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小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
BORA ヘキサポッドは、0.1 µm の分解能で精密要素の位置決めと調整を行うためのコンパクトな 6DOF 平行運動学システムです。 BORA ヘキサポッドは、解像度、精度、安定性、サイズの点で光学およびナノテクノロジーの最も厳しい基準を満たしています。 その寸法により、例えばシンクロトロンビームラインでのアプリケーション用のゴニオメーターの先端や、宇宙光学系の位置合わせと校正を行う光学地上支援装置など、狭い環境での統合が可能になります。 BORA ヘキサポッドは、垂直、水平、逆さなど、あらゆる向きで使用できます。
シンプル高精度ヘキサポッドステージ PUNA
PUNA は、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルなヘキサポッドです。 耐荷重 25 kg に対して、XYZで 0.5 μm、回転で 5 μrad (0.0003 °) の分解能を提供します。 設計を簡素化するために、モーターはインラインで取り付けられ、インクリメンタルロータリーエンコーダーが組み込まれています。
高精度ヘキサポッドステージ BREVA
BREVA は、高い角度精度を提供するように特別に設計されています。 XYZ0.5 µm 、回転 2.5 µrad の分解能で、サンプル、プローブ、センサーなどの物体の角度位置決めが可能です。垂直、水平、逆さなど、オリエンテーションフリーで使用できます。
高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新しい高性能 6DOF システムです。 最大 400 kg のペイロードをわずか 0.1 µm の分解能で位置決めできるように設計された ZONDA ヘキサポッドは、XY で 400 mm、Z で 300 mm、および Rx、Ry、Rz の 3 つの回転で 40 ° の優れた移動距離を提供します。 熱膨張係数 を備えた統合されたインバーコンポーネント、アクチュエータに標準として統合されたリニア アブソリュートエンコーダ、および特に剛性の高いジョイントの設計により、比類のない精度と熱安定性特性を備えています。 縦、横、逆さまなど、どの向きでも使用できます。
高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
Kuban は、高精度かつ 1.5 µrad の分解能で空間内に要素を配置するように設計された、非常に安定した 6DOF システムです。 高分解能アクチュエータと高精度球面ジョイントの構成と統合により、最大 500 kg の耐荷重で分解能と再現性の高いパフォーマンスを実現できます。
1500kg耐荷重高安定高精度長ストロークヘキサポッドステージ JORAN
JORAN ヘキサポッドは、1500kg耐荷重で0.5 µrad の角度分解能で要素を位置決めおよび調整するように設計された高精度システムです。 特にアクチュエーター、球面ジョイント、天然花崗岩プラットフォームは、優れた安定性を保証し、長期にわたって位置決めの品質を保証します。 欧州シンクロトロン ESRF と共同で開発されたもので、シンクロトロン ビームライン上のミラーや真空チャンバーをサポートするのに最適です。 必要に応じて、花崗岩のプラットフォームを鋼製プラットフォームに置き換えることもできます。
コンパクトダイナミックヘキサポッドステージ NOTUS
NOTUS は、コンパクトで構造的に堅牢なモーション ジェネレーターです。 Notus P の耐荷重は 200 kg です。 Notus V ヘキサポッドは、耐荷重が 100 kg に制限された高速バージョン です。 これらのヘキサポッドは、研究室や医療 、航空宇宙、自動運転車用センサーのアプリケーションに最適です。
3つのアクチュエータを同一平面上に配置する事により薄型化！シンプル構造！
『X・Y・θアライメントステージ』は、テーブル送りに超高精度直動アクチュエータ “ミリオンアクチュエータ” を採用することで高精度送りを実現した製品です。 テーブル案内にはローラー式直動ガイド「ミリオンガイド」を採用。 高剛性と低振動の両立を実現しました。 【特徴】 ■高精度 ■高剛性 ■超薄型・シンプル構造 テーブル中央に穴を設けており、光を通す事も可能です！ ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
軽量なので組立・解体にクレーン等の重機が不要！アルミ合金製の昇降ステージ
『POWER STAGE』は、アルミ合金製の昇降ステージです。 軽量なので組立・解体にクレーン等の重機が不要。ステージ(作業床)は 幅約3ｍ、長さ約4～10ｍと広々。最大高さ約10m、任意の高さで作業が可能です。 マストの組立・解体に工具は不要で、連結はワンタッチで行えます。 また、正しくセットされていないと作業床が上昇しないので安全です。 【特長】 ■組立・解体にクレーン等の重機が不要 ■電動工具で昇降可能 ■ステージ（作業床）は広々 ■最大高さは約10ｍ ■マストの連結は工具レスでワンタッチ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ガントリ移動型ステージ Ｇ５
角パイプ溶接構造を採用した ガントリー移動型リニヤモータステージ 【特徴】 ○ガントリ軸は2軸のステージを搭載しており 間にワーク受け部やコンベアを搭載 カメラ用ヘッド軸と透過照明軸という構成が 簡単に実現でき検査装置に最適 ○軽量化を実現 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
手のひらサイズのナノステージ。 この小ささ、この薄さでナノメートルオーダーの位置決めが可能です。
nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールと ピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御 分解能と繰返し精度を実現した小型ナノステージ。 ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替え により、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。 ラインアップは、1 軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの 3 種類 4 モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。 カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。
最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大３軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ（各メーカー）」に対応しています。
多軸構成が可能なピエゾステージ
小型で多軸構成が可能な、1軸ピエゾステージで、X軸・Z軸をご用意しています。 複数の製品を組合せることでXYZ軸など多軸の構成もできます。変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで極めて高精度な位置決めができます。
3軸変位拡大機構を内蔵
透過窓（φ15）付きピエゾステージです。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しておりメンテナンスは不要です。 ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで高精度な位置決めができます。ご用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です
光学ミラーの精密制御、レーザーシステム、スキャニング（走査）装置に最適！
ご用途に合わせたカスタマイズ等にも対応可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
レーザー干渉計の高速レンズ位置決め、大口径ミラー位置決めに最適です。
変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで 高精度な位置決めが可能です。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
耐油構造で高速・高精度位置分解能。工作機械でのバイト精密位置制御やミリ秒 ワークの高速位置決めに最適！
精密加工機のバイト精密位置決めなど、油のかかる場所でご使用になれます。 変位センサー内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラーと組合せることで、 極めて高精度な位置決めが可能です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
制御回路・センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化し、ステージと接続してクローズドループ制御がおこなえるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ｃｈ・3ｃｈ OPEN/CLOSED フィードバック切り替え 出力電圧 -10V～+150V（BNCコネクタ） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
制御回路、センサーアンプ、ピエゾドライバを一体化 ステージと接続してクローズドループ制御が行えるピエゾコントローラ
チャンネル数 1ｃｈ 出力電圧 -10V～＋150V（BNCコネクタ） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
1・2・3軸ロングストローク透過窓付きピエゾステージ MB-140シリーズがモデルチェンジ!
