ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
ゲートバルブ×VAT株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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PARTICLE-FREEゲートバルブ
パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ
– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
コントロールゲートバルブ Series 64.2
極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
高真空ゲートバルブ SERIES 09.1
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
真空ゲートバルブ SERIES 12.1
VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ
研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
Lゲートバルブ SERIES 92.0
半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
UHVゲートバルブ SERIES 10.8
開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。
-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
オールメタルゲートバルブ SERIES 48.1/48.2
開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応
-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 - Hard on hard シーリング
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
大型角型ゲートバルブ SOLVAT Series 06.6
過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
大型角型ゲートバルブ TWINVAT Series 06.1
軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
