さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護するフィルター
「リソガードBSＭmax 」は、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮するキャビネット収納タイプのケミカルフィルターです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、耐久性に優れたフィルターです。 半導体製造装置はもちろん、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に理想的です。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス（SO2、HCl、HBr） ・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン） ・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS） ■従来の活性炭フィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現 ■Refill プログラムにより、フィルターの再利用が可能 ■グローバルな販売・サービス体制 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【ラインアップ】 ○P512612 ・適用フィルターシステム：リソガード-12 ・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：555 x 430 x 188 mm ・設定風量 ※：433 ㎥/hr ・最大圧力損失 ※：265 Pa ・概算重量：20kg ○P510610 ・適用フィルターシステム：リソガード-2.5.7HIGH ・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：630 x 335 x 155 mm ・設定風量 ※：355 ㎥/hr ・最大圧力損失 ※：300 Pa ・概算重量：16kg （※リソガードBSMmaxフィルタ1個あたりの数値） （C)Nippon Donaldson, Ltd. All rights reserved.
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ケミカル汚染物除去フィルターとして 半導体製造装置を始め、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中のさまざまな汚染物質の除去に適切です。
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企業情報
1915年に米国で創業したドナルドソンは、100年以上の長きにわたり、 フィルトレーションソリューションの世界的メーカーとして、実績を重ね、信頼を得ています。 農機用エンジンフィルターから始まったドナルドソン製品は、 ガスタービン設備などの大型フィルトレーションンシステムから、 最先端電子機器の超微細なフィルター・膜まで、 様々なフィルトレーションソリューションを提供しています。 日本ドナルドソンは、国内に製造工場とテクニカルセンターを併設し、 長年培ったフィルター技術を生かし、日本の市場に合った製品開発と、 お客様のグローバル展開に伴ったサポートを提供しています。 今後も、フィルトレーションテクノロジーのパイオニアとして業界をリードし続けていきます。
