ケミカル汚染物除去用フィルター「リソガードLPS」
さまざまな汚染物質からレンズを保護するケミカルフィルター
「リソガードLPS」は、現在もクラス最高レベルにある「リソガードBSMmaxフィルター」の除去性能を強化し、耐久性の強化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルターです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護します。 半導体製造装置はもちろん、超洗浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に適切です。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス(SO2、HCl、HBr) ・塩基性ガス(NH3、NMP、アミン) ・凝縮性有機ガス(HMDSO、TMS) ■リソガードBSMmaxフィルターと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現 ■リソガードBSMmaxフィルターからの置き換え可能 ■Refill プログラムにより、フィルターの再利用可能 ■グローバルな販売・サービス体制 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業:日本ドナルドソン株式会社
- 価格:応相談