更新日： 集計期間:2025年07月02日～2025年07月29日
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鉛直方向を軸とした回転タイプ（θz）のステージです。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプ 回転ステージは、微小な傾斜や 回転・アオリ角度の調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」 変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」 電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、 多数掲載されています。 「PDFダウンロード」より無料進呈中です。
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
コストパフォーマンスに優れ、フットプリントが小さい省スペースタイプ。 リニアモーター採用により発塵が少ない。 FPD用大型マスク検査、リペア用に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
信頼と実績であらゆるニーズにお応えいたします
■精密ボールねじ、ころがり直動案内、セラミック製エアガイドなどが自由に選択できるため、用途に応じて高精度な位置決めや真直度、剛性の確保が可能です。 ■ゲージ製造で培った精密測定技術をベースに位置決め精度、ロストモーション、真直度、直角度など、信頼性の高いデーター測定が可能です。 ■設計から製作まで、すべて受注対応により、お客様に合ったソリューションを提案致します。
超高温をその場観察！「今」見たいを叶える高速昇温、高速降温可能な 挙動変化をリアルタイムで観察記録可能なシステムです
顕微鏡用高温観察ステージ「IR-18SP」は、顕微鏡ステージに乗せてサンプルの加熱観察が可能な製品です。 コンパクトな炉体ながら室温～1500℃まで30秒の高速加熱ができ、最高温度1800℃までの超高温加熱を実現しました。 【特長】 ■最大１８００℃までの高温加熱が可能 ■シンプルな構造でメンテナンスが簡単 ■炉自身が気密チャンバー構造で自由な雰囲気での加熱が可能 ■高速なレスポンスにより高精度な温度制御が可能 ■顕微鏡やマイクロスコープ、レーザー顕微鏡での「その場観察」が可能 ■温度とリンクした動画を記録、解析が可能 ■コンパクトで卓上でも使用可能 金属顕微鏡、マイクロスコープ、レーザー顕微鏡等に対応しており、既存顕微鏡を流用したシステムも提案できます。
カスタム手動XYZステージ
☆カスタマイズ可能な手動XYZステージ ・ストローク 50〜300程度 ・ステージサイズ □50〜□300程度 ・ステージ材質 アルミニウム、SUS、SS ・ステージ表面処理 アルマイト、Niめっき等 ・耐加重 5〜30Kgf ・ステージへの追加加工 ねじ穴、孔、その他メカインターフェース ☆電動駆動対応についても承ります。
サイズ、天板など、カスタマイズ可能！ カバー付きも人気です。
評価プロセス用ステージなどへの簡易的なホットステージ追加。 また、顕微鏡下などへのホットステージとして。
顕微鏡での検査、及び写真撮影用に便利！
電子部品、小型部品など、傾斜をつけた顕微鏡観察に。 角度調節は、ロレットネジを回すだけ。0～90度まで任意の角度で止まります。 ベースプレートは重量があり、安定しています。
台形ネジ・リニアブッシュを使用した簡易手動XYステージです。耐加重が比較的必要なアプリケーションに最適です！
カスタマイズ可能な手動XYステージSXY-250、300で、SXY100-200の300mmサイズ版です。 台形ネジ・リニアブッシュを使用した簡易手動XYステージで、治具取付け孔追加など様々なカスタマイズが可能です。耐加重が比較的必要なアプリケーションに最適です。 カスタム対応品 1個のご注文でも低価格でご奉仕いたします。また、電動駆動対応についても承ります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
BESTなステージを製作いたします！
材料研究・開発・評価など貴社の加熱プロセスへの組み込み、装置メーカ様OEM対応品です。 駆動方式は使用により選定可能です。治具、機器取り付け用孔カスタムにも対応しております。 各軸ともにロック機構で、固定用足/アングルなどもカスタム対応いたします。 Z軸駆動は、スライド方式により、精密なZ軸調整とステージの薄型をはかっています。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
高耐荷重、ロングストロークを安価な価格で提供致します。
【特徴】 ○簡易X軸調整ユニット/Xステージです。 ○送りねじを使用した簡易調整ユニットです。 ○安価な価格で、耐荷重タイプを提供致します。 ○取付面への孔加工などカスタム対応可能ですので、設計、使用の自由度が高いです。 ○高耐荷重（１０～３０ｋｇ）タイプ ○OEM対応可能 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
高剛性、高精度駆動を特徴とした、クロスローラーガイドステージです。
カスタム複合多軸ステージ 「PXY-100」は、高剛性、高精度駆動を特徴とした、クロスローラーガイドステージです。 プレート材質は、非磁性体のアルミまたはステンレスです。 カスタム対応品ですので、サイズ、トッププレート形状、マイクロメータ搭載方向などカスタマイズが可能です。 【特徴】 ○XYステージを多軸としてカスタマイズ可能 ○貴社の評価装置への組込みが可能 ○貴社の装置への追加、治具の駆動など様々な用途に使用可能 ○OEM対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
