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ペルチェコントローラドライバ TDC−1000Aシリーズ
TDC-1100・1200シリーズに 新機能を搭載した、ペルチェコントローラドライバ 【特徴】 ○制御用センサはサーミスタとPt100が使用可 ○最大駆動電流を6Aから12Aに拡大 ○温度補正機能を搭載 ○ぺルチェ素子オープンショート監視機能を搭載 ○各種の外部インターフェース入出力を用意（オプション） ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部・電源部を一体化 ○温度制御の制御安定度は±0.03℃と高精度 ○オートチューニング機能を搭載 ○電流制御でペルチェ素子を駆動 ○数々の保護機能を搭載 ○ペルチェ素子だけでなくヒーターの温度制御も可能 ○シリアルインターフェースRS232Cを搭載 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ペルチェコントローラドライバ TDC−1600シリーズ
大容量ペルチェ素子用 300W/600W/900Wタイプの1chデジタルコントローラ 【特徴】 ○温度変換部・PID 制御部・バイポーラ高効率定電流駆動部が 一体となっており、AC電源を供給するだけで ペルチェ素子の温度制御が可能 ○大電力タイプながら制御安定度±0.03℃を実現 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型で高精度 ○制御サイクルが10 回/秒と高速 ○表示パネルから温度センサ（Ｐt100，サーミスタ）を選択して使用できる ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築可能 ○最大駆動電圧150V／最大駆動電流20Aで使用できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ペルチェコントローラドライバ ＴDC-2000・4000シリーズ
温度変換部・PID 制御部・バイポーラ定電流駆動部が一体となった ペルチェ素子用の2/4chデジタル温度コントローラ 【特徴】 ○パソコンとのインターフェイスを標準装備 あらゆるシステムに対応することが可能 ○小型・高精度・ローコスト マイコンによるソフトウェアディジタル制御を採用。高精度を実現 ペルチェの駆動電源に独自の回路方式を採用。高効率で高精度 高度なソフトウェア技術によりハードウェアがシンプル ○制御サイクルが5 回/秒と高速 ○新駆動回路の採用により、5〜24V と広範囲なペルチェ電圧に対応 ○パソコンとのインターフェースを利用し、種々の温調システムを構築できる ○パネルキーにてPt100、サーミスタを選択できる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
ＲＡ−６０タイプはステージ面φ６０です。この他、ステージ面φ４０，８０，１２０等各種サイズを取り揃えています。
ＺＡ－３００Ｌは、垂直テーブル面を縦方向に移動する大型ステージです。
駆動方式はネジ送り式（ピッチ２ｍｍ）で上部ハンドルを回転させて移動させる粗動型ステージです。移動量は２２３ｍｍとなります。本体は□５０ｍｍピッチ・□５０．８ｍｍ（２インチ）ピッチの光学定盤へ接続が可能です。テーブル面にはポール・アングル部品の接続が可能です。
ＺＡ－５００Ｌは、垂直テーブル面をｚ軸方向に移動可能な大型ステージです。ロングストローク４２３ｍｍの移動が可能です。
駆動方式はネジ送り式（ピッチ２ｍｍ）で上部ハンドルを回転させて使用します。構造はシンプルでストローク４２３ｍｍを素早く移動可能なＺ軸ステージです。本体は□５０ｍｍピッチ・□５０．８ｍｍ（２インチ）ピッチの光学常盤への接続が可能です。ストローク変更などの改良にも対応しておりますので、お気軽にお問い合わせください。
ロングストロークの粗動調整に優れたX軸ステージ
『X軸ラックピニオンステージ』は、駆動方式にラック＆ピニオン、 移動ガイドにアリ溝式を採用し、ロングストロークの粗動調整に優れた X軸ステージです。 ステージ面にM16タップ加工を施して有りますので、ポールスタンド等を 直接取付ける事が可能となっています。 また、上面スペーサを利用する事によ異なるステージと組み合わせが 可能となります。 【特長】 ■アリ溝式を採用 ■ロングストロークの粗動調整に優れる ■ステージ面にM16タップ加工 ■ポールスタンド等を直接取付け可能 ■組み合わせ可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ロングストロークの粗動調整に優れたXY軸ステージ
