均等排気バルブ SERIES 67.0
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
バルブ×VAT株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧
バルブの製品一覧
1～15 件を表示 ／ 全 23 件
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ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
-潤滑剤不要 -パーティクル発生が少ない -ショック低減 -Vulcanizedシール
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
低価格オールメタルアングルバルブ SERIES 54.1
（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用
-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
バタフライコントロールバルブ≪ポジション制御用≫
シンプルなソリューションをお求めの方に！
-超高速動作 -ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア -遠隔操作用アナログ/デジタルインターフェイス
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
PARTICLE-FREEゲートバルブ
パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ
– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
コントロールゲートバルブ Series 64.2
極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
コンボコントロールバルブ SERIES 95.1/95.2
優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ
Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Series 95.2: コントロールバルブとゲートバルブの組み合わせ。O-リング軸シール付き。
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
大型角型ゲートバルブ FLAPVAT Series 06.8
短い開閉時間による高いスループット
-保有コストが低い -短い開閉時間による高いスループット -お客様指定のデザイン
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
振子式高真空バルブ Series 16.2
コンパクトな真空封止用バルブ
-バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない -ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 -分解、クリーニング後の調整不要
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
高真空シリンダーバルブ SERIES25.0/25.1/25.2
フルコンダクタンスが可能な高真空シリンダーバルブ
大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用バルブ -過酷な環境にも対応（腐食に対しての高い耐性）します。 -穴の開いたシリンダーが回転するため、フルコンダクタンスが可能です。 -O-リングがバルブボディに隠れる回転構造。腐食性ガスからO-リングを守り、長寿命を実現します！
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
高真空ゲートバルブ SERIES 09.1
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能な高真空ゲートバルブ
0.1MPaの差圧でバルブの開閉動作が可能 -真空封止アプリケーション用の高真空ゲートバルブ -ウェッジシールにより圧力差があっても開け閉め可能
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
真空ゲートバルブ SERIES 12.1
VATLOCKシステムの真空ゲートバルブ
研究開発および産業の低真空アプリケーション用のバルブ -機械的なロックで、逆圧状況においても確実にシールするVATLOCKシステムのゲートバルブ -エアダンピングにより、振動が少ないためポンプに負担を掛けない構造 -取外しが簡単でメンテナンスが容易 -低コスト
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
Lゲートバルブ SERIES 92.0
半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
UHVゲートバルブ SERIES 10.8
開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。
-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
