大きな差圧に対応可能！
-大きな差圧対応 -絞り開口部はメモリでの設定が可能 -アングルおよびインラインボディ
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基本情報
リーク量 バルブボディ、バルブシート : 1 × 10 – 9 mbar ls 1 使用圧力範囲 DN 63-80: 1 × 10 – 8 mbar～4 bar (abs) DN 100-160: 1 × 10 – 7 mbar～2 bar (abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 バルブ開方向 DN 63-80: ≤ 1.2 bar DN 100-160: ≤ 1.2 bar バルブ閉方向 DN 63-80: ≤ 4.0 bar DN 100-160: ≤ 2.0 bar バルブを開けるときの許容最大差圧 DN 63-80: ≤ 1 bar DN 100-160: ≤ 1 bar 第一回サービスまでのサイクル数 DN 63-80: 三百万回 DN 100-160: 百万回 軸シール（メインバルブ） DN 63-80: ベローズ DN 100-160: Oリング軸シール 電磁弁 DN 63-80: 24V DC、9.0W DN 100-160: 24V DC、9.0W
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用途／実績例
初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、パーティクルの発生・基板の振動抑制用
ラインアップ（20）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 29028-KA11 | DN25 ISO-KF、アルミニウム; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29032-KA11 | DN40 ISO-KF、アルミニウム; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29034-KA11 | DN50 ISO-KF、アルミニウム; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29036-QA11 | DN63 ISO-KF、アルミニウム; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29038-QA11 | DN80 ISO-KF、アルミニウム; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29240-QA11 | DN100 ISO-KF、アルミニウム; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29244-QA11 | DN160 ISO-KF、アルミニウム; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29028-KE11 | DN25 ISO-KF、ステンレススチール; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29032-KE11 | DN40 ISO-KF、ステンレススチール; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29034-KE11 | DN50 ISO-KF、ステンレススチール; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29036-QE11 | DN63 ISO-KF、ステンレススチール; 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29128-KA11 | DN25 アルミニウム;インラインバルブ |
| 29132-KA11 | DN40 アルミニウム;インラインバルブ |
| 29134-KA11 | DN50 アルミニウム;インラインバルブ |
| 29128-KE11 | DN25 ステンレススチール;インラインバルブ |
| 29132-KE11 | DN40 ステンレススチール;インラインバルブ |
| 29240-QA14 | DN100 アルミニウム; 圧空作動式-メインバルブ: 複動シリンダー/ソフト排気バルブ: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC）、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29244-QA14 | DN160 アルミニウム; 圧空作動式-メインバルブ: 複動シリンダー/ソフト排気バルブ: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC）、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29240-QE14 | DN100 ステンレススチール; 圧空作動式-メインバルブ: 複動シリンダー/ソフト排気バルブ: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC）、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 29244-QE14 | DN160 ステンレススチール; 圧空作動式-メインバルブ: 複動シリンダー/ソフト排気バルブ: 単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC）、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。