『XY軸ラックピニオンステージ』は、駆動方式にラック＆ピニオン、 移動ガイドにアリ溝式を採用し、ロングストロークの粗動調整に 優れたXY軸位置決めステージです。 上面スペーサを利用することにより、異なるステージとの組合せが 可能となります。 また、標準のレバー式クランプをローレットツマミネジ式へ変更した タイプもございます。 【特長】 ■アリ溝式採用 ■ロングストロークの粗動調整 ■異なるステージと組合せが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
以前に購入された位置決めステージなどで、経年劣化や繰返し使用によって、可動部や操作部が固くなってしまった製品を検品、修理いたします。 他社品でも修理可能な物もありますので、ご相談下さい。
素材・表面処理に非磁性仕様を適用。用途に合わせたカスタマイズに対応いたします
「非磁性対応型ステージ」は、光学機器として使われるステージに 光ファイバホルダを組み合わせた製品です。 ステージは、任意の位置で安定な位置決めが可能で、検査・加工の治具などに 幅広く利用可能。目的に応じて、高精度の位置決めが可能な精密ステージを 選ぶこともできます。 また、光ファイバホルダは、ファイバを光軸に合わせるために、光軸に直交する 軸と平行する軸の微調整ができ、樹脂製のアダプタを付ける部分は、貫通穴と しても利用できます。 【特長】 ■標準の光学機器を利用することで、費用の増加を小さく抑えながら、 用途に合わせたカスタマイズに対応 ■光学用のステージ・ホルダを利用することで、測定位置を細かく調整可能 ■非磁性仕様を素材・表面処理に適用することで、微弱な磁性特性の測定が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
対象物をあらゆる方向、角度から観察可能なゴニオステージと回転ステージを組み合わせた2軸ステージです。
対象物をあらゆる方向、角度から観察可能なゴニオステージと回転ステージを組み合わせた2軸の位置決めステージです。 観察サンプルの高さ（大きさ）に合わせ、カメラ（別付属）の角度を調整することが可能です。また回転ステージを動かすことにより、カメラの方向を粗動、微動で位置調整することが可能です。 回転ステージの大きさ、カメラの角度調整範囲等は、回転ステージ、ゴニオステージの機種選択により、様々な設定が可能です。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【製品紹介】 ・”6軸”は、3次元空間で剛体が取りうる6自由度のことを指します。 ・XYZ軸の並進移動、各軸を中心とする回転自由度（3自由度 αβθ）の合せて6軸の位置決め調整が正確にできます。 ・α軸、β軸は同じ回転中心をもつため、この性質を利用したセッティングにすることで調整が容易になります。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、6軸の分割・組合せにより、1軸～5軸の製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
製品の設計～製造、組立てまでを扱うメーカの強みを活かし、カスタマイズなど小回りの利く対応をいたします
【型番】 XC4-25CM, XC4-25SM, XC4-40CM, XC4-40SM, XC4-60CM, XC4-60SM 【製品紹介】 ・XYZ軸の移動により3軸の位置決め調整が正確にできます。 ・移動ガイドにすり合わせ式（25CN, 25SM, 40CM, 40SM）、V溝レールとクロスローラ（60CM, 60SM）を採用しており、スムーズに微動調整ができます。 ・CM, SMは、微動調整のマイクロメータヘッドの取付位置が、それぞれ各辺の中央（センタ）, 横（サイド）にあることを示します。 ・材料や検体の測定・分析など、位置決めが重要な用途に、光学用の精密ステージは有用です。 【参考】 ・本製品以外にも、1軸～5軸の精密ステージ製品もラインアップ。 ・目的に合せて各種の精密ステージ（精密ラボジャッキなど）をご用意しています。 ・こちらの商品に限らず、お困りごとやカスタマイズにも対応します。 ※産業交流展2024に、重荷重大型ラボジャッキ RJ-105HL（本製品）、高精度大型回転ステージ RA-200CR を展示しました。
高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージ
