オールメタルゲートバルブ SERIES 48.1/48.2
開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応
-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング
- 企業:VAT株式会社
- 価格:応相談
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開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応
-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング
コンパクトな真空遮断バルブ。ゲートバルブの代替品としても活用。
-頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ -差圧での動作が可能
均等なガスフローで高度なプロセスに最適
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備(USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用)
過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備(PC接続用とCPAソフトウェア用)
過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい
軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード
高真空アプリケーションの排気、ベント用のアングルバルブ
-アングルおよびインラインボディ -ベローズ軸シール -大きな差圧対応 -長いサイクルライフ