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ロングストロークの粗動調整に優れたX軸ステージ
『X軸ラックピニオンステージ』は、駆動方式にラック＆ピニオン、 移動ガイドにアリ溝式を採用し、ロングストロークの粗動調整に優れた X軸ステージです。 ステージ面にM16タップ加工を施して有りますので、ポールスタンド等を 直接取付ける事が可能となっています。 また、上面スペーサを利用する事によ異なるステージと組み合わせが 可能となります。 【特長】 ■アリ溝式を採用 ■ロングストロークの粗動調整に優れる ■ステージ面にM16タップ加工 ■ポールスタンド等を直接取付け可能 ■組み合わせ可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ロングストロークの粗動調整に優れたXY軸ステージ
『XY軸ラックピニオンステージ』は、駆動方式にラック＆ピニオン、 移動ガイドにアリ溝式を採用し、ロングストロークの粗動調整に 優れたXY軸位置決めステージです。 上面スペーサを利用することにより、異なるステージとの組合せが 可能となります。 また、標準のレバー式クランプをローレットツマミネジ式へ変更した タイプもございます。 【特長】 ■アリ溝式採用 ■ロングストロークの粗動調整 ■異なるステージと組合せが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
素材・表面処理に非磁性仕様を適用。用途に合わせたカスタマイズに対応いたします
「非磁性対応型ステージ」は、光学機器として使われるステージに 光ファイバホルダを組み合わせた製品です。 ステージは、任意の位置で安定な位置決めが可能で、検査・加工の治具などに 幅広く利用可能。目的に応じて、高精度の位置決めが可能な精密ステージを 選ぶこともできます。 また、光ファイバホルダは、ファイバを光軸に合わせるために、光軸に直交する 軸と平行する軸の微調整ができ、樹脂製のアダプタを付ける部分は、貫通穴と しても利用できます。 【特長】 ■標準の光学機器を利用することで、費用の増加を小さく抑えながら、 用途に合わせたカスタマイズに対応 ■光学用のステージ・ホルダを利用することで、測定位置を細かく調整可能 ■非磁性仕様を素材・表面処理に適用することで、微弱な磁性特性の測定が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
対象物をあらゆる方向、角度から観察可能なゴニオステージと回転ステージを組み合わせた2軸ステージです。
対象物をあらゆる方向、角度から観察可能なゴニオステージと回転ステージを組み合わせた2軸の位置決めステージです。 観察サンプルの高さ（大きさ）に合わせ、カメラ（別付属）の角度を調整することが可能です。また回転ステージを動かすことにより、カメラの方向を粗動、微動で位置調整することが可能です。 回転ステージの大きさ、カメラの角度調整範囲等は、回転ステージ、ゴニオステージの機種選択により、様々な設定が可能です。
高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ
Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション向けの5軸ステージ（E5AT）の2種類のラインナップがあります。 LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。広い動作範囲（最大30cm）と非常に細かい動作分解能（最小0.25nm）を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード（分解能）を切換えながら操作します。LTシリーズのラインナップは、サイズ・可動範囲・エンコーダーの有無によって区別されます。
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
鉛直方向を軸とした回転タイプ（θz）のステージです。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプ 回転ステージは、微小な傾斜や 回転・アオリ角度の調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」 変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」 電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、 多数掲載されています。 「PDFダウンロード」より無料進呈中です。
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
コストパフォーマンスに優れ、フットプリントが小さい省スペースタイプ。 リニアモーター採用により発塵が少ない。 FPD用大型マスク検査、リペア用に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
信頼と実績であらゆるニーズにお応えいたします
■精密ボールねじ、ころがり直動案内、セラミック製エアガイドなどが自由に選択できるため、用途に応じて高精度な位置決めや真直度、剛性の確保が可能です。 ■ゲージ製造で培った精密測定技術をベースに位置決め精度、ロストモーション、真直度、直角度など、信頼性の高いデーター測定が可能です。 ■設計から製作まで、すべて受注対応により、お客様に合ったソリューションを提案致します。
超高温をその場観察！「今」見たいを叶える高速昇温、高速降温可能な 挙動変化をリアルタイムで観察記録可能なシステムです
顕微鏡用高温観察ステージ「IR-18SP」は、顕微鏡ステージに乗せてサンプルの加熱観察が可能な製品です。 コンパクトな炉体ながら室温～1500℃まで30秒の高速加熱ができ、最高温度1800℃までの超高温加熱を実現しました。 【特長】 ■最大１８００℃までの高温加熱が可能 ■シンプルな構造でメンテナンスが簡単 ■炉自身が気密チャンバー構造で自由な雰囲気での加熱が可能 ■高速なレスポンスにより高精度な温度制御が可能 ■顕微鏡やマイクロスコープ、レーザー顕微鏡での「その場観察」が可能 ■温度とリンクした動画を記録、解析が可能 ■コンパクトで卓上でも使用可能 金属顕微鏡、マイクロスコープ、レーザー顕微鏡等に対応しており、既存顕微鏡を流用したシステムも提案できます。
カスタム手動XYZステージ
☆カスタマイズ可能な手動XYZステージ ・ストローク 50〜300程度 ・ステージサイズ □50〜□300程度 ・ステージ材質 アルミニウム、SUS、SS ・ステージ表面処理 アルマイト、Niめっき等 ・耐加重 5〜30Kgf ・ステージへの追加加工 ねじ穴、孔、その他メカインターフェース ☆電動駆動対応についても承ります。