Kleindiek社のサブステージは、高真空環境に対応した超小型精密位置決めステージです。電子顕微鏡（SEM/FIB）などの既存のモーターステージの上に乗せることでステージをアップグレードします。 ユーセントリックステージは、FIB向けカーテン効果防止4軸ステージ（ACT）および、ECCI / EBSD / トモグラフィーのようにサンプルのユーセントリックな配置を必要とするアプリケーション向けの5軸ステージ（E5AT）の2種類のラインナップがあります。 LTシリーズは、最小33mm角と非常に小型で、電子顕微鏡(SEM/FIB)を始め、各種真空装置、低温装置など狭スペースへの設置が可能です。駆動原理にピエゾ素子を用いており、非常に精密かつスムースな動作でサンプルの位置決めを行えます。広い動作範囲（最大30cm）と非常に細かい動作分解能（最小0.25nm）を併せ持ち、観察倍率に合わせて動作スピード（分解能）を切換えながら操作します。LTシリーズのラインナップは、サイズ・可動範囲・エンコーダーの有無によって区別されます。
SPPAアクチュエータ採用の高精度位置決めステージです。最大100mmの長ストロークを、20nm単位で微小送り可能です。
「超音波モータステージ」は、最大100mm（ミリ）までをナノメートル単位で微小送り動作ができる、高精度位置決めステージです。 専用コントローラと接続し、内蔵リニアスケールによるクローズドループ制御で動作します。 高い位置決め再現性を求める光学実験や分析･測定機器に最適です。 電磁モータ式に比べて発熱や磁場が小さいといった特長があり、真空や非磁性などの特殊環境にも対応可能です。 「X軸ステージ」、「XY軸ステージ」、「回転ステージ」をラインナップしています。 その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
鉛直方向を軸とした回転タイプ（θz）のステージです。
ピエゾステージ PTチルト・回転タイプ 回転ステージは、微小な傾斜や 回転・アオリ角度の調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富な横型です！
超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ横型です。 横型は厚みが薄くコンパクトでストロークの種類も豊富です。ストロークは15nmから400nmまでのラインナップをご用意しております。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。 顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。
超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ縦型です。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用意しています。 また、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるフィードバック制御で、動きのある対象物にも素早く正確にフォーカスさせることができます。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」 変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」 電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、 多数掲載されています。 「PDFダウンロード」より無料進呈中です。
1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ
■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。 直接駆動機構 ・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。 変位拡大機構 ・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 繰り返し作業の手間】
【問題点】 ワーク全体の画像を保存する場合「画像保存→隣の視野エリアに移動→画像保存→・・・」と何度も繰り返し、手間と時間がかかっていました。 【改善提案】 キャプチャートリガーの信号によって画像保存するCCDカメラとXYステージを連動させることで、ワーク全体の画像を自動取得できます。 画像取得のためのI/O制御プログラムも簡単に作れます。手間のかかる作業から解放され、生産性を改善します。（CCDカメラには画像保存機能が必要となります。）
現在のマイクロスコープを使って、外観検査システムを作りたい。
【ニーズ】 現在マイクロスコープを使って目視による外観検査をしているが、作業者の作業環境、検査効率を改善するためのシステムを構築したい。 【改善事例】 マップソフト TeleMatri はマップ上でステージの位置、良否判定結果の入力を管理できるので、検査効率を改善できます。 コントローラー（ソフトウェア含む）のみを提供することもできるので、他社製または自作XYステージと組み合わせることも可能です。システム設計の自由度が上がり、ソフト開発の手間を省けます。
