更新日： 集計期間:2025年10月22日～2025年11月18日
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工業用真空ポンプシステムを多数掲載！お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。
当カタログは、当社が取り扱う産業分野向けの真空ポンプをご紹介しています。 ドライポンプとオイルシールポンプの両方を幅広く取り揃えており、 経済的で環境に配慮したプロセスを実現するお役立ちいたします。 コーティングから乾燥、冶金からリチウムイオン電池の製造にいたるまで、お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。 【掲載製品（抜粋）】 ■ドライ真空ポンプ GXS ■ドライ真空ポンプ EDS ■セントラルバキューム用ポンプ EOSi ■ドライ真空ポンプ EDC ■化学プロセス用ドライ真空ポンプ EDP ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの薄膜工程で豊富な経験がございます。
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識により、パッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
鉄鋼の脱ガス工程に関連する真空ソリューションをご紹介しています。
真空脱ガス（VD）と真空酸素脱炭（VOD）は、特殊合金鋼の生産によく使われるプロセスです。 これらは、鉄鋼の二次精錬工程において、水素や炭素などの不純物の度合いをを低減するために使用されています。 エドワーズが持つ真空ポンプを中心にソリューションをご紹介しております。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一般産業向けのハイエンドレンジの真空ポンプであり、信頼性の高いパフォーマンスを発揮します。
GXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、一般産業向けに多くの納入実績がある製品です。 コントローラ、インバーターを標準搭載しており、オプション選択により外部システムとの通信が可能となります。 パージ機能を有しており、シャフトパージに対応、ポンプ内部を洗浄・フラッシングする機能（オプション）もあり、幅広い用途・プロセスに対応できるのが特長です。 排気速度に応じて、メカニカルブースター付属仕様（ケーシング内にポンプと一緒に収まる）も選択頂けます。 ＜特長＞ ・コントロールパネルを標準装備 リモート/ローカルON/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 優れた温度制御システムの採用で高速排気とロングライフを実現 ・到達圧力 1Pa（ポンプ単体）、0.1Pa（ポンプ＋メカニカルブースター） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
コストパフォーマンスに優れた1段式のロータリベーンポンプです。
エドワーズ nESシリーズは、排気フィルタ内蔵のコストパフォーマンスに優れたオイルポンプです。 熱処理、乾燥、コーティング、滅菌、油・樹脂脱気、食品加工、リーク検出、真空断熱、シリンダ充填など様々な製造業に関わる用途で使われています。 ＜nESポンプ仕様＞ ・排気速度：40～750m3/hr（9つの機種） ・到達圧力：6～50Pa（ガスバラストオフ）、70～150Pa（ガスバラストオン） ・空冷タイプ、鉱物油仕様 ・電源：50Hz 200-240V/380-415V, 60Hz 200-230V/380-400V ・駆動方式：モータ直結(nES40～300)、ベルト(nES470～750) ・中国天津工場製 nESシリーズは、メカニカルブースターEHとの接続が可能です。 組み合わせることでポンプの排気速度と到達圧力を向上させます。 ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
世界でも多くの導入実績があるエドワーズの水封式ポンプをご紹介いたします。
水封式ポンプは、以下のような特徴がございます。 ・水、油、薬品類の蒸気や液体を含んだガスの排気に適している ・ダスト、粉体を吸い込んだとしても、ポンプ構造がシンプルな為、トラブルが起きにくい ・真空室内に摺動部が無く潤滑が不要、また排気弁が不要 エドワーズの水封式ポンプは、シングルステージタイプとダブルステージタイプがあり、使用環境に合わせて、 最適な構造材料(ステンレス鋼、アルミニウム青銅、二相ステンレス鋼、ハステロイ、耐食性材料等)を組み合わせてご提案しております。 排気速度は、シングルステージのLRシリーズで最大48,000 m³/h、ダブルステージのHRシリーズで最大7,500 m³/h となります。 化学・製薬および石油化学アプリケーション、空冷コンデンサ排気、排煙脱硫、真空滅菌、海水脱気、食品加工、鉄鋼脱気工程で採用頂いております。 ＜蒸気エジェクタ＞ 要求される到達真空圧や条件によって、水蒸気を使用したエジェクタポンプと水封式ポンプを組み合わせたパッケージ提案も行っております。
シンプルな構造とピストン機構、厳しい環境での運転に耐えられる堅牢性の高い真空ポンプです。
エドワーズのStokes Microvacシリーズは、大排気量のオイルシール式ピストンタイプの真空ポンプです。 80年以上の実績からなる信頼性と、低騒音、優れたシール性、最小限のメンテナンス、低い運転コストを実現する、最も効率的なピストンポンプです。 ストークスポンプは、多様なメカニカルブースターとの組み合わせにより、お客様のニーズにもフレキシブルに対応致します。 < Stokes特長> ● 堅牢構造で低フットプリント設計 ● 低い回転速度による大幅な長寿命化 ● シンプルなメカニズムによる保守の容易さ、プロセスのダウンタイムの最小化 ● ガスバラストバルブを標準装備 ● 潜在的な漏れを防ぐ内部オイル循環構造 ＜Stokesポンプ仕様＞ ・排気速度：255～1020m3/hr（3つの機種） ・到達圧力：3.3Pa（ガスバラストオフ）、26Pa（ガスバラストオン） ・水冷タイプ、鉱物油仕様 ・電源：50Hz 400V 3相, 60Hz 230/460V 3相 ・チェコLutin工場製
