FOUPロードポート『TAS450』
ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構造です
『TAS450』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP(FrontOpening Unified Pod)を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、 最高クラスの性能を有しています。 【特長】 ■SEMI Standard E154 ■可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、 パーティクル性能を向上させた構造 ■マッピングユニット(透過型センサ)をオプションにて取り付け可能 ■FOUP ドック時の障害物検出機能を搭載 ■FOUP 在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:TDK株式会社 テクニカルセンター
- 価格:応相談