更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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過酷な温度環境下の使用に最適に設計された低圧用圧力センサです。 【HVAC・冷媒・空調・冷却水・ポンプ・コンプレッサ・冷凍機】
<主な特徴> ・気密性の高い特別な筐体設計 ・EMC/ESD 優れた耐ノイズ性能 ・幅広い使用温度範囲 ・冷媒・冷却水など低圧で温度環境の厳しいアプリケーションに最適設計 ・優れた費用対効果、コストパフォーマンス <基本スペック> 圧力レンジ ： -0.1...6.0 MPa 温度範囲 ： -40℃....125℃ 保護等級 ： IP67 出力信号 ： 4-20mA DC 0-10V DC 0.5-0.45V 精度 ： ≦0.5％ F.S (at 25℃) 補償温度範囲内最大誤差 ： ≦2.0% F.S 長期使用ドリフト ： ≦0.25% F.S /年 (at 25℃） 材質（本体及び継手） ： 真鍮またはステンレススチール 材質（薄膜センサ） ： セラミックス
多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対応！ウエハ検査用途にも。
プレシテックの2ITシリーズは、分光干渉法を利用した非接触の厚み測定用センサでです。 高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ・フィルム・コーティング・エアギャップなどの 厚み測定・検査などに使用されています。 不純物/ドープウエハの測定も可能です。 その他の特長は、幅広い測定範囲 、大きな許容角度、様々な材質に対応できることです。 稼働ステージによるスキャンをせずに、面での測定が可能なエリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムの厚みモニタリング/In-Situ/インライン検査でも使用されています。 また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/コーティング厚み測定、ガラスウエハ肉厚検査、ＴＴＶ，厚み分布、PCBコーティング厚み、バッテリー用ホイル厚み、ガラス厚み/、エアギャップなど。
独自のセンシング技術で熱伝導率計測を実現！
八戸工業高等専門学校および弘前大学と共同で『保護熱源式温度センサ』を開発しました。センサを能動的に機能させることにより熱物性（熱伝導率）の測定が可能になった常識を変える新しいセンサです。 本センサは、SEMITEC独自の温度に俊敏に反応する薄膜サーミスタ（FTシリーズ）を複数個使用した専用デバイスと、独自の制御システムから構成されるセンサです。 ごく微小な温度変化を超高速かつ非常に精密に計測することで実現した被測定物の熱伝導率を計測することが出来ます。 この熱伝導率を計測できる特徴を生かし、皮膚がんなど、患部を切除することなく非侵襲でがんのステージ診断する機器への応用が期待できます。
KEMET独自のPZT薄膜技術を利用した各種環境センサは、高感度、高速応答性を実現しております。
KEMETの環境センサは、4つの製品構成で展開しております。 炎をCO2と揺らぎで検出する炎センサ、人感検知やジェスチャー操作などに使用するモーションセンサ、ガス固有の赤外線波長で高精度に検出するNDIR式のガスセンサ、複数の電極と赤外線フィルターで赤外線波長にて判別する食品分析・汎用赤外線分光センサを取り揃えております。
モデル５６７高性能圧力センサは、高圧アプリケーション用です。 ユーザで圧力レンジの変更が出来、理想的な幅広い機能を提供します。
セトラのモデル５６７高性能圧力センサは、高圧アプリケーション用に開発され、顧客での圧力レンジの変更が出来、理想的な幅広い機能を提供します。圧力変更機能は５：１まで可能で、スイッチとポテンショメータで行えます。 モデル５６７の薄膜センサは温度補償され長期に渡る圧力サイクルに対して長期安定性は、年間０．１５％ＦＳ未満のドリフトを実現し優れた信頼性をユーザに保証します。全ての接液部は１７－４ＰＨステンレス鋼で製作されほとんどの圧力媒体で使用可能です。 温度補償は－１０℃～５０℃は０．５％ＦＳ、-２０℃～８０℃は１％ＦＳ、計測精度は±０．１５％ＦＳで高精度での計測が出来ます。 使用温度範囲の低い－２０℃～５０℃タイプは１００ｋＰａから４０ＭＰａのゲージ圧、絶対圧レンジです。
【半導体ガス 高純度ガス】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可