透過窓付ピエゾステージ 御用途に合わせた形状カスタマイズ等にも迅速に対応可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
摩擦レス動作により移動精度が高い
変位センサー内蔵タイプ(MTL-E1C-M)はクローズドピエゾコントローラと組合せることで高精度な位置決めが可能。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
１／１０００℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回路により、１／１００℃の高精度温度制御を実現
１．小型・高精度 ①１／１０００℃計測分解能と当社独自の微小電流制御回 路により、１／１００℃の高精度温度制御を実現しまし た。 ②高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル で小型です。 ③通常のＰＩＤ制御の他にオーバーシュート抑制制御が追 加され、オーバーシュートを０．１℃に抑えました。 ２．多機能 煩わしいＰＩＤ定数設定を省くためのオートチューニング 機能を標準装備、また異常検出機能も多数装備。 ３．汎用性 ①センサは白金測温抵抗体とサーミスタの両方が使えます ②新駆動回路の採用により、５Ⅴ～２４Ⅴと広範囲なペル チェ電圧に対応することができます。 ③パソコンとのインターフェイスを利用し、種々の温調シ ステムを構築できます。
最大駆動電流10Aを実現！コンパクトなDINサイズボディーに温度変換部・PID制御部・バイポーラ定電流を一体化
『TDU-5000A(R/G)シリーズ』は、DINサイズの1chデジタル ペルチェコントローラドライバです。 96mm角のコンパクトなDINサイズボディーに温度変換部・ PID制御部・バイポーラ定電流を一体化しました。 DC電源を供給するだけでペルチェ素子の温度制御が実現します。 さらに小型ながら最大駆動電流10Aを実現しています。 最大150Wまでのペルチェ素子を駆動できます。 また制御安定度は最高±0.002℃を実現(Gタイプ)。 光通信やバイオなどの分野で活躍します。 標準でパソコンとのインターフェイスやパラレルインターフェースを 装備していますので、様々なシステムに対応することができます。 【特長】 ■DINサイズ(96mm角)のボディーに温度変換部・ PID制御部・バイポーラ定電流駆動部を一体化 ■小型ながら最大駆動電流10Aを実現 ■制御用センサはサーミスタ・Pt100 測温抵抗体・熱電対が使用可能 ■制御安定度は最高±0.002℃を実現(Gタイプ・サーミスタ使用時) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1000Aシリーズ
TDC-1100・1200シリーズに 新機能を搭載した、ペルチェコントローラドライバ 【特徴】 ○制御用センサはサーミスタとPt100が使用可 ○最大駆動電流を6Aから12Aに拡大 ○温度補正機能を搭載 ○ぺルチェ素子オープンショート監視機能を搭載 ○各種の外部インターフェース入出力を用意（オプション） ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部・電源部を一体化 ○温度制御の制御安定度は±0.03℃と高精度 ○オートチューニング機能を搭載 ○電流制御でペルチェ素子を駆動 ○数々の保護機能を搭載 ○ペルチェ素子だけでなくヒーターの温度制御も可能 ○シリアルインターフェースRS232Cを搭載 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1600シリーズ
大容量ペルチェ素子用 300W/600W/900Wタイプの1chデジタルコントローラ 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が 一体となっており、AC電源を供給するだけで ペルチェ素子の温度制御が可能 ○大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型で高精度 ○制御サイクルが10 回/秒と高速 ○表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用できる ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築可能 ○最大駆動電圧150V／最大駆動電流20Aで使用できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ペルチェコントローラドライバ ＴDC-2000・4000シリーズ
温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部が一体となった ペルチェ素子用の2/4chデジタル温度コントローラ 【特徴】 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型・高精度・ローコスト マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用。高精度を実現 ペルチェの駆動電源に独自の回路方式を採用。高効率で高精度 高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル ○制御サイクルが5 回/秒と高速 ○新駆動回路の採用により、5〜24V と広範囲なペルチェ電圧に対応 ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築できる ○パネルキーにてPt100、サーミスタを選択できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