マイクロスコープで大きなワークを観察したい。
【問題点】 マイクロスコープに付属している標準ステージでは小さいため、大型のワークを観察ができない。 観察するためにワークを小さく切断したり、準備に無駄な時間をかけていた。 【改善事例】 門形XYステージ（移動量200mm）をご用意しました。X軸にマイクロスコープを固定し、Y軸にワークをセットすればワーク全体を観察できます。 ステージの移動範囲はご相談ください。
パレットに並んだ部品をマーカーやプリンタを使ってマーキングしたい。
【ニーズ】 シーケンサーを使ってマーカー・プリンタとXYステージを連動させるプログラムを組んでいますが、多品種少量生産のため部品の種類が変わると頻繁にプログラムを変更しなければならない。 【改善事例】 マーカー・プリンタとXYステージを連動させて、各部品にマーキングします。 マーカー・プリンタのマーキング開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 検査対象が変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
顕微鏡用XY自動ステージ 【改善事例 不良箇所のNGマーキング】
【ニーズ】 前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。 【改善事例】 ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。
各種測定器とXYステージを連動させてワーク全体の測定を行いたい。
【ニーズ】 分光器、膜厚計、接触角計、レーザー変位計などの測定器を使って、ワーク全体のデータを取得したい。 【改善事例】 各種測定器とXYステージを連動させて、ワーク全体の測定を自動で行います。 測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。 測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ形状を変更するだけで、すぐに対応できます。 （測定データの取得・保存機能は測定器側に必要になります。）
海外メーカーも含め、工作機械全般の位置決め精度検査を承っております
・ヒューレットパッカード株式会社製５５３０Ａレーザー測長システムを用いて超高精度な位置決め精度検査を行います。 ・レニショー株式会社製のＤＢＢを用いて、機械の円運動精度検査と診断を行います。 ・工作機械メーカ及び、名称に限定されない幅広い検査を行います。海外メーカーも行います。 ・ＮＣ制御機器メーカーに限定されない検査を行います。 ・精度検査のみでなく、各種パラメータ補正を行い、高精度に改善します。 ・顧客要求に対応した、柔軟な精度検査を行います。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
リニアモーター駆動でリニアガイド採用。 0除震台を上方に挿入し、低重心化を実現、転がり案内方式採用により、 高速位置決め静停時間をミニマイズ。 露光機用、FPD用大型マスク加工、薄膜加工に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ファインディバイスでは、お客様のご要求に合わせて、様々なステージコンポーネンツから最適なものを選択して、ステージを組み上げます。
コストパフォーマンスに優れ、フットプリントが小さい省スペースタイプ。 リニアモーター採用により発塵が少ない。 FPD用大型マスク検査、リペア用に最適なステージ。 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ウイング車と段差のあるプラットフォームでのデバン作業をスムーズに。仮置き防止で作業効率・安全性を向上
「ドックステージ（DOK-STAGE）」は、ウイング車と段差のあるプラットフォームでの荷積み・荷下ろしを効率化する架台です。プラットフォーム部に設けることで、格納しきれない荷物の仮置きによる搬入出口の占拠や、トラックの荷下ろし待ちを防止。ドライバーの待機時間削減や荷役時間短縮に貢献します。 スロープでは解決しにくい「段差」と「荷物滞留」の両課題を同時に改善。ステージ上では台車やハンドリフトでの作業が可能で、プラットフォーム下からの受け渡しを省略できます。 また、自由設計が可能なオリジナル製品のため、現場環境や作業内容に合わせた最適仕様で製作可能。導入前には3Dシミュレーションでの検討も行えます。 固定設備を増やすことなく、限られたスペースを有効活用し、荷役現場の効率化と安全性を両立します。 【特長】 ■ 段差を解消し、ウイング車での荷役をスムーズに ■ 荷物の仮置きを防ぎ、搬入出口の占拠を抑止 ■ ドライバー待機時間を削減し、作業効率を向上 ■ 現場に合わせた自由設計と3Dシミュレーション対応
