに最適なステージ！ ステージは装置の精度を司る、謂わば心臓部です。 ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。
顕微鏡での使用を前提に設計された高精度・高分解能でさらに低振動の薄型の電動ステージです。
精密クロスローラベアリング、高度な組み立て技術、そして独自の無給油システムにより、高い精度を長期間にわたり安定して維持します。
高速応答性を重視したピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作で高精度に動作します。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
XY軸の薄型ピエゾステージです。
一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しており真直性に優れます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
高精度位置分解能を備えたチルトステージです。
光学ミラーなどの精密角度制御にご使用になれます。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーを組合せることで極めて高精度な位置決めができます。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
ピエゾコントローラ クローズドループ制御
静電容量センサー(C)、ひずみゲージセンサー(S)に対応 チャンネル数 1ｃｈ・3ｃｈ 出力電圧-50～150V
積載荷重2,00kg！コンテナから荷物を引き出す時の仮置きステージ
物流機器 フォークリフト ステージ は、積載荷重2,000kg。フォークリフトでステージをコンテナへセットしコンテナからハンドリフトを使って荷物を引き出し、仮置きします。仮置きした荷物をフォークリフトで受け取る時使用します。主仕様は、全長:4,000m/m、床高さ:1,200～1,350m/m、幅:2,215(2,240)m/m [※( )内は安全柵を含む］ 接続渡板 1,940m/m、積載荷重:2,000kg、自重:840kgとなっております。 詳しくはお問い合わせ下さい。
2/1000℃の高精度温度制御を実現しました。
ペルチェ素子用の２/４ＣＨデジタル温度コントローラです。 従来のＴＤ-２０００/４０００Rシリーズを基に、±0.002℃の高精度な制御を実現しました。 オールインワンのＴＤＣシリーズはペルチェの数（２ＣＨ、４ＣＨ）、電源電圧(８Ｖ、１５Ｖ、２４Ｖ)によって６機種をラインナップ、いずれも温度センサとして白金測温抵抗体とサーミスタ、ＩＣセンサ（オプション）がお使いいただけます。 また、通信機能として、RS232Cを標準装備の他、オプションも用意していますので、あらゆるシステムに対応することができます。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1640/1660シリーズ
大容量ペルチェ素子用の 1chデジタルコントローラ（1200Ｗ/1800W タイプ） 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が 一体となっており、AC電源を供給するだけで ペルチェ素子の温度制御が可能 ○大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型で高精度 ○制御サイクルが10 回/秒と高速 ○表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用できる ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築可能 ○最大駆動電圧150V／最大駆動電流20Aで使用できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
1/100℃制御精度 ペルチェコントローラドライバ TDC-2000/4000Rシリーズ
高精度な±1/100℃の制御安定度を実現した ペルチェ素子用の2/4CHデジタル温度コントローラ 【特徴】 ○小型・高精度 ・1/1000℃の計測分解能と当社独自の 微小電流制御回路により、1/100℃の高精度温度制御を実現 ・高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプルで小型 ・通常のPID 制御の他にオーバーシュートを 0.1℃に抑えられる抑制制御機能、温度変化率を一定に制御する 温度勾配制御機能を搭載しました ○多機能 ・煩わしいPID定数設定を省くためのオートチューニング機能を標準装備 異常検出機能も多数装備 ○汎用性 ・センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方が使用可能 ・パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
