さまざまな汚染物質からレンズを保護するケミカルフィルター
「リソガードLPS」は、現在もクラス最高レベルにある「リソガードBSMmaxフィルター」の除去性能を強化し、耐久性の強化を実現したキャビネット収納タイプのケミカルフィルターです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護します。 半導体製造装置はもちろん、超洗浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に適切です。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス（SO2、HCl、HBr） ・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン） ・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS） ■リソガードBSMmaxフィルターと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現 ■リソガードBSMmaxフィルターからの置き換え可能 ■Refill プログラムにより、フィルターの再利用可能 ■グローバルな販売・サービス体制 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○P515501 P515502 ・適用フィルターシステム：リソガード-12 ・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：555 x 430 x 188 mm ・設定風量 ：433 ㎥/hr ・最大圧力損失 ：265 Pa ・概算重量：20kg （C)Nippon Donaldson, Ltd. All rights reserved.
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用途／実績例
ケミカル汚染物除去フィルターとして 半導体製造装置を始め、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中のさまざまな汚染物質の除去に
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企業情報
1915年に米国で創業したドナルドソンは、100年以上の長きにわたり、 フィルトレーションソリューションの世界的メーカーとして、実績を重ね、信頼を得ています。 農機用エンジンフィルターから始まったドナルドソン製品は、 ガスタービン設備などの大型フィルトレーションンシステムから、 最先端電子機器の超微細なフィルター・膜まで、 様々なフィルトレーションソリューションを提供しています。 日本ドナルドソンは、国内に製造工場とテクニカルセンターを併設し、 長年培ったフィルター技術を生かし、日本の市場に合った製品開発と、 お客様のグローバル展開に伴ったサポートを提供しています。 今後も、フィルトレーションテクノロジーのパイオニアとして業界をリードし続けていきます。
