チラーのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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チラー×エムエス機器株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

チラーの製品一覧

31~39 件を表示 / 全 39 件

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フロン対策はお済みですか?ペルチェチラー ThermoCube

コンパクト!消費電力大幅削減!低騒音・低振動!フロンガス不使用!ペルチェ冷却チラー

冷却能力200W,300W,400W,600WのThermoCubeはささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でさえも±0.05℃温度制度を維持します。 コアとなる電子温調モジュールは20万時間を越える寿命をもち、世界中の電源に対応のユニバーサル電源を搭載しています。オプションを多数用意しており、様々なカスタマイズが容易なデザインとなっています。フロンガス不使用で環境にやさしいチラーです。 *オプションに関してはお問合せ下さい 【特徴】 ■半導体製造装置の温度コントロール ■レーザーの冷却 ■ガス容器の温度コントロール ■スキャニング電子顕微鏡

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温度制御チラー 『NIKOLA3K/5K』

フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大60%削減!騒音・振動も防止!

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60%削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減

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消費電力大幅削減!ペルチェチラー 『NIKOLA3K/5K』

フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大60%削減!騒音・振動も防止!

『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応! 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60%削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減

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フッ素系溶媒用チラー M-75HFE

高い温度安定性と応答性のフッ素系溶液用チラー

フッ素系溶媒(フロリナート、ノベック、ガルデン、オプテオン)は、絶縁性が高いため、電食を防止する効果が非常に高く、装置のメンテナンスを容易に行うことが可能です。 また、不燃性で安全性が高いため、クリーンルーム内の装置の冷却にも適しています。 (フッ素系溶媒の特徴)  ・電気絶縁性が高い  ・熱伝導性が高い  ・熱的安定性が高い  ・化学的安定性が高く不活性  ・毒性が低く、不燃性のため安全性が高い

  • その他環境機器
  • その他半導体製造装置

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消費電力大幅削減!ペルチェチラー『ThermoRack1801』

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適!消費電力最大93%削減!騒音・振動も防止!

『ThermoRack1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93%削減 ■冷却水使用量を最大60%削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース

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Thermo Fisher Scientific社製中古チラー

Thermo Fisher Scientific社製の中古チラーを純正部品を使ってオーバーホールしたリファービッシュ品です。

Thermo Fisher Scientific社製の中古チラーを純正部品を使ってオーバーホールしたリファービッシュ品の販売を開始しました。 納期はご発注から納品まで約2か月、メーカー製品保証半年間付きです。

  • その他半導体製造装置

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小型で軽量、低騒音、低振動、コンパクトなノンフロンペルチェチラー

装置に組み込めるコンパクト設計でありながら160W~600W冷却能力と強力なポンプを内蔵したノンフロンペルチェチラー

信頼性の高い高性能ペルチェモジュールとSolidStateCoolingSystems社が開発した独自の特許技術を持つ熱交換プレートの組み合わせにより、非常にコンパクトながら高い冷却能力を発揮するチラーです。フロンガスを一切使用しておりませんので、GWP規制による使用制限やフロン管理のための点検作業が不要です。また、機械的部品をほとんど使用しておりませんので、振動や騒音も少なく、摩耗や劣化による不具合を軽減します。装置の組み込みにも最適です。 必要な仕様に応じて複数のラインアップから最適な1台を選択可能です。 ・冷却能力 : 160W~600W ・ポンプ : アプリケーションに応じて選択可能(ThermoCube) ・接液部材質 : 異種金億による腐食防止を考慮した材質の選択が可能 (UC、TCube edge、ThermoCube) ・循環液 : 水/エチレングリコール溶液、Koolance、フッ素系溶媒       対応モデルもあります(ThermoCube) *空冷式 水冷式モデルもあります(ThermoCube)

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プラズマエッチャーチラー ThermoRack1201/1801

半導体製造工程のプラズマエッチングに好適!消費電力最大93%削減!騒音・振動も防止!

『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85%の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大93%削減 ■冷却水使用量を最大60%削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減 ■19インチラックに収まるサイズで省スペース

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省エネ、フロンガス対策チラー ※置き換え事例ハンドブック進呈

省エネ効果でカーボンニュートラル、カーボンプライシング対策に! 温室効果ガスフリーで環境問題に貢献 !

Solid State Cooling systems社のペルチェチラー は、高性能なペルチェ素子と独自技術で開発した液体を媒体とする高効率な熱交換プレートを組み合わせることにより、温度安定性と温度レスポンス性に優れたペルチェ素子の特徴を最大限に生かしたチラーです。従来のチラーで採用されている冷凍機とヒーターを用いた非効率な温度制御方式に比べて、省エネ、省スペース、低騒音、低振動、脱フロンといった、多くの革新性と優位性を備え、半導体、レーザー装置、分析機器、医療機器、ストレージ、航空技術、軍事産業など、特にシビアな温度制御が要求されるマーケットで豊富な納入実績があります。 <ペルチェチラーの特徴>  ・温室効果ガスフリーで環境に対する悪影響が無い  ・小型・軽量で騒音・振動が極めて少ない  ・消費電力を最小限に抑えた使い方が出来る  ・温度応答性がよく、優れた温度安定性  ・機械部品が少ないため、故障率が低い *置き換え事例をまとめたハンドブックを用意しています  ・省エネ効果  ・安全対策  ・フロン対策  ・老朽化対策  ・省スペース効果  ・低振動効果

  • その他環境機器
  • その他半導体製造装置

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