ウエハホットチャック PH-201 XYステージ搭載タイプ
サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能!
ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。最高温度は300℃ 対応可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。手動簡易XYステージとの組合せにより、検査ステーションを低予算で構築できます。 MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御も可能です。OEM対応もいたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業:株式会社MSAファクトリー
- 価格:応相談