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真空システム
大阪真空社では、「安心して、満足して、長期間使用可能な信頼性の高い製品」 を提供する事をモットーとして、 多彩なラインアップをもとに、 充実した技術力と実績を持ってユーザーのニーズに合わせた ベストな真空システムを提供していきます。 【各種真空システム】 ○ターボ分子ポンプを使った真空システム ○ドライ真空ポンプを使った真空システム ○油回転真空ポンプを使った真空システム ○液封式真空ポンプを使った真空システム ○ルーツ真空ポンプを使った真空システム ○エジェクタを使った真空システム ●詳細は、お問い合わせ下さい。
油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。
【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間 ご使用いただいている例もあります。 ●詳細については、お問い合わせ下さい。
簡単に超真空を得ることができ、幅広い真空プロセスに用いられている真空ポンプ
【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
取付自在型 長期寿命(3万時間) 軽量及びコンパクト 大気突入対応
取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ
反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。
独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少！
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
小型・軽量 全圧力領域(大気圧～到達圧力) 軽分子ガスの排気が可能、完全オイルフリー
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
大気圧で連続運転が可能！乾燥、ロードロック室・搬送室排気に最適！
空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度 800L/min ■水蒸気処理量 500g/hr ■排気速度 1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ポンプの運転を安定化させる循環システム搭載の油回転真空ポンプ。
『VRDシリーズ』は、一般産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m3/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ(二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインアップ！
当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ■ターボ分子ポンプ ■ターボ分子ポンプ真空システム ■油拡散真空ポンプ ■メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ) ■メカニカルブースタ排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を実現！
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸受形とし、 メンテナンスフリー、オイルフリーで振動が極めて小さな排気が可能。 また吸気口フランジは銅ガスケットを使ったコンフラットタイプとし、 ガスケットからの軽ガスの透過や放出ガスを低減し、また高温での ベーキングを可能にしています。 【事例概要】 ■納入先：国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 関西光量子科学研究所(木津) ■納入製品：X線計測実験真空容器用高真空排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ターボ分子ポンプ等の高真空ポンプの補助ポンプとして好適！
『VM70F』は、70m3/hで200V単相を実現する直結型油回転真空ポンプです。 ポンプ本体起動スイッチまたはD-SUBによる起動可能。凝縮性ガスに 強い製品です。 冷却水工事不要で導入できます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■大排気速度で単相電源 ■リモート/ローカル起動対応 ■ガスバラスト常時間 ■空冷仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気！当社の真空排気システムをご提供した事例
大型含浸装置において含浸タンク内を大気圧から真空状態に繰り返し排気 するために使用される、大型ルーツ真空ポンプを主ポンプとした「真空排気 システム」を導入した事例をご紹介いたします。 本事例では、大型電動機用真空含浸装置において、13m3の容積を持つ 含浸タンク内を、7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気することが 求められました。 設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動。吸気口と排気口の間には弁体の自重によって 開閉する逃し弁を備えており、高圧側からのポンプ起動を可能にしています。 【特長】 ■設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動 ■吸気口と排気口の間には弁体の自重によって開閉する逃し弁を備えており、 高圧側からのポンプ起動が可能 ■電動機・真空スイッチ・電磁弁はすべて防爆仕様 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
泡立ちを抑えた撹拌に優れた撹拌機 （ベルヌーイ流撹拌体BEAG E型）。
○30～150L程度の撹拌が可能です。 ○空気を巻き込まない撹拌に優れた撹拌体を採用。 ○最高800rpm（粘度水程度の場合）で撹拌できるアルミ電気モーターを使用しています。 ○コントローラーが付属し、回転数の調整が簡単です。※コントローラーは別置き ○容器の蓋にヘルール接続する竪型タイプです。 ○容器と撹拌機の接続部を密閉できるので、外部からの異物混入防止になります。
