大型円筒用位置決めステージ ※長距離顕微鏡のセッティング!
製品の設計~製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
長距離顕微鏡や大型円筒形の観測装置の位置決め用ステージとして、角度(上下)・回転(左右方向)・高さの調整が任意で可能です。 お客様のお手持ちの円筒形の観測装置に合わせ、作り込むことが可能ですので、ぜひご相談下さい。
- 企業:ツクモ工学株式会社 本社工場
- 価格:10万円 ~ 50万円
更新日: 集計期間:2025年08月20日~2025年09月16日
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製品の設計~製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
長距離顕微鏡や大型円筒形の観測装置の位置決め用ステージとして、角度(上下)・回転(左右方向)・高さの調整が任意で可能です。 お客様のお手持ちの円筒形の観測装置に合わせ、作り込むことが可能ですので、ぜひご相談下さい。
製品の設計~製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
真空機器内の観察対象物を見るために、ズームレンズの細かい姿勢・位置決め調整するための手動5軸位置決めステージです。 XYZ軸の他、傾斜角度とズームレンズの遠近調整が可能です。
製品の設計~製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
小型の3軸位置決めステージで手のひらに収まるほどの大きさ(ステージ部分の最大外形:(65)×(65)×(65)mm)です。 3軸の位置決めステージを□40ベース(□40×7t)の側面に接続した構成です。 写真中央に見える治具(20×10×8mmの部品)を3軸で移動できます。 □40ベース上にセットしたサンプルに対し、当て治具を利用してプローブなどで位置出しや測定などに使用した例です。 □40スペーサに、希望の取付穴(キリ穴とザグリの組み合わせ)を設けることで、ステージ製品などと組み合わせてお使いいただけます。 リンク先は、カスタマイズの事例集です。
プリント印刷物/各種フィルム/塗料の光学自動測定システム
本装置は8軸の自由度を持つステージで、鏡面光沢度、鏡面反射率、BRDFなどの測定が 全自動で容易に行うことが出来るように設計された装置です。
回転傾斜角度をつけて自由な方向から観察・撮影に好適なステージを多数ラインアップ!
株式会社高井精器では、『回転傾斜ステージ』を取り扱っております。 コンパクトタイプで顕微鏡に好適な「RIS2-30」をはじめ、角度目盛り付きの 「RIS7-24M」や、水平固定機能付きの「RIS3-100-50S」など、多数 ラインアップをご用意。 また、特注ステージのご相談も承っておりますのでお気軽にご相談ください。 【ラインアップ(抜粋)】 ■RIS2-30 ■RIS2-45 ■RIS7-24M ■RIS7-40 ■RIS3-100 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
テーブル面が傾斜するタイプのステージです。傾斜の向きが異なる2種類がございます。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型(チルト)や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
特に光学ミラーの”アオリ調整”に適した形状です。1軸アオリ(θx)と2軸アオリ(θx、θy)があります。
ピエゾステージ PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型(チルト)や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
レーザ透過用や顕微鏡・分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに好適
■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光学デバイスの微小角アライメントや精密面合わせなどに好適
■弾性ヒンジ機構による回転案内 独自設計の弾性ヒンジ機構により、ピエゾ素子のわずかな伸縮を変位拡大するとともに安定した回転動作を支持しています。 摩擦摩耗がないため滑らかで高速な動きに優れており、微小角の調整用途に適しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レーザ光スキャニングに適しています
■大径ミラーにもカスタム対応 駆動源のピエゾ素子は高い発生力(数百Nクラス)を持っているため、重量のある大径ミラーでも安定して高精度に位置決めが可能です。 ■角度制御も容易 角度を数値指定して移動させる「静的動作」も、連続的に往復振動させる「振動動作」も、コントローラ/ドライバを介して簡単に行えます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージ
■各メーカの対物レンズが取り付け可能 ・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。 ・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。 ・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。 選べる4つのタイプ 【横型タイプ】 ・本体の厚みを抑えた構造です。 ・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。 【縦型タイプ】 ・剛性が高く応答性を重視したタイプです。 ・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。 【箱型タイプ】 ・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。 ・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。 【鏡筒用】 ・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高1nmの分解能を備えたステージや、±20nmの繰り返し再現性を実現したステージを提供。1台からカスタムにも対応可能
製品の微細化が進む半導体分野やシリコンフォトニクス等の光学分野において 位置決め精度への要求はますます高まっていますが、ナノメートルオーダーの 超精密位置決めの実現には、機構と制御のマッチが不可欠です。 当社は、超精密位置決めに適した製品『ピエゾステージ』の専門メーカーとして 20年以上の実績があり、カタログ規格品を豊富にラインアップしています。 さらに、カスタム設計にも積極的に対応しており、 規格品からでは選定が難しい場合にも用途に合った製品を提供可能です。 【ラインアップ】 <超精密ピエゾステージ> ■800μm以下の微小な領域において最高1nmの分解能と高速応答の超精密位置制御が可能 ■ミラー用チルトや対物フォーカス用など種類が豊富 <精密ピエゾモータステージ> ■25mmまでの移動量において±20nmの繰り返し再現性で信頼性の高い位置制御を実現 ■電源オフの状態でもセルフロッキングにより位置を保持 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
いま、顕微鏡で何番目の素子を見ているか分からなくなった・・・
【問題点】 ウェハや電子部品など整然と並んだ素子を顕微鏡で検査していると、不良箇所を見つけてもそれが何番目の素子か分からなくなることが良くある。 【改善事例】 マップソフト TeleMatri はマップ上でステージの位置を管理できるので、現在検査している場所を間違えることがなくなります。 不良箇所にはマップ上にカラーマーキングしてあとでレポート出力すれば、結果を間違えることなく作業効率も改善します。
パレットに並んだ部品を、画像処理装置を使って良否判定の検査をしたい
【背景】 画像処理装置をシーケンサーでプログラムを組んで検査を行っていた。多品種少量生産のため頻繁にプログラムを変更しなければならない。 【改善事例】 画像処理装置とXYステージを連動させて、不良箇所にはマップ上にカラーマーキングします。 画像処理装置の処理開始出力、良否判定入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 検査対象が変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でエアベアリング採用加工点が低く、 角度変化を最小限に抑制。 マグネットムーブ採用により、移動負荷を極限まで低減。 対磨耗性、温度変化に対応するため、セラミック素材も選択可能。 ウェハーの加工や超短パルスレーザー搭載に 最適な超精密位置決めステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。