フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適！消費電力最大60％削減！騒音・振動も防止！
『NIKOLA3K/5K』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で 冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の高冷却能力ペルチェチラー です。 半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、 ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。 主要エッチャーメーカーの製品に対応！ 温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。 【特長】 ■消費電力を最大60％削減 ■駆動部は、ポンプと冷却ファンだけのシンプル設計 ■騒音・振動を低減
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基本情報
【基本仕様】 温度範囲：－10℃～80℃ 冷却能力：NIKOLA3K ： 3000W＠20℃ NIKOLA5K ： 5000W＠20℃ 加熱能力：2000W＠25℃ タンク：10L 接液部材質：アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー 外寸法：W566×D711×H887(mm) ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯
納期
用途／実績例
300mmプラズマエッチング装置に採用。
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企業情報
エムエス機器は、世界トップシェアのチラーメーカー米国NESLAB社 （現Thermo Fisher Scientific社）の日本総代理店として、約50年に亘り培った チラービジネスの経験と、述べ20,000台を越えるチラーの納入実績を持つ技術の専門商社です。2014年より、米国Solid State Cooling Systems社の ペルチェ方式チラーの取り扱いを開始し、環境問題やエネルギー問題に敏感なお客様のニーズを踏まえた商品をご提供しております。 ISO 14001:2004：JQA-EM4217、ISO 9001:2000：JQA-QMA12892