デザイン一新により、駆動音の低減、蒸気排気の耐性、排気パフォーマンスが向上した油回転ポンプ(オイルポンプ)です。
E2Sシリーズは、2段式のロータリベーンタイプの油回転ポンプ（オイルポンプ）です。 デザインを一新し、コストパフォーマンスに優れたポンプに仕上がっています。 ＜E2Sシリーズ特長＞ 〇高い排気能力：従来のE2Mと同じモーター定格でも、E2Sでは10％近くの排気性能を持っています 〇オイルボックス：押出成形加工の採用。気密性向上と放熱フィンの取り入れにより、冷却効果が向上 〇駆動音の低減：内部機構デザイン、採用部材の変更により、従来ポンプより静かな動作駆動を実現 E2Sシリーズ＜60dB、従来品E2Mシリーズ＜65dB 〇蒸気排気の耐性：蒸気耐性に優れた部材の採用とモード選択式により最大蒸気耐性20mbar(E2S45) どの真空圧力帯であっても、一定の給油圧をもって、ポンプ内部を潤滑し、安定に 〇オイルフィルター：オイルの寿命を延ばし、シール材をコンタミや汚れから保護します クリーンな使用環境下での交換目安は約12か月です
樹脂成形やプラスチック加工、リサイクル工程で使用されるドライポンプEDCシリーズを中心とするオールインワンの排気システムです。
EXDMシステムはモジュールパッケージであり、プラスチック加工やリサイクル工程で威力を発揮します ・ドライクローポンプEDCは、ステンレス鋼のクローローターとコーティング加工されたステーターを備え、連続して行われる起動・停止に耐える耐久性を備えています ・お客様の仕様に合わせて、フィルタやバルブ、溶剤洗浄仕様、ガスパージ仕様などのアクセサリー選択が可能であり、パッケージ全体で円滑かつ効率的に稼働することにより、お客様の生産性を高めます ・制御方式は、簡単なマニュア式、自動制御のオプションがございます ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
Apiezon(アピエゾン)製品の正規代理店です。高性能真空グリースの決定版、低い蒸気圧と広い温度範囲で高い潤滑性を備えます。
分子蒸留技術によって特別に作られたApiezonグリースは、熱伝導率が高く、高温環境下でも安定して動作します。また、非常に高い真空下でも優れた潤滑性能を発揮します。 このグリースは、真空ポンプ、半導体製造装置、航空宇宙機器、およびその他の高真空環境下で使用される様々な機器で広く使用されています。 使用温度によって対応する各種のグリースがあり、いずれも科学的に安定しています。蒸気圧が非常に低く純度が高いので、分析中の試料を汚染する心配が少ない高性能なグリースです。
フリーズドライの鍵： 真空技術の役割
フリーズドライ(凍結乾燥)は、真空下で製品を低温で乾燥させる脱水技術です。乾燥対象に含まれる水などの溶媒を蒸発させることにより除去します。真空下で行うことで、液相を通過することなく、低い温度で溶媒を蒸発させることができます。 その1番のメリットは熱に弱い成分を保護し、対象の形状や大きさを保てることです。最終的な製品に溶媒が含まれない為、酸化や劣化、組成変化（遺伝的または酵素的）の影響を抑え、長期保存が可能になります。 以下のリンクでは、フリーズドライで真空が果たす役割と真空ポンプ選定時のポイントをご紹介します。
CO-AX（多段式真空エジェクター）を内蔵した、piCLASSICシリーズ
PIAB 多段式エジェクター COAXテクノロジー ノズルの内側に圧縮空気を通過させることにより真空を作り出すエジェクターは、ノズルの内径によって作り出される真空の特性が大きく変わります。 このノズルを1本しか持たない従来のエジェクター（シングルエジェクター）では、真空度と真空流量を両立させることが困難でした。 PIAB社の多段式エジェクターは、内径の異なるノズルを複数持つ多段方式を採用することにより、真空度と真空流量の両立を実現しました。この方式はPIAB社によって世界で始めて考案された画期的な方式であり、PIAB社により特許が取得されました。 さらに現在は、よりコンパクトで、省エネ＆メンテナンス性を向上したCOAX エジェクターを開発し、特許を取得しています。
時代の先端を走るマルチパワーツール用油圧ポンプ
業界最軽量、充電電動兼用、高容量水素電池標準装備、業界最多の１６種類のヘッド交換が可能など他社製品と比較して大きな特長を持つ。
圧縮エア不要。ホースレスで使用可能な小型真空ポンプ。
当社の『コボットポンプECBPi』は、自動倉庫で使用される 自走式ロボットや、人と作業を行う協働ロボットによる搬送作業など、 工場内でのホースの取り回し問題を解決します。 ～ こんなお困りごとはありませんか？ ～ ・AGVや協働ロボットでの吸着搬送を検討している ・真空発生器の配線・配管をすっきりまとめたい ・工場内の”見える化”を進めたい 【特長】 ■コンプレッサやエア供給用のホース不要 ■自動でパフォーマンスを最適化するスピードコントロール機能搭載 ■様々なフィールドバスに乗り入れ可能なIO-Link通信対応 ※『製品カタログ』は、下記よりダウンロードしてご覧ください。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
マルチヘッド定量ポンプ PROCAMシリーズ
・流量範囲：0.1 L/h〜3000 L/h ・圧力範囲：Max 2.0MPa ・流量精度：±1.0％ ・ポンプギアはモジュール設計で、シングルから最大6連までの連結が可能 ・ポンプギアは安価な直動式を採用 ・ストロークの調節は手動と自動（電動式＆エア式） ・ポンプヘッドはプランジャー型とダイアフラム型の２種類 ・接液部にSS316Tiなど耐腐食性、耐摩耗性の高い素材を標準採用 ・ダイアフラムポンプには二重ダイアフラムを標準採用 ・ダイアフラムの平均寿命は、約20000時間