本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。 <特徴> ・防爆認証 ATEX IECEx (KOSHA) ・保護等級 IP67(NEMA 4) ・外部ゼロ調整機能付き ・EMC性能 ・優れた温度補償性能 <製品基本スペック> 圧力レンジ（最小） -0.1...0.1 MPa 圧力レンジ（最大） -0.1...36.0 MPa 安全超過圧 圧力レンジ×2倍 受圧部材質 プロセスコネクション：316L VIM/VAR 薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003 表面仕上げ エレクトロポリッシュ加工 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7) 出力信号 4 ... 20 mA DC 0 ... 5 V DC 0 ... 10 V 総合精度 0.5% ( 0.2MPa以下では、1.0%)
【半導体ガス 高純度ガス】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可
本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。 <特徴> ・防爆認証 ATEX IECEx ・高精度モデル 総合精度0.3%以内 ・長期安定性 ・外部ゼロ調整機能付き ・EMC性能 ・優れた温度補償性能 <製品基本スペック> 圧力レンジ（最小） -0.1...0.1 MPa 圧力レンジ（最大） -0.1...36.0 MPa 安全超過圧 圧力レンジ×2倍 受圧部材質 プロセスコネクション：316L VIM/VAR 薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003 表面仕上げ エレクトロポリッシュ加工 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7) 出力信号 4 ... 20 mA DC 0 ... 5 V DC 0 ... 10 V 総合精度 0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内)
【半導体ガス 高純度ガス】 【超クリーン性能 高精度】 【納期2-2.5ヶ月間】*短納期対応可
本製品は出荷前に100%試験を行い、SEMI 規格に準拠した漏れ、過圧、精度、クリーン度の試験を行い、出荷いたします。 <特徴> ・防爆認証 ATEX IECEx ・高精度モデル 総合精度0.3%以内 ・長期安定性 ・ディスプレイ付き、スイッチ出力オプション付き <製品基本スペック> 圧力レンジ（最小） -0.1...0.1 MPa 圧力レンジ（最大） -0.1...25.0 MPa 安全超過圧 圧力レンジ×2倍 受圧部材質 プロセスコネクション：316L VIM/VAR 薄膜センサー： 2.4711 / UNS R30003 表面仕上げ エレクトロポリッシュ加工 Ra ≤ 0.13 μm (RA 5); max. Ra ≤ 0.18 μm (RA 7) 出力信号 4 ... 20 mA DC 0 ... 5 V DC 0 ... 10 V 総合精度 0.3%以内 ( 0.2MPa以下では、0.6%以内)
様々な検査や定量が手軽に！誰でも簡単にバイオセンシングできる！
『Eva-MO2』はインフルエンザ感染テストと 同レベルの手軽さで、様々な検査や定量ができる導波センサーです。 屈折率（n）や消衰係数（k）の変化をとても高度に計測できます。 モバイルサイズに高性能を詰め込み、現場で測定し、その場で データ送信も可能になりました。 【特長】 ■現場測定・解析ができるため、緊急時の対応が可能 ■消耗品はディスポーザブル使用なので 生体試料や有害物質測定時の管理が容易 ■ラボレベルのバイオセンシング性能を従来の1/10以下の価格で購入可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
従来の市販品の100倍高速な静電容量型湿度センサです！
耐熱性・化学的安定性に優れたポリイミドとMWCNT（多層カーボンナノチューブ）+SWCNT（単層カーボンナノチューブ）電極を組み合わせた10msオーダーと従来の100倍高速な静電容量型湿度センサです。 カーボンナノチューブ（CNT）はナノスケールの網目状構造を持つため、ガス透過性電極となります。ガス分子が出入り上部電極は、ガスの移動を妨げないことも重要であり、例えば水蒸気を透過する湿度センサの場合は、高い撥水性を持たせることで高速な応答が期待できます。本技術では水蒸気やガス状の化学物質によって電気的特性が変化するポリイミドの薄膜にCNTを上部電極として装着することによって、従来の湿度センサより応答速度の向上、高感度化、温度変化の抑制、耐久性の向上を実現しました。
XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエハ検査用途にも。
『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン システムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。 定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ミリグラム(mg)・μNレベルの微小な力を高感度で検知・測定。小型で装置への組み込みも容易
「もっと検出精度の高い荷重センサが欲しい」 「ミリグラム(mg)レベルの、小さな力を測りたい」 など、より高機能の荷重センサを使いたいと感じたことはありませんか。 当社の高感度荷重センサ『フォースセンサシリーズ』は、 μN(mgf)レベルの微小な力を高感度で検知可能！ センサアンプとお手持ちの電圧測定機器を接続するだけで 簡単に押圧力や引っ張り力を求められます。 小型・軽量で、装置への組み込みも容易。 研究開発や製造管理などに活用いただけます。 測定レンジや感度により4種類を標準ラインアップしています。 【特長】 ■形状や感度変更などのカスタムOK ■検知方向によって「押圧用」「引っ張り用」「押し引き両用」を選択可能 ■針先の接触反力も計測可能なアーム型もご用意 ※＜PDFダウンロード＞より微小力センサとロードセルの比較表をご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に組込み可能なセンサ。半導体ウエハ検査用途にも最適。
『CHRocodile Mini』は、100万円以下の安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度な測定/検査が可能で、nm分解能の距離測定、最大4表面、3層厚みの同時測定もできます。粗面、鏡面、色付き材料など表面の状態に依らず計測ができ、測定レンジの範囲も広いセンサです。 【特長】 ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 厚みは（45um)～厚膜(400mm)までカバー。(屈折率1.5の場合） 距離センサとしては、600um 4mm 10mmの3種類の プローブラインナップ。 ■高分解能（ Zはサブミクロン、XYは数um~） ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■多業界で豊富な実績 半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野
インライン検査に。70 000ポイント/秒のスキャンに対応。膜厚も測定可能。半導体ウエハ検査用途に。
当社では、最大直径80mmの3D形状測定が高速で行える 超高速光学スキャナー『Flying Spot Scanner(FSS)』と、 専用センサを組み合わせたシステムを提供しています。 平坦度、厚み、形状、縦と横の層と部品配置などを 高精度かつスピーディーに測定可能。 センサも幅広く取り揃えており、 要求される測定範囲や精度に合わせて選択できます。 【FSSの特長】 ■高精度：Z方向分解能最小5nm ■高速スキャン：70 000ポイント/秒 ■インライン測定に好適 ■測定範囲内なら自由に部分測定可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
セトラ社 モデル５２２汎用圧力センサは、優れた安定性と高精度を必要とするＯＥＭ産業用アプリケーション向けに設計されています。
セトラシステムのモデル522汎用圧力トランスデューサーは、優れた安定性と高精度を必要とするOEM産業用アプリケーション向けに設計されています。 モデル522のCVDひずみゲージの設計は、長期間の使用による圧力サイクルや熱影響に対して安定して使用出来ます。この長期に渡る安定性は年間０．２％未満の低ドリフトを実現し、高い信頼性をユーザに保証します。すべての接液部は１７－４ＰＨステンレス鋼で構成され、適合するガスや液体に使用可能です。 モデル５２２は精度０．２５％ＦＳ（オプション0.15％FS）、温度補償範囲は－２０℃?８０℃と広く作られています。ゲージ圧、絶対圧、連成圧の３つの圧力モードから選択出来ます。圧力レンジは－１００ｋＰａ～６０ＭＰａまでの間に豊富な圧力レンジを用意しています。モデル５２２のモジュール設計は、ほぼ全ての圧力レンジで、幅広い種類の電圧出力信号と電流出力信号を用意しており、電気接続も用途に応じ選択出来ます。このモデル５２２は、使用者のＯＥＭアプリケーション用にカスタム設定する事が出来るようになります。
