更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャバラ対応も可能 ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 動作モニター装備 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 全軸2相ステッピングモータ使用 S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送 ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック 被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
全プロセス自動運行！ナビゲーション機能と障害物回避機能を備えています
当社で取り扱う、「軽量型工業用搬送ロボット」についてご紹介いたします。 タブレット、スマートフォン、パソコンで設置可能。自社開発のAX-Mind アルゴリズムは、複雑な環境でも簡単に位置を取得して通行し、障害物を 避けることができます。 また、走行速度を精密に制御し、スタートとブレーキもスムーズ。 厚さのあるカーペット、フローリング、大理石の接合部、上り下りの 斜面などすべて通過可能です。 【特長】 ■耐荷重：100kg ■荷物の形に制限なし：多種な組み合わせができ、カスタマイズ対応 ■使いやすい：リモート呼び出し、複数のポイントに搬送できる ■知能化：エレベーター、自動ゲートと連携できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多様な顧客ニーズに対応する、大型高性能ロボットバリエーション
IRB 7710は、効率的なモジュール設計と最大30%の省電力に重点を置きながら、世界トップクラスの性能と品質を実現しています。可搬重量が280kgから500kgまでの8種類のバリエーションを揃え、柔軟性の向上と持続可能な生産を求めるお客様のニーズに応えます。
多様な顧客ニーズに対応する、大型高性能ロボットバリエーション
IRB 7720は、効率的なモジュール設計と最大30%の省電力に重点を置きながら、世界トップクラスの性能と品質を実現しています。可搬重量が400kgから620kgまでの16種類のバリエーションを揃え、柔軟性の向上と持続可能な生産を求めるお客様のニーズに応えます。
